一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构的制作方法

[0001]
本实用新型涉及电子束蒸发台技术领域，尤其涉及一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构。


背景技术：

[0002]
电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中，被加热的物质放置于水冷的坩埚中，可避免蒸发材料与坩埚壁发生反应影响薄膜的质量，因此，电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜，同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的增竭以获得所要达到的蒸发率。
[0003]
目前的电子束蒸发台机在驱动的过程中，需要使用外部的动力机械对其进行驱动，且此动力机械的输出动力转速无法进行调节，进而直接的导致了在机械动力输出的过程中，造成部分动力过剩的问题，所以我们提出了一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构，用以解决上述所提出的问题。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构。
[0005]
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
[0006]
一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构，包括电子束蒸发台，所述电子束蒸发台上设置有用于连接外部动力结构的驱动轴，所述电子束蒸发台的一侧孤固定安装有防护座，且防护座上开设有防护腔，所述驱动轴的一端延伸至防护腔内并固定套设有驱动齿轮，所述防护腔的一侧内壁上纵向滑动连接有调节板，所述调节板的顶部和底部分别固定安装有第一l形板和第二l形板，所述第二l形板的一侧转动连接有第一调速齿轮，所述第一l形板的一侧转动连接有第二调速齿轮，所述调节板的一侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上固定安装有主动轮，所述第一调速齿轮的一侧圆心位置上和第二调速齿轮的一侧圆心位置上均固定安装有从动轮，所述主动轮的外侧和从动轮的外侧套设有同一个同步带，所述调节板的一侧固定安装有连接板，所述连接板的一侧固定安装有对称设置的两个固定板，所述固定板上固定嵌装有螺母，所述防护腔的底部内壁上固定安装有旋转电机，所述旋转电机的输出轴上固定安装有螺杆，且螺杆的顶部贯穿两个螺母的内圈并和螺母的内圈固定连接。
[0007]
优选的，所述防护腔的一侧开设有维修孔，且维修孔内嵌装有防护板，所述防护板的顶部和底部均固定安装有固定块，所述固定块上螺纹连接有对称设置的两个固定螺栓，且固定螺栓的一端延伸至电子束蒸发台内并和电子束蒸发台螺纹连接，通过设置防护板便于打开防护腔，从而当防护腔内的机械构件出现问题时，可以打开防护腔对内部的机械部
件进行维修。
[0008]
优选的，所述防护腔的一侧内壁上固定安装有对称设置的两个限位块，且两个限位块分别位于连接板的上方和下方，进而利用两个限位块可以为连接板的上下纵向移动的距离进行限位。
[0009]
优选的，所述第一l形板和第二l形板的一侧均固定安装有滑块，所述防护腔的一侧内壁固定安装有滑轨，且两个滑块均和滑轨滑动连接，利用滑块和滑轨可以使得第一l形板和第二l形板纵向移动保持稳固，且不会发生偏移。
[0010]
优选的，所述防护腔的一侧内壁上固定有轴承，所述驱动轴贯穿轴承的内圈并和轴承的内圈固定连接，利用轴承可以为驱动轴提供转动支撑。
[0011]
本实用新型中，当需要带动驱动轴进行转动而达到为电子束蒸发台提供驱动力时，此时启动驱动电机，驱动电机在主动轮和从动轮的传动下可以分别带动第一调速齿轮和第二调速齿轮进行转动，而当根据实际的使用需求对带动驱动齿轮进行转动的转速进行调节时，此时启动旋转电机，旋转电机可以带动螺杆进行转动，而螺杆和螺母螺纹连接，所以可以带动连接板纵向移动，且连接板纵向移动时可以同时带动第一调速齿轮和第二调速齿轮进行转动，而第一调速齿轮或者第二调速齿轮在分别和驱动齿轮相啮合时，会使得驱动齿轮转动的转速不同，进而达到了根据使用的需求对电子束蒸发台上的驱动轴转速进行调节。
[0012]
本实用新型的电子束蒸发台的传动结构设计简单巧妙，通过启动旋转电机，可以实现了对第一调速齿轮和第二调速齿轮进行纵向移动，而当第一调速齿轮或者第二调速齿轮和驱动齿轮相啮合的不同传动部件，可以达到带动驱动齿轮转动的速度也不相同，进而可以实现了电子束蒸发台根据使用需求进行调速的目的。
