衬底支撑设备及其制造方法与流程

本公开涉及一种衬底支撑设备及其制造方法，且更确切地说涉及一种允许均匀地调节衬底的整体温度同时稳定地支撑衬底的衬底支撑设备，且涉及一种衬底支撑设备的制造方法。

背景技术：

一般来说，为制造例如液晶显示装置和太阳能电池等产品，将执行各种制造工艺，例如将不同类型的薄膜沉积于待处理的衬底(例如玻璃衬底)上，以及使所沉积薄膜图案化。此处，借助于使用物理沉积方法的沉积设备，或使用化学沉积方法的沉积设备来执行用于在衬底上形成薄膜的工艺。

物理沉积方法包含使薄膜颗粒与衬底直接地碰撞并吸附到衬底的溅镀。化学沉积方法包含用于诱发基团在衬底上方的化学反应且使所得薄膜颗粒下降并吸附到衬底的化学气相沉积。

用于执行化学气相沉积的沉积设备可包含其上安装衬底的基座和用于从基座上方将处理气体朝向衬底注射的喷头(showerhead)。在相关技术中，为将衬底稳定安装于基座上，沿基座的周边表面提供遮蔽框架。遮蔽框架按压基座上安装的衬底的边缘区域来固定衬底。

然而，由于基座的周边表面与遮蔽框架之间的分离空间，基座的周边比基座的中心部分发生的热损耗更多。即，由于基座的周边表面与大气之间的直接接触，周边表面比中心区域发生的热损耗多。因此，邻接于基座的周边的外围区域比衬底的中心区域发生的热损耗多。因此，存在衬底的整体温度变得不一致的问题。

另外，由于基座的热膨胀和收缩的程度与遮蔽框架的热膨胀和收缩的程度不同，因此在处理衬底时，可由于基座与遮蔽框架之间的摩擦而产生颗粒。另外，还存在电子集中在遮蔽框架按压衬底的区域中使得衬底上产生火花的问题。

[相关技术文献]

[专利文献]

(专利文献1)kr10-1628813b

技术实现要素：

本公开提供一种能够均匀调节衬底的整体温度的衬底支撑设备及其制造方法。

本公开还提供一种能够防止颗粒产生的衬底支撑设备及其制造方法。

本发明还提供一种能够抑制或防止衬底上产生火花的衬底支撑设备及其制造方法。

根据示范性实施例，一种衬底支撑设备包含：安装部分，设置有与衬底接触使得衬底安装于其上的第一主体，及被配置成包围第一主体的第二主体；以及支撑部分，连接在安装部分下方以便支撑安装部分。

第一主体和第二主体可具有多个突起，且设置在第一主体上的突起的上表面的面积可形成为大于设置在第二主体上的突起的上表面的面积。

第二主体可具有比第一主体更小的表面粗糙度值。

第一主体的算术平均粗糙度值可为约15微米到25微米，且第二主体的算术平均粗糙度值可为约1.6微米到3.6微米。

衬底支撑设备可还包含加热部分，其安装在安装部分上以便加热安装在安装部分上的衬底。

第一主体的竖直方向厚度可大于第二主体的竖直方向厚度，以及

加热部分可仅安装于第一主体上。

第一主体的竖直方向厚度可形成为不大于第二主体的竖直方向厚度，以及

加热部分可安装于第一主体和第二主体上。

衬底支撑设备可还包含从第二主体的表面向上突出且经安装以便包围衬底的周边的至少一部分的突起部分。

突起部分可包含加热部件以便加热衬底的边缘区域。

插入凹槽可设置在第二主体中，且安装部分可包含可拆卸地安装于插入凹槽中以便接合用于输送衬底支撑设备的输送设备的接合部件。

安装部分可包含可拆卸地安装到已拆卸接合部件的插入凹槽中的插入部件。

一分离空间可设置在插入凹槽的至少一部分与插入部件之间。

根据另一示范性实施例，一种制造用于支撑衬底的衬底支撑设备的方法，所述方法包含：提供安装部分，安装部分包含与衬底接触的第一区域及被配置成包围第一区域的第二区域；以及处理第一区域的表面并处理第二区域的表面，使得第二区域的表面粗糙度值小于第一区域的表面粗糙度值。

