1.一种新型磁控溅射导向式泵抽装置,包括泵壳(1),其特征是:所述泵壳(1)的内部套有一个圆柱体部件(2),所述圆柱体部件(2)内焊接式安装有导向槽(3),所述导向槽(3)从所述圆柱体部件(2)的底端回旋式延伸至顶端,所述导向槽(3)包括柱体(3.1)、凹槽(3.2)、薄膜(3.3)和凸起(3.4),所述柱体(3.1)由若干个半椭圆型的弧由上至下相互连接组成,所述柱体(3.1)的截面呈棱台状,且底部固定在所述圆柱体部件(2)的内壁上、顶部朝向所述圆柱体部件(2)的中央,所述柱体(3.1)上设有所述凹槽(3.2),所述凹槽(3.2)呈锯齿状均匀的排列在所述柱体(3.1)的外表面上,所述凹槽(3.2)的外部铺设有一层所述薄膜(3.3),所述薄膜(3.3)的表面上均匀的设有若干个所述凸起(3.4),所述圆柱体部件(2)的前端设有圆环(4),所述圆环(4)设置在所述圆柱体部件(2)的内侧,所述圆环(4)上安装有扇叶(5)。
2.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置,其特征是:所述圆柱体部件(2)的材质为塑料。
3.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置,其特征是:所述导向槽(3)的材质为塑料。
4.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置,其特征是:所述薄膜(3.3)的材质为磨砂塑料膜。
5.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置,其特征是:所述圆柱体部件(2)和所述泵壳(1)之间留有缝隙。
6.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置,其特征是:所述凸起(3.4)的形状为圆点状。
7.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置,其特征是:所述薄膜(3.3)通过胶水固定在所述柱体(3.1)上。