技术总结
本实用新型公开了一种热丝CVD纳米金刚石涂层设备，包括密封的箱体，还包括模具固定架、热丝组件、气体输送组件、抽气组件以及控制系统；热丝组件包括热丝、温度检测模块以及热丝固定架；气体输送组件包括气体喷嘴、输气管道、气体流速检测模块、气体输送泵以及储气罐；抽气组件包括气压检测模块、排气管与真空泵。本实用新型利用控制系统用于分别收集温度检测模块以及气体流速检测模块反馈的检测信号，并根据各模块反馈的检测信号分别控制热丝以及气体输送泵的动作，可以根据不同的工艺时间段内，实现热丝温度及气体流量的自动调节及精准控制，有效地提高模具内孔的金刚石涂的生长效率以及质量，并避免浪费过多的反应气体。
技术研发人员：葛强;李万春;郭乃祝
受保护的技术使用者：珠海中纳金刚石有限公司
技术研发日：2019.01.18
技术公布日：2019.11.05