处理第一区域的表面可包含增大第一区域与衬底之间的接触面积的处理。

第一区域和第二区域的表面的处理可包含：用涂布剂涂布第一区域和第二区域当中的一个区域的表面且在其它区域上注入颗粒；将涂布剂从一个区域中去除并用另一涂布剂涂布其它区域的表面；在一个区域的表面上注入颗粒；以及将涂布剂从其它区域中去除。

第一区域和第二区域的表面的处理可包含将颗粒注入到第二区域上，颗粒的直径小于注入到第一区域上的颗粒的直径。

制造衬底支撑设备的方法可还包含：在处理第一区域和第二区域的表面之后，将衬底支撑设备安装在腔室内部。

提供安装部分可包含在安装部分的周边中形成插入凹槽；

以及将衬底支撑设备安装在腔室内部可包含：将接合部件安装到插入凹槽中且使得接合部件与输送设备接合；以及通过输送设备来将衬底支撑设备放置在腔室内部。

将衬底支撑设备安装在腔室内部可包含：将接合部件与插入凹槽分离；以及填充插入凹槽。

附图说明

通过结合附图进行的以下描述可更详细地理解示范性实施例，其中：

图1是根据示范性实施例的衬底处理设备的结构的视图。

图2是根据示范性实施例的衬底支撑设备的结构的视图。

图3是根据示范性实施例的第一主体和第二主体的突起的形状的示意图。

图4是根据示范性实施例的用于对第一主体的厚度与第二主体的厚度进行比较的视图。

图5是根据示范性实施例的接合部件安装在第二主体上的结构的视图。

图6是根据示范性实施例的插入部件安装在第二主体上的结构的视图。

图7是根据另一示范性实施例的衬底支撑设备的结构的视图。

图8是根据示范性实施例的用于制造衬底支撑设备的方法的流程图。

附图标号说明

10：腔室；

15：压力泵；

20：注入设备；

100：衬底支撑设备；

110：安装部分；

111：第一主体；

111a：紧固孔；

111b、112b：突起；

112：第二主体；

112a：插入凹槽；

112c：台阶；

114：第二紧固螺栓；

116：接合部件；

116a：框架；

116b：吊环螺栓；

117：第一紧固螺栓；

120：支撑部分；

130：加热部分；

140：突起部分；

145：加热部件；

d1、d2：竖起方向厚度；

s：衬底；

s110、s120：步骤。

具体实施方式

下文中将参考附图详细地描述示范性实施例。然而，本公开可以不同形式实施，并且不应被解释为限于本文中所阐述的实施例。实际上，提供这些实施例以使得本公开将为透彻且完整的，并且将向所属领域的技术人员充分传达本公开的范围。为详细地描述本公开，可放大图式，且附图中的相似附图标记指代相似元件。

图1是根据示范性实施例的衬底处理设备的结构的视图。在下文中，为理解示范性实施例，将描述根据示范性实施例的衬底处理设备的结构。

参看图1，衬底处理设备包含腔室10、注入设备20以及衬底支撑设备100。此处，衬底处理设备可执行用于在衬底s上形成薄膜的工艺，且衬底s可以是玻璃衬底。

腔室10形成为呈盒形状。腔室10具有内部空间。在腔室10的一侧上，设置进入开口(未绘示)，可通过进入开口装载/卸载衬底s。闸门阀可安装在入口开口上。用于传送衬底s的传送部分(未绘示)可安装于腔室10中。因此，衬底s可传送到腔室10中且可执行用于处理衬底s的工艺。

另外，压力泵15可连接到腔室10。因此，通过压力泵15可来控制腔室10内部的压力。然而，腔室10的结构和形状不限于此，而是可多样化。

衬底支撑设备100支撑腔室10内部的衬底s。衬底支撑设备100的至少一部分位于腔室10内部的下部部分上。衬底s可安装在衬底支撑设备100的上表面上。

注入设备20可供应待沉积到衬底s上的原材料。注入设备20位于腔室10内部的上部部分上。注入设备20安置成面向衬底支撑设备100，且注入设备20与衬底支撑设备100彼此竖直地间隔开。

