一种真空镀膜设备电子枪内部冷却结构的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜设备电子枪内部冷却结构。

背景技术：

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，现有真空镀膜电子枪在使用过程中，电子枪腔体内部温度较高，电子枪内部的散热管壁较为狭窄，而且多采用空气散热，电子枪散热效果不理想。

技术实现要素：

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜设备电子枪内部冷却结构，解决了真空镀膜电子枪在使用过程中，电子枪腔体内部温度较高，电子枪内部的散热管壁较为狭窄，而且多采用空气散热，电子枪散热效果不理想的问题。

（二）技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜设备电子枪内部冷却结构，包括枪体，所述枪体的顶部焊接有输入头，所述枪体的右侧焊接有进水管，所述枪体的左侧焊接有出水管，所述枪体的外侧固定套装有定位套板，所述定位套板的内壁与枪体的外壁固定连接，所述枪体的底部固定安装有输出头，所述枪体的内部固定安装有连接杆，所述连接杆的底端贯穿枪体并延伸至输出头的下方，所述枪体内部的左侧和右侧分别开设有出水腔和入水腔，所述出水腔位于入水腔的左侧，所述出水腔的左端与出水管的右端相贯通，所述入水腔的右端与进水管的左端相贯通，所述进水管和出水管之间固定连接有回流管，所述回流管的中部固定安装有散热罐。

优选的，所述输出头的内部开设有连接腔，所述出水腔和入水腔的底端延伸至连接腔的内部，所述出水腔和入水腔通过连接腔相贯通。

优选的，所述连接杆的外侧固定套装有防水胶垫，所述防水胶垫的底部与连接腔内壁的底部固定连接。

优选的，所述进水管的内部开设有进水口，所述出水管的内部开设有出水口。

优选的，所述进水管和出水管远离枪体一端的内壁设有内螺纹。

优选的，所述散热罐的内部固定安装有散热螺管，所述散热螺管为螺旋铜管。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种真空镀膜设备电子枪内部冷却结构，具备以下有益效果：

1、该真空镀膜设备电子枪内部冷却结构，当电子枪工作时，通过进水管进行进水，随后通过出水腔和入水腔进行水流物理吸热降温，继而水流通过出水管进行排出，从而解决了电子枪冷却较差问题，从而达到这个机构均匀冷却的效果。

2、该真空镀膜设备电子枪内部冷却结构，当水流吸入电子枪热量升温后，继而水流通过回流管进入散热罐的内部进行散热，随后通过散热螺管降低水流速率，继而通过散热螺管的螺旋状结构进行有效散热，从而达到电子枪循环降温效率高、稳定性强的效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型上部放大结构示意图；

图3为本实用新型下部放大结构示意图。

图中：1枪体、2输入头、3进水管、4出水管、5定位套板、6输出头、7连接杆、8出水腔、9入水腔、10连接腔、11防水胶垫、12回流管、13散热罐、14散热螺管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种真空镀膜设备电子枪内部冷却结构，包括枪体1，枪体1的顶部焊接有输入头2，枪体1的右侧焊接有进水管3，枪体1的左侧焊接有出水管4，枪体1的外侧固定套装有定位套板5，定位套板5的内壁与枪体1的外壁固定连接，枪体1的底部固定安装有输出头6，枪体1的内部固定安装有连接杆7，连接杆7的底端贯穿枪体1并延伸至输出头6的下方，枪体1内部的左侧和右侧分别开设有出水腔8和入水腔9，出水腔8位于入水腔9的左侧，出水腔8的左端与出水管4的右端相贯通，入水腔9的右端与进水管3的左端相贯通，进水管3和出水管4之间固定连接有回流管12，回流管12的中部固定安装有散热罐13，输出头6的内部开设有连接腔10，出水腔8和入水腔9的底端延伸至连接腔10的内部，出水腔8和入水腔9通过连接腔10相贯通，当电子枪工作时，通过进水管3进行进水，随后通过出水腔8和入水腔9进行水流物理吸热降温，继而水流通过出水管4进行排出，从而解决了电子枪冷却较差问题，从而达到这个机构均匀冷却的效果，连接杆7的外侧固定套装有防水胶垫11，防水胶垫11的底部与连接腔10内壁的底部固定连接，进水管3的内部开设有进水口，出水管4的内部开设有出水口，进水管3和出水管4远离枪体1一端的内壁设有内螺纹，散热罐13的内部固定安装有散热螺管14，散热螺管14为螺旋铜管，当水流吸入电子枪热量升温后，继而水流通过回流管12进入散热罐13的内部进行散热，随后通过散热螺管14降低水流速率，继而通过散热螺管14的螺旋状结构进行有效散热，从而达到电子枪循环降温效率高、稳定性强的效果。

在使用时，当电子枪工作时，通过进水管3进行进水，随后通过出水腔8和入水腔9进行水流物理吸热降温，继而水流通过出水管4进行排出，当水流吸入电子枪热量升温后，继而水流通过回流管12进入散热罐13的内部进行散热，随后通过散热螺管14降低水流速率进行散热，即可。

综上，该真空镀膜设备电子枪内部冷却结构，当电子枪工作时，通过进水管3进行进水，随后通过出水腔8和入水腔9进行水流物理吸热降温，继而水流通过出水管4进行排出，从而解决了电子枪冷却较差问题，从而达到这个机构均匀冷却的效果，当水流吸入电子枪热量升温后，继而水流通过回流管12进入散热罐13的内部进行散热，随后通过散热螺管14降低水流速率，继而通过散热螺管14的螺旋状结构进行有效散热，从而达到电子枪循环降温效率高、稳定性强的效果。

需要说明的是，在本文中，诸如“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。