旋转镀膜机构及其应用的连续式镀膜生产线的制作方法

【技术领域】

本申请涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种旋转镀膜机构及其应用的连续式镀膜生产线。

背景技术：

目前的真空镀膜设备一般分为单体机和连续式生产线，前者一般适合小尺寸产品、异形或者圆柱形产品，也可做一些柔性或者可卷绕产品；后者包括卷绕式连续生产线和平板类连续生产线，卷绕式连续生产线主要针对柔性或者可卷绕产品，通常将整个被镀材料成整卷状态装在镀膜室中，由放卷处开始，通过整套卷绕机构，经过镀膜后最终全部收到收卷轴上，然后再整卷取出，每镀完一整卷就需要破空更换被镀材料；平板类连续生产线主要适合大尺寸平板类产品，通过装夹等方式，将基板夹在基片架上，基片架通过传动，依次经过进片室、各功能真空室完成镀膜，再从出片室出真空室，卸下产品后，基片架回位重新装片进入镀膜，整条生产线上有多个基片架一直运转，保证生产线一直不间断连续生产，除非设备故障或者更换镀材才会破空停机。

然而，现有的这两种设备都无法兼容圆筒形工件的镀膜，降低了设备利用率。

技术实现要素：

为解决现有的镀膜设备无法兼容圆筒形工件的镀膜的技术问题，本申请提供一种旋转镀膜机构及其应用的连续式镀膜生产线。

本申请为解决其技术问题所采用的技术方案：

旋转镀膜机构，包括可装夹基板工件的基片架，所述基片架上设置有滚筒组件、以及带动所述滚筒组件转动的传动机构，所述滚筒组件包括转动本体，所述转动本体上设有用于支撑圆筒形工件的支撑部，圆筒形工件支撑于该支撑部上且可随所述转动本体相对所述基片架转动以实现真空镀膜。

如上所述的旋转镀膜机构，所述转动本体的外周侧壁均布设有多个可用于悬挂放置平板工件的悬挂部。

如上所述的旋转镀膜机构，所述悬挂部的端部设有向上弯折的弯折段。

如上所述的旋转镀膜机构，所述支撑部包括多个设于所述转动本体外周且位于同一水平面上均布的支撑柱。

如上所述的旋转镀膜机构，所述支撑柱上设有与圆筒形工件的底部边缘配合卡接的限位槽。

如上所述的旋转镀膜机构，所述滚筒组件还包括与所述转动本体相连的转轴，所述转轴的上端和下端分别设有上支撑轴承座和下支撑轴承座且上支撑轴承座可拆卸连接于基片架上。

如上所述的旋转镀膜机构，所述转轴的下端设有与转轴相连带动转轴转动的第一传动齿轮，所述传动机构包括与所述第一传动齿轮配合啮合的第二传动齿轮。

如上所述的旋转镀膜机构，所述传动机构还包括与所述第二传动齿轮相连的磁流体密封装置以及由电机带动转动的同步轮，所述同步轮连接在所述磁流体密封装置上。

连续式镀膜生产线，还包括上述的旋转镀膜机构。

与现有技术相比，本申请有如下优点：

1、本申请通过将待镀膜的圆筒形工件套于滚筒组件的外周，使圆筒形工件随滚筒组件转动，实现全方位镀膜，主要适用于连续式平板类镀膜生产线或卷绕式连续生产线，在原有设备中增加可实现圆筒形工件镀膜的旋转镀膜机构，增加镀膜产品种类，既可在基片架上装夹大型平板，完成平板工件的镀膜，也可在滚筒组件上装设圆筒形工件，完成圆筒形工件的镀膜，可镀产品种类增加，提高设备利用率，减少企业投入多种设备，降低投资成本。

2、本申请的旋转镀膜机构，滚筒组件上还设有多个悬挂部，悬挂部上可对应悬挂放置待镀膜的平板工件，可用于将小型平板工件装设于基片架上，进一步增加镀膜产品种类，大大提高设备利用率。

3、本申请的旋转镀膜机构，转轴的下端设有第一传动齿轮，基片架上设有与第一传动齿轮相啮合带动第一传动齿轮转动的第二传动齿轮，通过电机带动第二传动齿轮给旋转镀膜机构提供动力，通过调整电机转速调整旋转镀膜速度。