举例来说，注入设备20可形成为呈喷头形状。因此，注入设备20可将自外部供应的原材料注入到衬底s的上表面上。因此，可将原材料沉积到衬底s上并形成薄膜。然而，注入设备20的结构以及用于将原材料沉积到衬底s上的方法并不限于此，而是可多样化的。

图2是示出根据示范性实施例的衬底支撑设备的结构的视图；图3是示出根据示范性实施例的第一主体和第二主体的突起的形状的示意图；以及图4是根据示范性实施例将第一主体的厚度与第二主体的厚度进行比较的视图。下文中，将更详细地描述根据示范性实施例的衬底支撑设备的结构。

参看图1和图2，衬底支撑设备100是用于支撑衬底s的设备。衬底支撑设备100包含安装部分110和支撑部分120。另外，衬底支撑设备100可还包含加热部分130。此时，将衬底支撑设备100提供到衬底处理设备且可支撑衬底s同时执行用于处理衬底s的工艺。

将支撑部分120连接到安装部分110的下部部分。因此，支撑部分120可支撑安装部分110。支撑部分120包含轴。另外，支撑部分120可还包含竖直驱动装置(未绘示)和旋转驱动装置(未绘示)。

轴可在竖直方向上延伸。将轴的上端部分连接到安装部分110的下表面。可将轴的下端部分固定到腔室10的底表面。可替代地，轴的下端部分还可穿过腔室10的底部且定位于腔室10的外部。

将竖直驱动装置连接到轴。举例来说，竖直驱动装置可以是气缸，且可将轴上下移动。因此，连接到轴的安装部分110可竖直地移动。因此，可调节安装在安装部分110的上表面上的衬底s与注入设备20之间的距离。然而，竖直驱动装置竖直地移动轴的方法并不限于此，而是可多样化的。

旋转驱动装置连接到轴。举例来说，旋转驱动装置可以是发动机，且可围绕轴的竖直中心轴线来旋转轴。因此，连接到轴的安装部分110可绕轴旋转。因此，在旋转安装在安装部分110的上表面上的衬底s时，可借助于注入设备20将原材料供应到衬底s上。然而，旋转驱动装置旋转轴的方法并不限于此，而是可多样化的。

将加热部分130安装于安装部分110中。加热部分130可加热安装在安装部分110上的衬底s。举例来说，加热部分130可具有产生热量的旋管或加热丝。可根据衬底s或安装部分110的形状来安置加热部分130。加热部分130可安装在安装部分110下方或安装以便插入到安装部分110中。因此，经由安装部分110将由加热部分130产生的热量可传送到衬底s。然而，安装部分110的结构以及用于产生热量的方法并不限于此，而是可多样化的。

安装部分110安置于腔室内部，且可形成为呈板形状。举例来说，可对应于衬底s的形状而形成安装部分110。因此，当衬底s是矩形时，安装部分110也可形成为呈矩形形状，而当衬底s是圆形时，安装部分110也可形成为呈圆形形状。因此，衬底s可稳定安装且支撑于安装部分110的上表面上。安装部分110包含第一主体111和第二主体112。

第一主体111是可接触安装部分110上的衬底s的区域。可对应于衬底s的形状而形成第一主体111。第一主体111的面积可以形成在大于或等于衬底s的面积的面积中。因此，衬底s的下表面的整体可接触第一主体111。

另外，如图3中所绘示，第一主体111的表面(或上表面)设置有可接触衬底s的多个突起111b。即，由于第一主体111的表面具有表面粗糙度，因此多个突起111b可形成于第一主体111的表面上。设置在第一主体111上的突起111b的上表面的面积可形成为大于设置在第二主体112上的突起112b的上表面的面积。

此时，设置在第一主体111上的突起111b的上表面的总面积大于设置在第二主体112上的突起112b的上表面的总面积。另外，设置在第一主体111上的一个突起111b的上表面的面积大于设置在第二主体112上的一个突起112b的上表面的面积。

