一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置的制作方法

本实用新型涉及电子束蒸镀技术领域，尤其涉及一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置。

背景技术：

电子束蒸镀是物理气相沉积的一种，与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击蒸镀材料，使之融化进而沉积在基片上，电子束蒸镀可以镀出高纯度高精度的薄膜，现有技术中，通过蒸镀装置制造ITO模，经检索，授权公告号为CN203530419U的专利文件公开了一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置，用于LED芯片的制造，其特征在于：所述真空室的一侧设置有等离子枪，所述等离子枪作为蒸发源，本实用新型的优点是，采用等离子枪作为蒸发源，利用低电压高电流电子束蒸镀ITO薄膜，同传统高电压低电流电子束蒸镀比较，对基板的损伤大幅度降低，通过控制蒸镀条件，如基板温度，膜层厚度和蒸发速率等来沉积ITO薄膜，能够制备出平均透过率大，方阻小的薄膜，满足作为P型电极的光电特性，在蒸镀材料蒸发通过等离子区时，被等离子体离化，二次获得能量，从而获得良好的大晶粒、高透过率ITO薄膜，且由于ITO薄膜晶体颗粒大，提高了ITO薄膜的霍耳迁移率，降低了其方块电阻。

但是，现有技术中，蒸镀材料支撑装置为固定设置，不便于放置蒸镀材料，同时，当需要清理时，不便于对其拆卸清理，影响ITO膜的质量，为此，提出一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置，包括蒸镀装置本体，所述蒸镀装置本体上开设有真空腔，所述真空腔内设有基板支架，所述基板支架与真空腔的顶部内壁转动连接，所述真空腔的底部内壁上固定安装有安装座，所述安装座的顶部开设有安装槽，所述安装槽内活动安装有托板，所述托板的两侧均固定安装有安装块，所述安装块上转动安装有内螺纹管，所述内螺纹管内螺纹安装有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端和低端均延伸至内螺纹管外，所述螺纹杆的底端固定安装有挂钩，所述安装座的顶部开设有两个滑动槽，两个滑动槽为位于安装槽的两侧，所述滑动槽内滑动安装有滑块，所述滑块的底部与滑动槽的底部内壁滑动连接，所述滑块的顶部固定安装有固定块，所述固定块靠近托板的一侧开设有通孔，所述通孔与挂钩相适配，所述滑动槽内设有弹簧，所述弹簧的一端与滑动槽的内壁固定连接，所述弹簧的另一端与滑块固定连接。

优选的，所述安装块的顶部开设有转动孔，所述转动孔的内壁与内螺纹管转动连接。

优选的，所述内螺纹管的顶端延伸至转动孔外并固定安装有转盘。

优选的，所述滑动槽内固定安装有滑动杆，所述滑动杆与滑块滑动连接，且弹簧滑动套设在滑动杆的外侧。

优选的，所述固定块的一侧固定安装有把手，所述把手位于通孔的上方。

优选的，所述螺纹杆的顶端固定安装有限位块，所述弹簧的劲度系数为1N/m-2N/m。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：首先，该装置通过托板、安装槽、挂钩、通孔、转盘、转动孔、内螺纹管、螺纹杆、固定块和安装座相配合，使用时，将ITO镀膜材料放置在托板上，将托板放置在安装槽内，使挂钩插入通孔内，转动转盘，转盘带动内螺纹管在转动孔内转动，内螺纹管带动螺纹杆向上运动，拉动挂钩向上运动，由于固定块固定安装在安装座上，使托板被拉紧固定；

通过托板、转盘、内螺纹管、螺纹杆、挂钩、通孔、把手、固定块和滑动槽相配合，当需要对托板进行拆卸清理时，此时，反转转盘，转盘带动内螺纹管转动，内螺纹管带动螺纹杆向下运动，螺纹杆带动挂钩向下运动，当挂钩运动至通孔底部时，拉动把手，把手带动固定块在滑动槽内滑动，使通孔远离挂钩，可以取下托板；

本实用新型操作简单，实用性强，方便蒸镀材料的放置，同时，便于对蒸镀材料支撑装置进行清理，提高ITO膜的质量。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖视结构示意图；

