技术总结
本实用新型公开了一种双层加热腔室和双层加热腔体组件。双层加热腔室用于原子层沉积装置,包括第一腔体和第二腔体,第一腔体内至少固定容置有1个第二腔体,第一腔体和第二腔体的内壁间隔设置。第一腔体内铺设有加热管,加热管至少包围第二腔体的。本实用新型实施方式的双层加热腔室中,加热管和第二腔体不接触,加热管产生的热量通过第一腔体和第二腔体之间传递到第二腔体中,避免第二腔体中的材料在持续高温环境中发生氧化,附着在第二腔体中的待加工元件表面,影响加工质量。
技术研发人员:李丙科;陈庆敏
受保护的技术使用者:无锡松煜科技有限公司
技术研发日:2018.09.30
技术公布日:2019.07.19