举例来说，第一主体111上的突起111b的截面形状可各自形成为呈梯形形状，且第二主体112上的突起112b的截面形状可各自形成为呈三角形形状。因此，衬底s与第一主体111的突起111b可接触的面积可能增大，可增大衬底s与第一主体111之间产生的摩擦力的量值。因此，可将衬底s稳定地安装在第一主体111上且无滑动。

另外，由于可增大第一主体111中实际上接触衬底s的面积，因此可不提供用于固定衬底s的单独遮蔽框架。即，由于衬底s稳定地支撑于第一主体111的突起111b上且可防止出现滑动，因此可将衬底s稳定地放置于第一主体111上，甚至无需遮蔽框架。因此，可防止由于安装部分110与遮蔽框架之间的摩擦而产生的颗粒。

此时，第一主体111的表面的算术平均粗糙度值可以是大约15微米到大约25微米。当第一主体111的算术平均粗糙度值小于大约15微米时，第一主体111的突起111b的上表面的面积并不容易增大，因此突起111b上的衬底s可轻易地滑动。因此，衬底s可能不是稳定地支撑于安装部分110上，所以可能未稳定地执行用于处理衬底s的工艺。

相反地，当第一主体111的算术平均粗糙度值大于大约25微米时，引起衬底s与第一主体111之间的摩擦，因此所产生的颗粒的量可能增大。所以，为减小所产生的颗粒的量同时稳定地支撑衬底s，可调节第一主体111的平均表面粗糙度值。

参看图2，第二主体112是包围安装部分110中的第一主体111的周边的区域。可沿第一主体111的外围形状形成第二主体112。第二主体112可能不接触衬底s。因此，可将第二主体112与衬底s间隔开。可整体地制造第一主体111和第二主体112，或还可分别地制造并组装第一主体111和第二主体112。

在这种情况下，可通过第二主体112来增大安装部分110的周边表面与衬底s之间的分离距离。即，第二主体112的外径或尺寸越大，可增大产生大量热损耗的安装部分110的周边表面与衬底s的外围区域之间的越远分离距离。因此，可抑制或防止衬底s的边缘区域比中心区域造成更多热损耗。所以，可易于均匀地调节衬底s的整体温度。

如图3中所绘示，多个突起112b设置在第二主体112的表面(或上表面)上。即，由于第二主体112的表面具有表面粗糙度，因此多个突起112b可形成于第二主体112的表面上。设置在第二主体112上的突起112b的上表面的面积可形成为小于设置在第一主体111的突起111b的上表面的面积。因此，第二主体112的突起112b的上表面可形成为比第一主体111的突起111b的上表面更尖。

另外，由于设置在第二主体112上的突起112b形成为呈尖的，因此突起112b可充当避雷针。因此，当安装部分110中产生火花时，可将火花引导到第二主体112。所以，引导火花在与衬底s间隔开的第二主体112中产生，使得可抑制或防止朝向第一主体111上的衬底s产生火花。

此时，第二主体112的表面的算术平均粗糙度值可为大约1.6微米到大约3.6微米。当第二主体112的算术平均粗糙度值小于大约1.6微米时，火花可能不被引导到第二主体112。即，第二主体112的突起112b之间的距离变得过小，第二主体112的上表面可形成为呈平坦的，且突起112b可不充当避雷针。因此，将火花朝向第一主体111引导且可能损害衬底s。

相反地，当第二主体112的算术平均粗糙度值大于大约3.6微米时，第二主体112中的所产生的颗粒的量可能增大。因此，为减小所产生的颗粒的量同时将火花朝向第二主体112引导，可调节第二主体112的平均表面粗糙度值。算术平均粗糙度值可以是在将平均线下方的曲线移动到平均线上方后，根据第一主体111或第二主体112的粗糙度曲线获得的粗糙度值。

此时，第二主体112的表面的粗糙度可针对每一区域而改变。举例来说，可将第二主体112的表面划分成包围第一主体111的周边的内表面和包围内表面的周边的外表面。外表面的表面粗糙度可大于内表面的表面粗糙度。因此，可将火花诱发到第二主体112的外表面，且可通过内表面将外表面与第一主体111彼此间隔开。因此，通过增大第一主体111上的衬底s与诱发火花的区域之间的间隔距离，可有效地抑制或防止产生火花。

