本实用新型涉及喷砂设备技术领域，具体涉及一种喷砂区域可调节的喷砂治具。
背景技术：
在半导体衬底的使用过程中，必须定期或不定期地对半导体衬底的表面进行清洗，才能维持半导体衬底的良好性能，保证其正常使用。
半导体衬底的表面一般采用喷砂处理，喷砂处理可去除半导体衬底表面的毛刺和油污等。很多时候只需要对半导体衬底表面的一部分进行喷砂处理，其余部分须保护起来不能被喷到，这就需要使用到喷砂治具。现有的喷砂治具的喷砂区域是固定的，如果半导体衬底上的待喷砂表面与喷砂治具上的喷砂区域不相适应，就必须更换新的喷砂治具，增加了工人的劳动强度，并且工厂还必须购买多种规格的喷砂治具，增加了成本。
技术实现要素：
针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种喷砂区域可调节的喷砂治具，使其喷砂区域可以调节，降低工人的劳动强度，并且减少工厂的成本。
为了实现上述目的，本实用新型通过如下的技术方案来实现：一种喷砂区域可调节的喷砂治具，包括治具盖和治具座，所述治具座上形成有用于容纳半导体衬底的放置槽，还包括多个喷砂板，所述治具盖的一侧与所述治具座的一侧铰接、另一侧与所述治具座的另一侧可拆卸连接，所述治具盖的内部具有容置腔，所述容置腔在所述治具盖的所述另一侧形成敞口，所述治具盖上开设有贯穿的第一开口，每个所述喷砂板的大小均与所述容置腔的大小相适应，所述喷砂板上贯穿开设有构成喷砂区域的第二开口，所述喷砂板可从所述敞口处放入所述容置腔内、并通过第一连接结构固定。
进一步地，所述连接结构为：所述治具盖的两端的上表面上均设置有螺钉，所述喷砂板的两端均开有与所述螺钉的相配合的第一螺纹孔，所述治具座的两端均开有与所述螺钉的螺纹端相配合的第二螺纹孔，所述螺钉可穿过所述第一螺纹孔后与所述第二螺纹孔配合。
进一步地，所述喷砂板的底部具有两个向下凸出的限位部，所述限位部用于限制所述半导体衬底的两端的移动。
进一步地，还包括两个设置在所述放置槽内的限位机构，两个所述限位机构分别设置在所述治具座的两侧，所述限位机构包括转动杆和限位板，所述转动杆沿横向穿过所述治具座的一侧，所述转动杆的一端伸入所述放置槽内、另一端向外伸出，所述转动杆与所述治具座转动连接，所述转动杆的所述一端具有外螺纹，所述转动杆的所述另一端具有手柄，所述限位板设置在所述转动杆的所述一端、且位于两个所述限位部之间，所述限位板的一侧具有套筒，所述套筒的内壁上具有与所述转动杆的外螺纹相适应的内螺纹。
进一步地，所述限位板与所述套筒螺栓连接。
本实用新型的有益效果：本实用新型提供的一种喷砂区域可调节的喷砂治具，在多个喷砂板上分别开有多个不同规格的第二开口，第二开口构成喷砂区域。工人可以根据半导体衬底的待喷砂表面的不同，选择更换不同的喷砂板，以实现喷砂板上的喷砂区域与半导体衬底的待喷砂表面相适应，从而实现喷砂区域的可调。因此，工人不需要因为喷砂治具上的喷砂区域与半导体衬底上的待喷砂表面不相适应，而更换新的喷砂治具，减少了工人的劳动强度，工厂也不需要购买多种规格的喷砂治具，减少了成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为喷砂板的结构示意图；
图3为限位机构的结构示意图。
附图标记：10-治具盖、11-容置腔、12-敞口、13-第一开口、20-治具座、21-放置槽、22-第二螺纹孔、30-喷砂板、31-第一螺纹孔、32-第二开口、33-限位部、40-螺钉、50-限位机构、51-转动杆、52-手柄、53-套筒、54-限位板。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“纵”、“横”、“水平”、“顶”、“底”、“上”、“下”、“内”和“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
