一种提高ZnS蒸镀均匀性的装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜领域，特别是一种zns蒸镀装置。

背景技术：

目前，真空镀膜常用长方体的zns块作为蒸发源。其中zns块是放置在真空镀膜腔中的蒸发舟上的，以通过蒸发舟产生的热量使固态的zns变成气态zns。由于zns块体积较大，这样易导致zns块上的受热，从而易出现仅有zns块四周侧壁出现蒸发的情况，而在zns块顶面上易出现蒸发量较少的情况，这会导致zns块上方的气体zns存在分布不均的情况，进而导致薄膜表面出现明显的横向明暗条纹，降低产品质量。同时现有电极与蒸发舟的连接还存在可靠性低、便利性差等不足。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于解决上述问题和不足，提供一种提高zns蒸镀均匀性的装置，该装置能有效地提高zns蒸发的均匀度，以提高蒸镀的质量；且该装置上电极与钼舟的连接十分方便、可靠。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种提高zns蒸镀均匀性的装置，其特点在于包括钼舟、硫化锌块、正电极、负电极,其中钼舟为呈水平布置的板状结构，所述钼舟顶部设有放置槽；所述硫化锌块为矩形块状结构，所述硫化锌块顶部均匀地开设有若干贯穿至其底部的通孔，所述硫化锌块放置在放置槽中；所述正电极与负电极包括金属块、第一金属压块、第二金属压块、第一操作杆、第二操作杆、第一弹簧、第二弹簧，所述金属块一端端部上开设有定位槽，所述金属块另一端端面上开设有卡槽，所述金属块一端顶部上开设有贯穿至定位槽的第一穿孔，所述金属块另一端顶部上开设有贯穿至卡槽的第二穿孔，所述第一金属压块的底部开设有第一限位槽，所述第一金属压块能竖向活动地设置在定位槽中，所述定位槽槽壁上开设有第二限位槽，并使第二限位槽的槽口与第一限位槽的槽口呈相对布置，所述第一操作杆活动穿置在第一穿孔中，并使第一操作杆下端与第一金属压块的顶部相固定连接，所述第一弹簧套装在定位槽中的第一操作杆上，并使第一弹簧两端分别弹性作用在第一金属压块上与定位槽槽壁上，还通过第一弹簧的弹力使第一金属压块紧压在定位槽槽壁上，所述第二金属压块能竖向活动地设置在卡槽中，所述第二操作杆活动穿置在第二穿孔中，并使第二操作杆下端与第二金属压块的顶部相固定连接，所述第二弹簧套装在卡槽中的第二操作杆上，并使第二弹簧两端分别弹性作用在第二金属压块上与卡槽槽壁上；所述正电极上的卡槽卡装在钼舟一端侧边上，并使正电极上的第二金属压块紧压在钼舟顶部，所述负电极上的卡槽卡装在钼舟另一端侧边上，并使负电极上的第二金属压块紧压在钼舟顶部。

优选地，所述第一限位槽与第二限位槽中分别设有防滑凹凸纹。

优选地，所述第一操作杆上端端部设有第一操作手柄，所述第二操作杆上端端部设有第二操作手柄。

本实用新型的有益效果：由于硫化锌块上开设有若干通孔，这样不仅能提高硫化锌块的蒸发面积，还有助于提高硫化锌块上方气态硫化锌的均匀度，从而有助于提高蒸镀的质量。由于正电极上具有定位槽，且第一金属压块布置在定位槽中，而且可以通过拉动第一操作杆使第一金属压块离开定位槽槽壁，这样在第一金属压块与定位槽槽壁之间就会形成间隙，该间隙可供导线的放置，再加上第一金属压块能在第一弹簧的作用下始终紧压在定位槽槽壁上；从而就能通过第一金属压块对导线起到定位压紧作用，该样的结构，能有效地提高导线安装定位的便利性；而通过第一限位槽与第二限位槽的设置，还可以对导线起到很好的限位作用，这有助于提高导线连接的可靠性。由于正电极上具有卡槽，且第二金属压块布置在定位槽中，而且可以通过拉动第二操作杆使第二金属压块离开钼舟，从而能极为方便地将正电极与钼舟拆分开；相反可极为方便地将正电极与钼舟组装一起，且正电极与钼舟的组装结构还十分可靠。由于负电极与正电极的结构相同，同理，负电极也能获得与正电极相同的效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型中正电极的立体结构示意图。