同时，参看图4的(a)，第一主体111的竖直方向厚度d1可大于第二主体112的竖直方向厚度d2。即，第一主体111的上表面和第二主体112的上表面位于相同高度处，且第一主体11可比第二主体112更向下突出。

此时，可仅将加热部分130安装到第一主体111。由于第二主体112的厚度小于第一主体111的厚度，因此可轻易地将自加热部分130产生的热量转移到第二主体112。因此，可抑制或防止衬底s的边缘区域中造成更多热损耗。所以，可易于均匀地控制衬底s的整体温度。

替代地，如图4的(b)中所绘示，第一主体111的竖直方向厚度d1还可形成为等于第二主体112的竖直方向厚度d2。即，可将第一主体111和第二主体112的所有上表面和下表面放置在相同高度处。替代地，第一主体111的竖直方向厚度d1还可形成为小于第二主体112的竖直方向厚度d2。在这种情况下，可将加热部分130安装于第一主体111和第二主体112两个中。由于第二主体112的厚度至少是第一主体111的厚度，因此当将加热部分130仅安装于第一主体111中时，第二主体112的温度可能不容易升高。因此，在第二主体112中发生热损耗，且邻接于第二主体112的衬底s的边缘区域也发生热损耗。所以，加热部分130也安装于第二主体112中，使得可抑制或防止衬底s的边缘区域中的热损耗在第二主体112中产生。

图5是示出根据示范性实施例的接合部件安装于第二主体上的结构的视图；图6是示出根据示范性实施例的插入部件安装于第二主体上的结构的视图；以及图7是示出根据另一示范性实施例的衬底支撑设备的结构的视图。下文中，将描述根据示范性实施例的接合部件或插入部件安装于插入凹槽中的结构和根据另一示范性实施例的衬底支撑设备的结构。

参看图5，插入凹槽112a也可形成于第二主体112中。插入凹槽112a可形成为呈从第二主体112的外表面(或周边表面)朝内凹陷的形状。举例来说，多个插入凹槽112a可提供且可沿第二主体112的周边安置。

另外，安装部分110可还包含接合部件116。接合部件116可安装于插入凹槽112a中。接合部件116可以可拆卸地安装于插入凹槽112a中，使得能够输送衬底支撑设备100的输送设备(未绘示)可接合接合部件。可以与所提供插入凹槽112a的数目相同的数目提供多个接合部件116。接合部件116可各自包含框架116a和吊环螺栓116b。框架116a可耦接至插入凹槽112a内部的第一主体111的侧表面。第一紧固螺栓117可穿过框架116a且紧固到形成于第一主体111的侧表面中的紧固孔111a。可通过第一紧固螺栓117将框架116a固定于插入凹槽112a中或与插入凹槽112a脱离。

同时，可提供磁性部件(未绘示)替代第一紧固螺栓117。磁性部件可包含电磁体且安装在接合部件116上。限定第二主体112的插入凹槽112a的壁的至少一部分可由金属材料形成。因此，当将电力供应到磁性部件以产生磁力时，磁性部件附接到第二主体112的壁上且可将接合部件116耦接至第二主体112。当停止对磁性部件供电时，可将磁性部件与第二主体112分离且还可将接合部件116与第二主体112分离。因此，可更轻易地将接合部件116附接到第二主体112或与第二主体112分离。

将吊环螺栓116b的下端部分紧固到框架116a的上部部分，且上部部分可形成为呈圆环或吊钩形状。起重机或其类似物的吊钩可与吊环螺栓116b的上端部分接合。因此，可通过使用例如起重机的输送设备(未绘示)来轻易地移动衬底支撑设备100。然而，接合部件116的结构和形状不限于此，而是可多样化的。

如图6中所绘示，插入凹槽112a可包含第一凹槽和第二凹槽。第一凹槽定位成高于第二凹槽，且第一凹槽的宽度可形成为大于第二凹槽的宽度。因此，可在第一凹槽与第二凹槽之间形成高度差。插入部件113或接合部件116可组装并安装于插入凹槽112a中。然而，插入凹槽112a的结构和形状不限于此，而是可多样化的。