图2为图1中A部分的放大结构示意图。

图中：1、蒸镀装置本体；2、真空腔；3、基板支架；4、安装座；5、安装槽；6、托板；7、安装块；8、内螺纹管；9、螺纹杆；10、挂钩；11、滑动槽；12、滑块；13、固定块；14、通孔；15、弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参照图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置，包括蒸镀装置本体1，蒸镀装置本体1上开设有真空腔2，真空腔2内设有基板支架3，基板支架3与真空腔2的顶部内壁转动连接，真空腔2的底部内壁上固定安装有安装座4，安装座4的顶部开设有安装槽5，安装槽5内活动安装有托板6，托板6的两侧均固定安装有安装块7，安装块7上转动安装有内螺纹管8，内螺纹管8内螺纹安装有螺纹杆9，螺纹杆9的顶端和低端均延伸至内螺纹管8外，螺纹杆9的底端固定安装有挂钩10，安装座4的顶部开设有两个滑动槽11，两个滑动槽11为位于安装槽5的两侧，滑动槽11内滑动安装有滑块12，滑块12的底部与滑动槽11的底部内壁滑动连接，滑块12的顶部固定安装有固定块13，固定块13靠近托板6的一侧开设有通孔14，通孔14与挂钩10相适配，滑动槽11内设有弹簧15，弹簧15的一端与滑动槽11的内壁固定连接，弹簧15的另一端与滑块12固定连接；

安装块7的顶部开设有转动孔，转动孔的内壁与内螺纹管8转动连接，内螺纹管8的顶端延伸至转动孔外并固定安装有转盘，滑动槽11内固定安装有滑动杆，滑动杆与滑块12滑动连接，且弹簧15滑动套设在滑动杆的外侧，固定块13的一侧固定安装有把手，把手位于通孔14的上方，螺纹杆9的顶端固定安装有限位块，弹簧15的劲度系数为1N/m-2N/m，该装置通过托板6、安装槽5、挂钩10、通孔14、转盘、转动孔、内螺纹管8、螺纹杆9、固定块13和安装座4相配合，使用时，将ITO镀膜材料放置在托板6上，将托板6放置在安装槽5内，使挂钩10插入通孔14内，转动转盘，转盘带动内螺纹管8在转动孔内转动，内螺纹管8带动螺纹杆9向上运动，拉动挂钩10向上运动，由于固定块13固定安装在安装座4上，使托板6被拉紧固定，通过托板6、转盘、内螺纹管8、螺纹杆9、挂钩10、通孔14、把手、固定块13和滑动槽11相配合，当需要对托板6进行拆卸清理时，此时，反转转盘，转盘带动内螺纹管8转动，内螺纹管8带动螺纹杆9向下运动，螺纹杆9带动挂钩10向下运动，当挂钩10运动至通孔14底部时，拉动把手，把手带动固定块13在滑动槽11内滑动，使通孔14远离挂钩10，可以取下托板6，本实用新型操作简单，实用性强，方便蒸镀材料的放置，同时，便于对蒸镀材料支撑装置进行清理，提高ITO膜的质量。

工作原理：蒸镀装置本体1内安装有等离子枪头和线圈，等离子枪头产生加速电子轰击托板6上的ITO镀膜材料，电子的动能转换成热能使ITO镀膜材料加热蒸发，在线圈产生的磁场作用下，移动至位于基板支架3上的基板上，形成ITO膜，使用时，将ITO镀膜材料放置在托板6上，将托板6放置在安装槽5内，使挂钩10插入通孔14内，转动转盘，转盘带动内螺纹管8在转动孔内转动，内螺纹管8带动螺纹杆9向上运动，拉动挂钩10向上运动，由于固定块13固定安装在安装座4上，使托板6被拉紧固定，当需要对托板6进行拆卸清理时，此时，反转转盘，转盘带动内螺纹管8转动，内螺纹管8带动螺纹杆9向下运动，螺纹杆9带动挂钩10向下运动，当挂钩10运动至通孔14底部时，拉动把手，把手带动固定块13在滑动槽11内滑动，使通孔14远离挂钩10，可以取下托板6，本实用新型操作简单，实用性强，方便蒸镀材料的放置，同时，便于对蒸镀材料支撑装置进行清理，提高ITO膜的质量。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。