【附图说明】

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请的滚筒组件的结构示意图；

图2是本申请的传动机构的分解图；

图3是本申请的旋转镀膜机构的应用示意图；

图4是本申请的圆筒形工件安装于基片架上的示意图；

图5是本申请的平板工件安装于基片架上的示意图；

图6是本申请的基片架背面的结构示意图。

【具体实施方式】

下面将结合附图及具体实施例对本申请作进一步说明。

请参看附图1至附图6,一种连续式镀膜生产线，其上设有旋转镀膜机构，所述旋转镀膜机构包括基片架a，所述基片架a的正面转动设置有滚筒组件1，滚筒组件1上可放置待镀膜的圆筒形工件b，基片架a的背面设有多个装夹机构6，装夹机构6分布于基片架a的上端和下端，上下两端的装夹机构6之间可装夹一个或多个待镀膜的基板工件，基板工件为大型平板镀膜产品。通过旋转镀膜机构，使连续式镀膜生产线既可完成大型平板工件的镀膜，又可完成圆筒形工件的镀膜，实现完全不同类型的两类工件的镀膜，提高设备利用率，增加设备镀膜产品类型。

进一步地，所述旋转镀膜机构还包括带动所述滚筒组件1转动的传动机构2，所述滚筒组件1包括转动本体11以及与转动本体11相连的转轴12，转动本体11上设有用于支撑圆筒形工件b的支撑部3，圆筒形工件b支撑于该支撑部3上且圆筒形工件b随转动本体11转动以实现真空镀膜。本实施例中，转轴12的上端和下端分别设有上支撑轴承座51和下支撑轴承座52且上支撑轴承座51可拆卸连接于基片架a上，具体实施时，通过螺丝装拆转轴上端的上支撑轴承座，将需要镀膜的圆筒形工件对准并套在滚筒本体外周，使圆筒形工件支撑于支撑部上，并随滚筒本体转动，实现真空镀膜。圆筒形工件可像平板类工件一样，在净化间装在基片架上，通过传动机构进入镀膜区然后停留在靶区旋转，也可以基片架一边前进，圆筒形工件一边旋转，或，基片架在靶区附近往复行走，圆筒形工件旋转，基片架采取哪种行走模式根据膜层厚度和工艺要求来决定。

本实施例中，转轴12的下端设有与所述转轴12相连带动转轴12转动的第一传动齿轮13，第一传动齿轮13通过轴端的平键将动力传递到滚筒组件，从而使滚筒组件转动。传动机构2包括与所述第一传动齿轮13配合啮合的第二传动齿轮21、与所述第二传动齿轮21相连的磁流体密封装置22以及由电机带动转动的同步轮23，同步轮23连接在磁流体密封装置22上。动力通过伺服电机经同步带带动同步轮转动，再由传动齿轮与旋转镀膜机构传动齿轮啮合后，带动滚筒组件转动，通过伺服电机的控制来控制旋转镀膜机构的转速，对镀膜机构上的圆筒形工件进行镀膜。

进一步地，所述支撑部3包括多个位于所述转动本体11外周的水平面且均布设置的支撑柱31。使圆筒形工件能平稳的放置在滚筒本体上，随滚筒本体一同转动。本实施例中，支撑柱31上设有与圆筒形工件b的底部边缘配合卡接的限位槽311。可避免圆筒形工件晃动，保证产品镀膜质量。

本实施例中，转动本体11的外周侧壁均布设有多个可用于悬挂放置平板工件c的悬挂部4，悬挂部4的端部设有向上弯折的弯折段41。悬挂部上可对应悬挂放置待镀膜的平板工件，进一步增加镀膜产品种类，大大提高设备利用率，弯折段可勾住平板工件，避免平板工件脱离旋转镀膜机构，影响镀膜。

综上，本申请的旋转镀膜机构有如下优点：

1、本申请通过将待镀膜的圆筒形工件套于滚筒组件的外周，使圆筒形工件随滚筒组件转动，实现全方位镀膜，主要适用于连续式平板类镀膜生产线或卷绕式连续生产线，在原有设备中增加可实现圆筒形工件镀膜的旋转镀膜机构，增加镀膜产品种类，既可在基片架上装夹大型平板，完成平板工件的镀膜，也可在滚筒组件上装设圆筒形工件，完成圆筒形工件的镀膜，可镀产品种类增加，提高设备利用率，减少企业投入多种设备，降低投资成本。

2、本申请的旋转镀膜机构，滚筒组件上还设有多个悬挂部，悬挂部上可对应悬挂放置待镀膜的平板工件，可用于将小型平板工件装设于基片架上，进一步增加镀膜产品种类，大大提高设备利用率。

3、本申请的旋转镀膜机构，转轴的下端设有第一传动齿轮，基片架上设有与第一传动齿轮相啮合带动第一传动齿轮转动的第二传动齿轮，通过电机带动第二传动齿轮给旋转镀膜机构提供动力，通过调整电机转速调整旋转镀膜速度。

以上所述仅为本申请的较佳实施例，并非用来限定本申请实施的范围，其他凡其原理和基本结构与本申请相同或近似的，均在本申请的保护范围之内。