插入部件113可以可拆卸地安装于已与接合部件112分离的插入凹槽112a中。可以提供多个插入部件113，该插入部件113数目与所提供插入凹槽112a的数目相同。可对应于插入凹槽112a的形状形成插入部件113。因此，插入部件113可填充由插入凹槽112a形成的自由空间。所以，插入部件113可通过使用安装部分110中形成插入凹槽112a的部分来防止安装部分110的外围区域与衬底s的边缘区域彼此邻接。可借助于第二主体112和插入部件113来均匀地控制衬底s的整体温度。

另外，插入部件113的上部部分的宽度可形成为大于下部部分的宽度。插入部件113的上部部分的宽度的大小形成为不大于第一凹槽的宽度且大于第二凹槽的宽度。插入部件113的下部部分的宽度的大小形成为不大于第二凹槽的宽度。因此，可将插入部件113安装于第一凹槽与第二凹槽之间的台阶112c上。此时，第二紧固螺栓114可穿过第一凹槽与第二凹槽之间的台阶112c且紧固到插入部件113的上部部分。可借助于第二紧固螺栓114将插入部件113固定于插入凹槽112a中或与插入凹槽112a脱离。

插入部件113可由含陶瓷材料形成。此时，分离空间可形成于插入凹槽112a的至少一部分与插入部件113之间。即，在插入部件113的上部部分与第一凹槽之间以及插入部件113的下部部分与第二凹槽之间可能存在间隙。由于插入部件113的材料与第二主体112的材料不同，因此插入部件113的热膨胀系数与第二主体112的热膨胀系数可能不同。由于在插入部件113与第二主体112之间存在间隙，因此可防止插入部件113或第二主体112在经历热膨胀时受到损害。然而，插入部件113的结构和材料不限于此，而是可多样化的。

因此，当执行用于处理衬底s的工艺时，可将插入部件113安装于插入凹槽112a中；以及当执行用于移动衬底支撑设备100的工作时，可将接合部件116安装于插入凹槽112a中。可在衬底支撑设备100安装于衬底处理设备中时或在进行用于修复衬底处理设备的内部的工作时输送衬底支撑设备。

同时，参看图7的(a)，衬底支撑设备100可还包含突起部分140。突起部分140可从第二主体112的表面向上突出。举例来说，突起部分140可位于第二主体112上以面向连接到第一主体111的边界线。

另外，突起部分140可经安装以便包围衬底s的周边的一部分。举例来说，突起部分140可对应于衬底s的外围形状而以矩形环形状或圆环形状形成。替代地，突起部分140还可以多个分割区沿衬底s的周边安置的形状形成。因此，突起部分140可防止衬底s在第一主体111上滑动以及进入第二主体112。所以，可将衬底s维持在稳定地安装于第一主体111上的状态下。

此时，如图7的(b)所绘示，加热部件145也可安装于突起部分140中。加热部件145可以是加热丝。加热部件145可安装于突起部分内部或安装于可面向衬底s的突起部分140的表面上。因此，加热部件145可加热面向突起部分140的衬底s的边缘区域。所以，可有效地防止衬底s的边缘区域中的温度下降，且可易于调节衬底s的温度。加热部件145可在与加热部分130相同的温度下产生热能。然而，实施例并不限于此，而实施例之间可能存在各种组合。

图8是示出根据示范性实施例的用于制造衬底支撑设备的方法的流程图。下文中将描述根据示范性实施例的用于制造衬底支撑设备的方法。

参看图8，用于制造衬底支撑设备的方法包含：提供安装部分，安装部分设置有与衬底接触的第一区域和被配置成包围第一区域的第二区域(s110)；以及处理第一区域的表面及处理第二区域的表面使得第二区域的表面粗糙度值小于第一区域的表面粗糙度值(s120)。此处，第一区域可以是提供到安装部分的第一主体的上表面，且第二区域可以是提供到安装部分的第二主体的上表面。即，第一区域可以是与安装于安装部分上的衬底接触的区域，且第二区域可以是与安装于安装部分上的衬底间隔开的区域。另外，表面粗糙度值可以是粗糙度值。

