1.一种双层加热腔室,用于原子层沉积装置,其特征在于,包括第一腔体和第二腔体,所述第一腔体内至少固定容置有1个所述第二腔体,所述第一腔体和所述第二腔体的内壁间隔设置,
所述第一腔体内铺设有加热管,所述加热管包围所述第二腔体。
2.根据权利要求1所述的双层加热腔室,其特征在于,所述第一腔体和所述第二腔体在同一方向上开设有进出口。
3.根据权利要求1所述的双层加热腔室,其特征在于,所述第一腔体形成2个子腔体,所述子腔体互不连通,每个所述子腔体内容置有2个所述第二腔体,所述第二腔体相互间隔。
4.根据权利要求1所述的双层加热腔室,其特征在于,所述第一腔体内的底部设置有架板,所述加热管铺设在所述架板上,所述第二腔体底部设置有支撑脚,所述支撑脚固定连接所述架板,所述第二腔体和所述架板间隔。
5.根据权利要求1所述的双层加热腔室,其特征在于,所述加热管呈多组阵列设置,每组加热管呈连续U型。
6.根据权利要求1所述的双层加热腔室,其特征在于,所述第一腔体和所述第二腔体之间设置有多个测温区,所述测温区均匀分布在所述第一腔体和所述第二腔体之间,所述测温区内设置有温度监控元件。
7.一种双层加热腔体组件,用于原子层沉积装置,其特征在于,包括如权利要求1-6任一项所述的双层加热腔室和门体组件,所述第一腔体和所述第二腔体在同一方向上开设有进出口,所述门体组件上固定设置有载料舟,
所述门体组件通过所述进出口可移动地设置在所述第一腔体中,所述载料舟位于所述第二腔体中。
8.根据权利要求7所述的双层加热腔体组件,其特征在于,所述门体组件、所述第一腔体和所述第二腔体之前形成密封空间。