一种热丝CVD纳米金刚石涂层设备的制作方法

文档序号:19043799发布日期:2019-11-05 23:26阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种热丝CVD纳米金刚石涂层设备,包括密封的箱体(1),其特征在于:还包括设于所述箱体(1)内的模具固定架(2)、热丝组件气体输送组件以及抽气组件,所述箱体(1)的外壁上设有控制系统;

所述热丝组件包括热丝(31)、用于检测热丝(31)温度的温度检测模块以及设于模具固定架(2)两侧的热丝固定架;

所述气体输送组件包括气体喷嘴(41)、连通气体喷嘴(41)的输气管道(43)、设于输气管道(43)内的气体流速检测模块以及通过气体输送泵(44)与输气管道(43)连通的储气罐(45);

所述抽气组件包括用于检测箱体(1)内部气压的气压检测模块以及通过排气管(51)与箱体(1)侧面连接的真空泵(52);

所述控制系统用于分别收集温度检测模块、气体流速检测模块以及气压检测模块各模块反馈的检测信号,并根据各模块反馈的检测信号分别控制热丝(31)、气体输送泵(44)以及真空泵(52)的动作。

2.根据权利要求1所述的热丝CVD纳米金刚石涂层设备,其特征在于:所述控制系统包括控制模块、与控制模块电源端电连接的供电电路以及分别与控制模块电连接的触摸显示屏、第一变频器、第二变频器、电压调节模块。

3.根据权利要求2所述的热丝CVD纳米金刚石涂层设备,其特征在于:所述控制模块包括单片机、分别与单片机电连接的第一DA转换模块、第二DA转换模块以及第三DA转换模块。

4.根据权利要求1所述的热丝CVD纳米金刚石涂层设备,其特征在于:所述储气罐(45)与气体输送泵(44)之间还设有电气阀门(46),所述电气阀门(46)与控制系统电气连接。

5.根据权利要求1所述的热丝CVD纳米金刚石涂层设备,其特征在于:所述温度检测模块包括设于热丝(31)一端的温度传感器(32)以及第一AD转换模块,所述第一AD转换模块的输入端与温度传感器(32)的输入端电连接,所述第一AD转换模块的输出端与控制系统电连接。

6.根据权利要求1所述的热丝CVD纳米金刚石涂层设备,其特征在于:所述气体流速检测模块包括设于气体输送管内的流速传感器(42)以及第二AD转换模块,所述第二AD转换模块的输入端与流速传感器(42)的输入端电连接,所述第二AD转换模块的输出端与控制系统电连接。

7.根据权利要求1所述的热丝CVD纳米金刚石涂层设备,其特征在于:所述气压检测模块包括设于箱体(1)内壁的气压传感器(53)以及第三AD转换模块,所述第三AD转换模块的输入端与气压传传感器的输入端电连接,所述第三AD转换模块的输出端与控制系统电连接。

8.根据权利要求1所述的热丝CVD纳米金刚石涂层设备,其特征在于:所述箱体(1)中部横设有平板(8),所述模具固定架(2)和热丝固定架设于平板(8)的上表面,所述储气罐(45)和气体输送泵(44)设于平板(8)的下方,所述输气管道(43)穿设于平板(8),输气管道(43)两端分别与气体喷嘴(41)及气体输送泵(44)连接。

9.根据权利要求1所述的热丝CVD纳米金刚石涂层设备,其特征在于:所述箱体(1)的外侧设有安装架(62),所述安装架(62)上活动设置有瞄准镜(61)。

10.根据权利要求1所述的热丝CVD纳米金刚石涂层设备,其特征在于:所述箱体(1)相对于安装架(62)的一侧开设有通孔,所述通孔设有玻璃板(12),所述玻璃板(12)通过密封胶与箱体(1)固定连接。

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