首先，参看图1到图3，可提供形成为板形状的安装部分110。安装部分110的上表面具有安装衬底第一区域和包围第一区域的周边的第二区域。

接着，运行第一区域的表面和第二区域的表面的处理使得第一区域的表面的表面粗糙度值和第二区域的表面的表面粗糙度值变得彼此不同。示范性实施例示范性描述首先处理第一区域的表面且随后处理第二区域的表面。然而，实施例并不限于此，但可在处理第二区域的表面后处理第一区域的表面。

在处理第一区域的表面前，可用涂布剂涂布第二区域的表面。举例来说，仅将遮蔽剂涂覆于第二区域的表面，使得可仅涂布第二区域的表面。

当用涂布剂涂布第二区域的表面时，可将颗粒注入到尚未涂布有涂布剂的第一区域的表面。举例来说，可通过喷砂方法对第一区域的表面进行抛光。具有较小直径的栅格玻璃球、硅砂、海洋沙等可用于颗粒或抛光剂。由于涂布剂保护第二区域的表面，因此可不通过注入到第一区域的颗粒来处理第二区域的表面。然而，颗粒的类型并不限于此且可以是多样化的。

此时，第一区域的表面的算术平均粗糙度值可以是大约15微米到大约25微米。当第一区域的表面的算术平均粗糙度值小于15微米时，衬底s与第一区域之间的接触面积减小且衬底s可滑动。因此，衬底s可并非稳定地支撑于安装部分110上，且可并非稳定地执行用于处理衬底s的工艺。

相反地，当第一区域的算术平均粗糙度值大于大约25微米时，引起衬底s与第一区域之间的摩擦，因此所产生的颗粒的量可能增大。所以，为减小所产生的颗粒的量同时稳定地支撑衬底s，可调节第一区域的平均表面粗糙度值。

同时，为增大第一区域与衬底s之间的接触面积，还可进一步执行处理第一区域的操作。举例来说，可在第一区域的表面上执行例如剥离的后处理。当剥离第一区域的表面时，可将形成于第一区域中的突起的上端部分展平。因此，第一区域的突起与衬底s之间的接触面积增大，使得可稳定地固定衬底的位置。所以，即使不提供用于固定衬底s的单独遮蔽框架，仍可由于第一区域的粗糙度值而将衬底s稳定地支撑于第一区域的表面上，且可防止在提供遮蔽框架时出现问题。

随后，将涂布剂从第二区域去除，且可将由颗粒抛光的第一区域的表面用涂布剂涂布。举例来说，仅将遮蔽剂涂覆到第一区域的表面，使得可仅涂布第一区域的表面。然而，实施例并不限于此，但可在用涂布剂涂布第一区域后将涂布剂从第二区域去除，或也可同步执行将涂布剂从第二区域中去除和涂布第一区域的操作。

当用涂布剂涂布第一区域的表面时，可将颗粒注入到已去除涂布剂的第二区域的表面。举例来说，可通过喷砂方法将第二区域的表面抛光。具有较小直径的栅格玻璃球、硅砂、海洋沙等可用于颗粒或抛光剂。由于涂布剂保护第一区域的表面，因此可不通过注入到第二区域的颗粒来处理第一区域的表面。然而，颗粒的类型并不限于此且可以是多样化的。

此时，注入到第二区域的颗粒的平均直径可小于注入到第一区域的颗粒的平均直径。因此，第二区域的表面粗糙度值可以小于第一区域的表面粗糙度值。多个突起通过注入的颗粒而形成于第一区域和第二区域的表面上。由于第二区域的表面粗糙度值较小，因此相较于形成于第一区域中的突起，形成于第二区域中的突起是以集中形式安置。

另外，形成于第二区域中的突起并未穿过单独平坦化工艺，且可进而形成为呈尖形状。因此，由于第二区域中的突起可充当避雷针，因此当在安装部分110中产生火花时，可将火花引导到第二区域。可抑制或防止在第一区域上的衬底s中产生火花。

此时，第二区域的表面的算术平均粗糙度值可为大约1.6微米到大约3.6微米。当第二区域的算术平均粗糙度值小于大约1.6微米时，可以不将火花引导到第二区域。即，第二区域中的突起之间的距离变得过小，第二区域的表面可形成为整体平坦，且突起可以不充当避雷针。因此，将火花引导到第一区域上的衬底s上且可能损害衬底s。