附图说明
[0013]
图1为本实用新型提出的一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构的整体结构示意图；
[0014]
图2为本实用新型提出的一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构的图1中的部分结构示意图；
[0015]
图3为本实用新型提出的一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构的图2中的剖视结构示意图；
[0016]
图4为本实用新型提出的一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构的图3中的螺栓三维结构示意图。
[0017]
图中：1电子束蒸发台、2防护座、3防护板、4固定块、5固定螺栓、6防护腔、7调节板、8第一l形板、9第二l形板、10第一调速齿轮、11第二调速齿轮、12驱动轴、13驱动齿轮、14驱动电机、15主动轮、16从动轮、17同步带、18连接板、19固定板、20螺杆、21旋转电机、22螺母。
具体实施方式
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下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]
实施例一
[0020]
参照图1-4，一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构，包括电子束蒸发台1，电子束蒸发台1上设置有用于连接外部动力结构的驱动轴12，电子束蒸发台1的一侧孤固定安装有防护座2，且防护座2上开设有防护腔6，驱动轴12的一端延伸至防护腔6内并固定套设有驱动齿轮13，防护腔6的一侧内壁上纵向滑动连接有调节板7，调节板7的顶部和底部分别固定安装有第一l形板8和第二l形板9，第二l形板9的一侧转动连接有第一调速齿轮10，第一l形板8的一侧转动连接有第二调速齿轮11，调节板7的一侧固定安装有驱动电机14，驱动电机14的输出轴上固定安装有主动轮15，第一调速齿轮10的一侧圆心位置上和第二调速齿轮11的一侧圆心位置上均固定安装有从动轮16，主动轮15的外侧和从动轮16的外侧套设有同一个同步带17，调节板7的一侧固定安装有连接板18，连接板18的一侧固定安装有对称设置的两个固定板19，固定板19上固定嵌装有螺母22，防护腔6的底部内壁上固定安装有旋转电机21，旋转电机21的输出轴上固定安装有螺杆20，且螺杆20的顶部贯穿两个螺母22的内圈并和螺母22的内圈固定连接。
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实施例二
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在实施例一的基础上进一步改进的：防护腔6的一侧开设有维修孔，且维修孔内嵌装有防护板3，防护板3的顶部和底部均固定安装有固定块4，固定块4上螺纹连接有对称设置的两个固定螺栓5，且固定螺栓5的一端延伸至电子束蒸发台1内并和电子束蒸发台1螺纹连接，通过设置防护板3便于打开防护腔6，从而当防护腔6内的机械构件出现问题时，可以打开防护腔6对内部的机械部件进行维修，防护腔6的一侧内壁上固定安装有对称设置的两个限位块，且两个限位块分别位于连接板18的上方和下方，进而利用两个限位块可以为连接板18的上下纵向移动的距离进行限位，第一l形板8和第二l形板9的一侧均固定安装有滑块，防护腔6的一侧内壁固定安装有滑轨，且两个滑块均和滑轨滑动连接，利用滑块和滑轨可以使得第一l形板8和第二l形板9纵向移动保持稳固，且不会发生偏移，防护腔6的一侧内壁上固定有轴承，驱动轴12贯穿轴承的内圈并和轴承的内圈固定连接，利用轴承可以为驱动轴12提供转动支撑。
[0023]
本实施例中，当需要带动驱动轴12进行转动而达到为电子束蒸发台1提供驱动力时，此时启动驱动电机14，驱动电机14在主动轮15和从动轮16的传动下可以分别带动第一调速齿轮10和第二调速齿轮11进行转动，而当根据实际的使用需求对带动驱动齿轮13进行转动的转速进行调节时，此时启动旋转电机21，旋转电机21可以带动螺杆20进行转动，而螺杆20和螺母22螺纹连接，所以可以带动连接板18纵向移动，且连接板18纵向移动时可以同时带动第一调速齿轮10和第二调速齿轮11进行转动，而第一调速齿轮10或者第二调速齿轮11在分别和驱动齿轮13相啮合时，会使得驱动齿轮13转动的转速不同，进而达到了根据使用的需求对电子束蒸发台1上的驱动轴12转速进行调节。
[0024]
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。