图3为本实用新型中正电极的剖视结构示意图。

图4为本实用新型中金属块的结构示意图。

图5为本实用新型中第一金属压块的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型所述的一种提高zns蒸镀均匀性的装置，包括钼舟1、硫化锌块2、正电极3、负电极4,其中，如图1所示，所述钼舟1为呈水平布置的板状结构，所述钼舟1顶部设有放置槽11；如图1所示，所述硫化锌块2为矩形块状结构，所述硫化锌块2顶部均匀地开设有若干贯穿至其底部的通孔21，所述硫化锌块2放置在放置槽11中；如图1与图2所示，所述正电极3与负电极4包括金属件10、第一金属压块20、第二金属压块30、第一操作杆40、第二操作杆50、第一弹簧60、第二弹簧70，如图2至图4所示，所述金属件10一端端部上开设有定位槽101，所述金属件10另一端端面上开设有卡槽102；如图3与图4所示，所述金属件10一端顶部上开设有贯穿至定位槽101的第一穿孔103，所述金属件10另一端顶部上开设有贯穿至卡槽102的第二穿孔104；如图2至图5所示，所述第一金属压块20的底部开设有第一限位槽201，所述第一金属压块20能竖向活动地设置在定位槽101中，所述定位槽101槽壁上开设有第二限位槽111，并使第二限位槽111的槽口与第一限位槽201的槽口呈相对布置，所述第一操作杆40活动穿置在第一穿孔103中，并使第一操作杆40下端与第一金属压块20的顶部相固定连接，所述第一弹簧60套装在定位槽101中的第一操作杆40上，并使第一弹簧60两端分别弹性作用在第一金属压块20上与定位槽101槽壁上，还通过第一弹簧60的弹力使第一金属压块20紧压在定位槽101槽壁上，所述第二金属压块30能竖向活动地设置在卡槽102中，所述第二操作杆50活动穿置在第二穿孔104中，并使第二操作杆50下端与第二金属压块30的顶部相固定连接，所述第二弹簧70套装在卡槽102中的第二操作杆50上，并使第二弹簧70两端分别弹性作用在第二金属压块30上与卡槽102槽壁上；如图1所示，所述正电极3上的卡槽102卡装在钼舟1一端侧边上，并使正电极3上的第二金属压块30紧压在钼舟1顶部，所述负电极4上的卡槽102卡装在钼舟1另一端侧边上，并使负电极4上的第二金属压块30紧压在钼舟1顶部。由于硫化锌块2上开设有若干通孔21，这样不仅能提高硫化锌块2的蒸发面积，还有助于提高硫化锌块2上方气态硫化锌的均匀度，从而有助于提高蒸镀的质量。由于正电极3上具有定位槽101，且第一金属压块20布置在定位槽101中，而且可以通过拉动第一操作杆40使第一金属压块20离开定位槽101槽壁，这样在第一金属压块20与定位槽101槽壁之间就会形成间隙，该间隙可供导线的放置，再加上第一金属压块20能在第一弹簧60的作用下始终紧压在定位槽101槽壁上；从而就能通过第一金属压块20对导线起到定位压紧作用，该样的结构，能有效地提高导线安装定位的便利性；而通过第一限位槽201与第二限位槽111的设置，还可以对导线起到很好的限位作用，这有助于提高导线连接的可靠性。由于正电极3上具有卡槽102，且第二金属压块30布置在定位槽101中，而且可以通过拉动第二操作杆50使第二金属压块30离开钼舟1，从而能极为方便地将正电极3与钼舟1拆分开；相反可极为方便地将正电极3与钼舟1组装一起，且正电极3与钼舟1的组装结构还十分可靠。由于负电极4与正电极3的结构相同，同理，负电极4也能获得与正电极3相同的效果。

金属件10采用耐高温导电金属制成。所述第一操作杆40与第二操作杆50采用耐高温金属材料制成；所述第一操作杆40与第一金属压块20通过焊接的方式固定一起；所述第二操作杆50与第二金属压块30也通过焊接的方式固定一起。

所述钼舟1由钼制成。

在正电极3与导线连接时，是将导线置于第一限位槽201与第二限位槽111之间，并使第一限位槽201的槽壁与第二限位槽111槽壁紧压在导线上，这样就能使导线与正电极3有效地连接一起。其中负电极4与导线的连接也是采用这样的连接的结构。

在需要用该装置进行蒸镀时，是将该提高zns蒸镀均匀性的装置安放在真空蒸镀腔中使用的。

如图3至图5所示，所述第一限位槽201与第二限位槽111中分别设有防滑凹凸纹80。通过防滑凹凸纹80的开设，可以进一步提高导线连接的可靠性。

如图2与图3所示，所述第一操作杆40上端端部设有第一操作手柄401，所述第二操作杆50上端端部设有第二操作手柄501。通过第一操作手柄401与第二操作手柄501的设置，有助于提高第一操作杆40与第二操作杆50操作的便利性。