相反地，当第二区域的算术平均粗糙度值大于大约3.6微米时，所产生的颗粒的量可能在第二区域中增大。因此，为减小所产生的颗粒的量同时将火花引导到第二区域，可调节第二区域的平均粗糙度值。

第二区域是包围第一区域的周边的区域。因此，安装部分110的周边表面与衬底s之间的分离距离可由于第二区域而增大。即，第二区域的外径或大小越大，可增大产生大量热损耗的安装部分110的周边表面与衬底s的边缘区域之间的越远分离距离。因此，可抑制或防止衬底s的外围区域比中心部分产生更多热损耗的现象，且因此可均匀地调节衬底s的整体温度。

接着，可将涂布剂从涂布有涂布剂的第一区域去除。因此，可处理第一区域和第二区域以便使其具有彼此不同的表面粗糙度值。另外，第一区域的表面经后处理，使得第一区域中的突起和第二区域中的突起可形成为呈彼此不同的形状。

接着，可将衬底支撑设备100安装于腔室10的内部。此时，参看图5和图6，插入凹槽112a可形成于安装部分110的周边中。即，可提供其中形成插入凹槽112a的安装部分110。插入凹槽112a可形成呈从安装部分110的周边表面朝内凹陷的形状。

接着，可将接合部件116安装于插入凹槽112a中的每一个中。接合部件116设置有吊环螺栓116b。可将接合部件116的吊环螺栓116b直接或间接连接到输送设备。因此，在连接到接合部件116时，输送设备(未绘示)可输送衬底支撑设备100。所以，可通过控制输送设备的操作来将衬底支撑设备100安装于腔室10内部。

接着，可将安装于插入凹槽112a中的接合部件116拆卸。可填充已与接合部件116拆离的插入凹槽112a。举例来说，可提供对应于插入凹槽112a的形状形成的插入部件113且可将插入部件113安装于插入凹槽112a中。插入部件113可填充由插入凹槽112a形成的自由空间。因此，插入部件113可通过使用安装部分110中形成插入凹槽112a的部分来防止安装部分110的外围区域与衬底s的边缘区域彼此邻接。

因此，处理衬底支撑设备的上部表面，使得即使不提供遮蔽框架，仍可将衬底稳定地安装于安装部分中。因此，可防止由于安装部分与遮蔽框架之间的摩擦而产生颗粒。

另外，提供包围第一区域的周边的第二区域，使得安装部分的周边表面与衬底之间的分离距离可增大。即，在安装部分中，产生大量热损耗的外围区域与衬底的边缘区域之间的分离距离可能增大。因此，可抑制或防止衬底的边缘区域中比中心区域中产生更多的热损耗。所以，可易于均匀地调节衬底的整体温度。

另外，在安装部分的上表面上，与衬底分离的区域的粗糙度值可设置为小于安装衬底的区域的粗糙度值。因此，可引导火花在与衬底分离的区域中产生，使得可防止在衬底上产生火花。

根据示范性实施例，可将衬底稳定地安装于安装部分上而无需提供遮蔽框架。因此，可防止由于安装部分与遮蔽框架之间的摩擦而产生的颗粒。

另外，可增大安装部分的周边表面与衬底之间的分离距离。即，在安装部分中，可增大产生大量热损耗的外围区域与衬底的外围区域之间的分离距离。因此，可抑制或防止在衬底的外围区域比在中心区域中产生更多的热损耗。所以，可易于调节衬底的整体温度。

另外，在安装部分的上表面上，与衬底分离的区域的粗糙度值可设置为小于安装衬底的区域的粗糙度值。因此，可引导火花在与衬底分离的安装部分的区域中产生，使得可防止在衬底上产生火花。

到目前为止，在本公开的详细描述中，已经描述了具体示范性实施例，但是可在不脱离本公开的精神和范围的情况下对实施例进行各种修改。因此，本发明的范围不受本发明的详细描述界定，但受所附权利要求书界定，且范围内的所有差异将被解释为包含于本发明中。