大型箱式真空镀膜机的制作方法

本实用新型涉及一种镀膜装置，特别是涉及一种大型箱式真空镀膜机。

背景技术：

由于真空镀膜可以在被镀工件的表面形成高质量的金属光泽和镜面效果，根据不同膜层材料的特性，还可以使被镀工件具有出色的光、热、电屏蔽或导通的性能，因此广泛的应用与各种照明、装饰件、光学等工件的表面处理上。

针对大型或大量被镀工件镀膜的应用中，需要设置大型的镀膜腔体，随着腔体的增大，使用传统的的真空泵设置，具有抽真空速度慢、能耗浪费大等缺点，导致镀膜效率低，电力浪费等问题。

技术实现要素：

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种大型箱式真空镀膜机，通过串、并联相结合的多级不同类型真空泵的组合利用，在实现高效、稳定的大型真空镀膜环境的同时，还可以避免电力浪费。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

大型箱式真空镀膜机，包括：真空箱、高级真空组件和初级真空组件；

所述真空箱包括镀膜腔，镀膜腔的一侧设置有连通的排气腔；

所述初级真空组件设置有两组，两组初级真空组件相互并联后通过密封管道连接于排气腔；所述密封管道在靠近初级真空组件的一侧和靠近排气腔的一侧均设置有闸板阀；

所述高级真空组件连接于排气腔。

优选的，所述初级真空组件包括一级真空泵和二级真空泵，一级真空泵和二级真空泵相互串联连接。

优选的，所述一级真空泵是旋片泵，所述二级真空泵是罗茨泵。

优选的，所述高级真空组件泵包括两个三级真空泵和一个后级泵；所述两个三级真空泵与排气腔之间均设置有闸板阀；所述两个三级真空泵的排气端使用密封管道并联后，与所述后级泵连接；后级泵与三级真空泵之间设置有闸板阀。

优选的，所述三级真空泵是油扩散泵，所述后级泵是旋片泵。

优选的，所述两组初级真空组件相互并联连接后通过密封管道连接于两个三级真空泵的排气端；所述密封管道在靠近三级真空泵一侧设置有闸板阀。

优选的，所述镀膜腔与排气腔之间设置有隔板，所述隔板由若干个断面为V形的V形条组成，V形条的V形开口侧朝下。

优选的，所述真空箱上设置有压力表。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过串、并联相结合的多级不同类型真空泵的组合利用，在实现高效、稳定的大型真空镀膜环境的同时，还可以避免电力浪费。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为隔板示意图；

其中：真空箱10；镀膜腔11；排气腔12；隔板13；高级真空组件20；后级泵21；三级真空泵22；闸板阀30；初级真空组件40；一级真空泵41；二级真空泵42；压力表50；

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳的实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述：

如图1所示，大型箱式真空镀膜机，包括：真空箱10、高级真空组件20和初级真空组件40；

所述真空箱10包括镀膜腔11，镀膜腔11的一侧设置有连通的排气腔12，镀膜腔11用于镀膜作业；

所述初级真空组件40设置有两组，两组初级真空组件40相互并联后通过密封管道连接于排气腔12；所述密封管道在靠近初级真空组件40的一侧和靠近排气腔12的一侧均设置有闸板阀30；初级真空组件40用于将真空箱10的真空度降到约10Pa；

所述高级真空组件20连接于排气腔12；高级真空组件20用于将真空箱10的真空度降到约0.01Pa。

进一步的，所述初级真空组件40包括一级真空泵41和二级真空泵42，一级真空泵41和二级真空泵42相互串联连接，二级真空泵 42处于一级真空泵41与排气腔12之间；首先启动一级真空泵41，当真空度小于1000Pa时，启动二级真空泵42，使真空度降到约10Pa；通过一级、二级的分级抽真空，可以提高抽真空的效率。

进一步的，所述一级真空泵41是旋片泵，所述二级真空泵42是罗茨泵。

进一步的，所述高级真空组件20泵包括两个三级真空泵22和一个后级泵21；所述两个三级真空泵22与排气腔12之间均设置有闸板阀30；所述两个三级真空泵22的排气端使用密封管道并联后，与所述后级泵21连接，后级泵21与三级真空泵22之间设置有闸板阀 30；所述三级真空泵22用于将真空箱10的真空度降到约0.01Pa，所述后级泵21用于将三级真空泵22收集的气体排出。

进一步的，所述三级真空泵22是油扩散泵，所述后级泵21是旋片泵。

进一步的，所述两组初级真空组件40相互并联连接后通过密封管道连接于两个三级真空泵22的排气端；所述密封管道在靠近三级真空泵22一侧设置有闸板阀30。

如图1、2所示，进一步的，所述镀膜腔11与排气腔12之间设置有隔板13，所述隔板13由若干个断面为V形的V形条组成，V形条的V形开口侧朝下；所述隔板13用于阻挡镀膜腔11中的异物进入排气腔12，防止真空泵损坏。

进一步的，所述真空箱10上设置有压力表50；所述压力表50用于监测真空箱10内部的真空度。

大型箱式真空镀膜机的使用举例：

1.将工件放入镀膜箱，启动镀膜机；

2.抽真空：

a)首先关闭三级真空泵22与后级泵21之间的闸板阀30。

b)启动两组初级真空组件40中的一级真空泵41，使当真空度小于1000Pa时，启动两组初级真空组件40中的二级真空泵42，使真空度下降到约10Pa。根据抽真空的速度需要和镀膜机的工况，可以选择性的使用两组初级真空组件 40中的其中一组，或任意一组中的任意一个一级真空泵 41和二级真空泵42。

c)关闭初级真空组件40与排气腔12和高级真空组件20之间的闸板阀30；开启三级真空泵22与后级泵21之间的闸板阀30；初级真空组件40停止运行。

d)启动高级真空组件20中的两个三级真空泵22和后级泵 21，使镀膜腔11的真空度保持在0.01Pa；后级泵21用于排除三级真空泵22收集的气体。在后级泵21异常时，初级真空组件40可以代替后级泵21排除三级真空泵22 收集的气体；根据抽真空的速度需要和镀膜机的工况，可以选择性的使用两个三级真空泵22中的其中一个。

e)通过压力表50监测真空箱10内部的真空度，根据监测的压力情况，参考上述b、c、d步骤，分别使用初级真空组件40和高级真空组件20将真空箱10内部的真空度保持在工艺允许的范围之内。

3.镀膜：镀膜腔11的真空度满足镀膜工艺后，开始镀膜程序；

本例中的镀膜腔11内空高度2米，容积4.5立方米；真空度由大气压至5x10-3Pa≤10min(空载)。

对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。