微型折孔且不同孔径的流体抛光治具的制作方法

本发明属于机械制造业技术领域，ic装备零部件的零件中对微小孔精度及粗糙度要求很高，不允许孔内有毛刺，但直径在￠0.3mm以下的微小孔不能通过人工去除毛刺，所以只能通过专门的磨粒流体抛光设备来完成，而必须根据零件的具体形状及孔的分布情况来设计专用的工装夹具才能完成。

背景技术：

随着电子集成电路，智能制造的快速发展和普及，对于ic装备的需求量也日益增加。国家也将集成电路制造归到9大专项中的02专项进行攻关和研发。此工件就是ic装备中一种重要的零部件，其特点是，零件小巧精致，内部小孔表面粗糙度要求高，直径在￠5mm以下，这样的小孔需要使用超高转速加工中心来保证孔的直径公差及位置度要求。但是孔内毛刺是难以去除的，并且小孔对于粗糙度也是有要求的。因此需要采用专门的磨粒流设备配合专用的工装夹具才能达到去除毛刺，改善孔内粗糙度质量达到设计图纸的要求。

技术实现要素：

本发明的目的是一种微型折孔且不同孔径的流体抛光治具，保证一次多个装夹并能够分别抛磨不同孔位。

本发明采用的技术方案是：

一种微型折孔且不同孔径的流体抛光治具，包括3套工装治具，第一套由下模一、上模一组成，第二套由下模二、上模二、尼龙挡块一组成，第三套由下模三、上模三、挡板、尼龙挡块二组成。

第一套治具由下模一、上模一组成，采用铝合金材质，磨料口尺寸与磨粒流下料孔尺寸一致，实现磨料流动方向将工件的所有孔位整体磨流一遍，为工件流体抛光的第一序。

第二套治具由下模二、上模二、尼龙挡块一组成，下模二、上模二为铝合金材质，尼龙挡块为白色尼龙材质，根据工件直孔位置，治具表面设有与工件相接触的导孔结构，保证导孔孔位与零件对应一致，尼龙挡块阻止磨料进入工件腔体内部，防止在压力作用下使工件变形，为工件流体抛光的第二序。

第三套治具由下模三、上模三、挡板、尼龙挡块二组成，下模三和上模三为铝合金材质，挡板材质为不锈钢，尼龙挡块二为白色尼龙材质，根据工件折孔位置需求，于上模三表面上设有相接触的导孔结构，保证导孔孔位于零件对应一致，由于工件折孔两个孔位位于工件一侧，需要引流结构设计，挡板用于改变磨料的流动方向，白色尼龙挡块阻止磨料进入工件腔体内部，防止在压力作用下使工件变形，为工件流体抛光的第三序。

本发明的有益效果是：

1.工装设计结构简单实用，使用铝合金材质，保证工装重量轻，便于单个操作者能够搬运和装夹。

2.通过上模、下模的连接，使磨料从导流口引入和导出，来回循环，上模、下模就是连接磨粒流设备磨料口的通道口

3.通过导流口来覆盖所有孔位的面积，三次装夹操作即可完成6或10个工件磨削加工，不需要多次装夹。

4.本发明加工简单，使用性强，操作方便，节省大量人工准备时间，并且保证研磨的效果和质量。

附图说明

图1为工件孔位俯视图。

图2为工件孔位剖视图。

图3为第一套工装组装及工作示意图。

图4为第一套工装组装及工作示意图。

图5为第一套工装组装及工作示意图。

具体实施方式

下面结合说明书附图1-5对本发明进一步说明。

一种微型折孔且不同孔径的流体抛光治具，包括3套工装治具，第一套由下模一101、上模一102组成，第二套由下模二201、上模二202、尼龙挡块一组成，第三套由下模三301、上模三302、挡板、尼龙挡块二组成。

第一套治具由下模一101、上模一102组成，采用铝合金材质，磨料口尺寸与磨粒流下料孔尺寸一致，实现磨料流动方向将工件的所有孔位整体磨流一遍，为工件流体抛光的第一序。

第二套治具由下模二201、上模二202、尼龙挡块一4组成，下模二201、上模二202为铝合金材质，尼龙挡块为白色尼龙材质，根据工件直孔位置，治具表面设有与工件相接触的导孔结构，保证导孔孔位与零件对应一致，尼龙挡块阻止磨料进入工件腔体内部，防止在压力作用下使工件变形，为工件流体抛光的第二序。

第三套治具由下模三301、上模三302、挡板7、尼龙挡块二5组成，下模三301和上模三302为铝合金材质，挡板材质为304不锈钢，尼龙挡块二为白色尼龙材质，根据工件折孔位置需求，于上模三302表面上设有相接触的导孔结构，保证导孔孔位于零件对应一致，由于工件折孔两个孔位位于工件一侧，需要引流结构设计，挡板用于改变磨料的流动方向，白色尼龙挡块阻止磨料进入工件腔体内部，防止在压力作用下使工件变形，为工件流体抛光的第三序。

尼龙挡块一4和尼龙挡块二5下部设有防呆凸台6。

磨料导出口尺寸为为了磨削小孔需要设计此套工装治具，此工装治具将不同孔径折孔分别开来抛磨，通过分布及引流手段来实现其功能性。若不采用此结构则需要重复在不同的位置安装并且无法达到所需抛光效果。

技术特征：

技术总结
本发明工装为一种微型折孔且不同孔径的流体抛光治具包括3套工装治具，第一套由下模一、上模一组成，第二套由下模二、上模二、尼龙挡块一组成，第三套由下模三、上模三、挡板、尼龙挡块二组成。由下模对应孔位引导磨料从出料口引入以及引流构建通路，设定好每套工装治具各位置的通路，从上模出料，进而达到不同孔径折孔的抛光效果。不同孔径分开流体抛光，从而达到每个孔的抛光要求。

技术研发人员：王新
受保护的技术使用者：沈阳富创精密设备有限公司
技术研发日：2019.04.29
技术公布日：2019.09.17