一种便于清洁的钼板退火炉的制作方法

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体是一种便于清洁的钼板退火炉。

背景技术：

钼板很坚硬，比钨有韧性。钼具有高弹性模量，钨、钽只具有较高的熔点。钼板用于许多特种钢。真空炉应用，核能，导弹和飞机零部件。在钼板的加工生产过程中需要将钼板放入退火炉中进行退火处理，退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。现有的钼板退火炉在长时间使用后，退火炉的内壁会附着有杂质，需要对杂质进行清洁，但是现有的退火炉不具备清洁功能，使用起来不是很方便。

技术实现要素：

本实用新型提供一种便于清洁的钼板退火炉，可以有效解决上述背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种便于清洁的钼板退火炉，包括炉体，所述炉体内设置有保温墙，所述炉体底部设置有网板，所述网板底部设置有排水槽，所述排水槽一侧连通有排水管，所述排水槽底部设置有水箱，所述水箱一侧通过水管连通有高压水泵，所述高压水泵一端连通有通水管，所述通水管一侧设置有电源，所述电源一侧设置有制冷器，所述制冷器一侧设置有加热器，所述制冷器的制冷管伸入到水箱中，所述制冷器一侧设置有制冷口，所述加热器上设置有加热口，所述加热口与所述制冷口均穿过保温墙，所述加热器一侧设置有退火炉控制箱，所述通水管一侧设置有散热块，所述散热块一侧设置有两个散热风扇，所述通水管另一端穿过顶部的保温墙设置有旋转喷头。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述高压水泵、所述散热风扇、所述退火炉控制箱、所述加热器、所述制冷器与所述电源通过电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述通水管呈蛇形，并通过管卡固定于退火炉控制箱、加热器和制冷器表面。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述散热块通过螺丝螺母固定于退火炉控制箱、加热器和制冷器表面，紧贴与通水管上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述排水槽向排水管一侧倾斜。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述排水管上安装有排水阀。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述加热口、所述制冷口上均安装有挡板。

本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型结构设计合理，实用性强，能够对退火炉内壁进行清洁，通水管呈蛇形，并通过管卡固定紧贴与退火炉控制箱、加热器和制冷器表面，能够对退火炉控制箱、加热器和制冷器进行吸热，并传递到通水管表面的散热块上，同时打开散热风扇，通过散热风扇将吸收的热量排散到退火炉外，从而对退火炉控制箱、加热器和制冷器进行冷却降温，避免热量的积聚，延长设备的使用寿命。经过通水管的冷水从旋转喷头喷出，并对炉体内壁进行冲洗，炉体内壁的杂质清洗干净。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型主观结构示意图；

图2是本实用新型通水管结构示意图；

图3是本实用新型网板结构示意图；

图中：1、炉体；2、保温墙；3、排水管；4、网板；5、排水槽；6、排水阀；7、水箱；8、高压水泵；9、制冷管；10、电源；11、散热块；12、散热风扇；13、退火炉控制箱；14、加热器；15、制冷器；16、通水管；17、挡板；18、制冷口；19、加热口；20、管卡；21、旋转喷头。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例：如图1-3所示，包括炉体1，所述炉体1内设置有保温墙2，所述炉体1底部设置有网板4，所述网板4底部设置有排水槽5，所述排水槽5一侧连通有排水管3，所述排水槽5底部设置有水箱7，所述水箱7一侧通过水管连通有高压水泵8，所述高压水泵8一端连通有通水管16，所述通水管16一侧设置有电源10，所述电源10一侧设置有制冷器15，所述制冷器15一侧设置有加热器19，所述制冷器15的制冷管9伸入到水箱7中，所述制冷器9一侧设置有制冷口18，所述加热器14上设置有加热口19，所述加热口19与所述制冷口18均穿过保温墙2，所述加热器14一侧设置有退火炉控制箱13，所述通水管16一侧设置有散热块11，所述散热块11一侧设置有两个散热风扇12，所述通水管16另一端穿过顶部的保温墙2设置有旋转喷头21。

为了使该种便于清洁的钼板退火炉使用方便，所述高压水泵8、所述散热风扇12、所述退火炉控制箱13、所述加热器14、所述制冷器15与所述电源10通过电性连接，所述通水管16呈蛇形，并通过管卡20固定于退火炉控制箱13、加热器14和制冷器15表面，所述散热块11通过螺丝螺母固定于退火炉控制箱13、加热器14和制冷器15表面，紧贴与通水管16上，所述排水槽5向排水管3一侧倾斜，所述排水管3上安装有排水阀6，所述加热口19、所述制冷口18上均安装有挡板17。

本实用新型结构设计合理，使用方便，在对该钼板退火炉进行使用时，将钼板放于炉体1内部，并打开加热器14，将钼板曝露于高温一段很长时间后，然后再打开制冷器15慢慢冷却，从而完成对钼板进行热处理，在制冷器15开启的这段时间内，制冷器15产生的冷气不仅从制冷口18排入到炉体1内对钼板进行降温，同时冷气还从制冷管9通入到水箱7中，对水箱7内的水进行降温冷却。在完成热处理后，可对炉体1进行清洁时，可打开高压水泵8，高压水泵8将水箱7内的水通过高压压入到通水管16中，由于通水管16呈蛇形，并通过管卡20固定紧贴于退火炉控制箱13、加热器14和制冷器15表面，能够对退火炉控制箱13、加热器14和制冷器15进行吸热，并传递到通水管16表面的散热块上，同时打开散热风扇12，通过散热风扇12将吸收的热量排散到退火炉外，从而对退火炉控制箱13、加热器14和制冷器15进行冷却降温，避免热量的积聚，延长设备的使用寿命，通过通水管16的冷水从旋转喷头21喷出，并对炉体1内壁进行冲洗，炉体1内壁的杂质清洗干净。清洗后污水透过网板4渗透到排水槽中，打开排水阀6，将污水从排水管3中排出即可。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。