如图1-3所示，本实用新型提供一种喷砂区域可调节的喷砂治具，包括治具盖10和治具座20，治具座20上形成有用于放置半导体衬底的放置槽21。治具盖10的一侧与治具座20的一侧铰接、另一侧与治具座20的另一侧可拆卸连接，铰接结构使得工人打开和闭合治具盖10更加容易，避免了现有的喷砂治具需要拧紧或拧松多个螺钉40才能实现喷砂治具的开闭的问题，简化了工人的操作。治具盖10的内部具有容置腔11，容置腔11在治具盖10的另一侧形成敞口12，治具盖10上开设有贯穿的第一开口13。
还包括多个喷砂板30，每个喷砂板30的大小均与容置腔11的大小相适应，喷砂板30可以从敞口12处放入容置腔11内、并通过第一连接结构固定在容置腔11内。喷砂板30上贯穿开设有构成喷砂区域的第二开口32，喷砂机通过此第二开口32对半导体衬底的待喷砂表面进行喷砂作业，治具盖10和喷砂板30盖住和保护半导体衬底的其他表面，避免半导体衬底的其他表面被喷砂作业时喷出的砂粒溅射到。
使用时，工人先根据半导体衬底的待喷砂表面的形状选择喷砂板30，选择喷砂板30的标准是喷砂板30上的第二开口32与半导体衬底上的待喷砂表面相适应；然后将选择好的喷砂板30从治具盖10的敞口12处放入容置腔11内并固定；再打开治具盖10，将半导体衬底放进放置槽21内，待喷砂表面朝上；最后再盖上治具盖10，闭合喷砂治具即可。对下一批待喷砂表面不同的半导体衬底进行喷砂作业时，只需要更换喷砂板30即可，不需要更换整个喷砂治具，因此减少了工人的劳动强度，工厂也不需要购买多种规格的喷砂治具，减少了工厂的成本，具有较好的实用性。
在一个实施例中，连接结构具体为：在治具盖10的两端的上表面上均安装有螺钉40，喷砂板30的两端均开有与螺钉40的螺纹端相配合的第一螺纹孔31，治具座20的两端均开有与螺钉40相配合的第二螺纹孔22。螺钉40可穿过第一螺纹孔31后与第二螺纹孔22配合，从而与治具座20连接。此连接结构的螺钉40与第二螺纹孔22的配合，不仅将喷砂板30固定在了容置腔11内，还将治具盖10与治具座20连接起来，实现了喷砂治具的闭合。
在一个实施例中，喷砂板30的底部具有两个向下凸出的限位部33。盖上治具盖10后，半导体衬底位于两个限位部33之间、且两端与两个限位部33贴合，因此限位部33能够限制半导体衬底的两端的移动，使得半导体衬底放置在喷砂治具内更加稳定。并且由于限位部33的存在，使得长度不同的半导体衬底都可以放置在本喷砂治具内进行喷砂作业，不会出现晃动等情况，提高了喷砂治具的适应性。
在一个实施例中，还包括两个设置在放置槽21内的限位机构50。两个限位机构50分别设置在治具座20的两侧。限位机构50包括转动杆51和限位板54，转动杆51沿横向穿过所述治具座20的一侧，转动杆51的一端伸入放置槽21内、另一端向外伸出。转动杆51与治具座20通过轴承转动连接。转动杆51的上述一端具有外螺纹、上述另一端具有方便转动转动杆51的手柄52。限位板54设置在转动杆51的上述一端、且位于两个所述限位部33之间，优选地，限位板54的底部与放置槽21的底部贴合。限位板54的一侧具有套筒53，套筒53的内壁上具有与转动杆51的外螺纹相适应的内螺纹。
工人转动手柄52时，套筒53会根据手柄52转动的方向逐渐靠近和远离转动杆51，进而使两个限位板54靠近和远离。将半导体衬底放入放置槽21后，工人可以转动手柄52使两个限位板54夹紧半导体衬底，从而使得半导体衬底放置在喷砂治具内更加稳定，并且限位机构50使得宽度不同的半导体衬底都可以放置在本喷砂治具内进行喷砂作业，进一步提高了喷砂治具的适应性。
在一个实施例中，限位板54与套筒53螺栓连接。螺栓连接使得套筒53和限位板54一旦发生损坏可以及时更换，便于工人维修。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。