技术特征：
技术总结
本发明公开了一种单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具，包括以下重量百分配比的原料：磨料48‑75％、增强相1‑2％、分散剂0.35‑0.75％，余量为多糖结合剂，上述原料制备单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具的方法，具体包括混料、固化、磨具的粘接、磨具的整形四大步骤。基于上述方法制备得到的单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具，本发明还公开了一种抛光单晶碳化硅的方法：磨具与单晶碳化硅接触并产生干式摩擦，摩擦区域环境气氛的氧气分压范围为20Pa～100Pa。通过本发明公开的技术方案，成功制备得到一种环保无毒、制作及抛光加工成本低的单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具，并可实现单晶碳化硅表面的绿色高效抛光。
技术研发人员：吴喆;吴昊;王纯贤;刘勇;章凯羽;汪嘉恒
受保护的技术使用者：合肥工业大学
技术研发日：2019.01.04
技术公布日：2019.04.19