一种镀膜机阴极结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体涉及一种镀膜机阴极结构。


背景技术：

2.传统的真空镀膜机，其对小型面板进行金属镀膜时，小型面板一般都是固定在真空镀膜机之中，在电极丝的放电作用下，充满于真空镀膜机的金属蒸汽会被镀到小型面板之上，从而完成金属镀膜处理。
3.传统的真空镀膜机中的通产把电镀原料制成靶管，靶管需要套设在阴极棒上，阴极棒通电后即可实现电镀，但是阴极棒刚开始通电时，放电还没达到稳态，电镀效果不佳。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服上述技术不足，提供一种镀膜机阴极结构，解决阴极棒刚开始通电时，放电还没达到稳态，镀膜效果不佳的技术问题。
5.为达到上述技术目的，本实用新型的技术方案提供一种镀膜机阴极结构，其安装于镀膜箱的一侧，所述镀膜箱内用于放置工件，所述的镀膜机阴极结构包括：
6.容置箱，所述容置箱的一侧与所述镀膜箱连通；
7.靶管，所述靶管转动内置于所述容置箱；
8.套筒，所述套筒同轴套设于所述靶管，并且所述套筒可相对所述靶管转动，所述套筒的外周面开设有一与其内腔连通的缺口；
9.第一驱动机构，所述第一驱动机构的驱动端与所述靶管驱动连接，并可驱动所述靶管相对所述容置箱转动；
10.第二驱动机构，所述第二驱动机构的驱动端与所述套筒驱动连接，并可驱动所述套筒相对所述靶管转动，
11.其中，所述第二驱动机构可驱动所述套筒转动，并使所述缺口朝向/背离所述容置箱与所述镀膜箱连通的一侧。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果包括：该镀膜机阴极结构中的所述容置箱与所述镀膜箱固定连接，阴极棒刚开始通电到达到稳态的过程中，所述第二驱动机构驱动所述套筒转动，并使所述缺口背离所述容置箱与所述镀膜箱连通的一侧，从而避免放电还没达到稳态，电镀效果不佳，当阴极棒放电达到稳态后，所述第二驱动机构再次驱动所述套筒转动，并使所述缺口朝向所述容置箱与所述镀膜箱连通的一侧，从而开始镀膜工作，并且所述第一驱动机构可以驱动所述靶管持续转动，从而保证靶管的周向各个位置材料均能从缺口释放出来，进一步提高镀膜效果。
附图说明
13.图1是本实用新型提供的镀膜机的立体结构示意图；
14.图2是图1中去除一个密封门后的立体结构示意图。
具体实施方式
15.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
16.需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
17.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
18.请参阅图1、图2，本实施例提供了一种镀膜机阴极结构，其安装于镀膜箱的一侧，所述镀膜箱1内用于放置工件，所述的镀膜机阴极结构包括：容置箱2、靶管3、套筒4、第一驱动机构5及第二驱动机构6。
19.所述容置箱2的一侧与所述镀膜箱1连通。
20.所述靶管3转动内置于所述容置箱2。
21.所述套筒4同轴套设于所述靶管3，并且所述套筒4可相对所述靶管3转动，所述套筒4的外周面开设有一与其内腔连通的缺口4a。
22.所述第一驱动机构5的驱动端与所述靶管3驱动连接，并可驱动所述靶管3相对所述容置箱2转动。
23.所述第二驱动机构6的驱动端与所述套筒4驱动连接，并可驱动所述套筒4相对所述靶管3转动，所述第二驱动机构6可驱动所述套筒4转动，并使所述缺口4a朝向/背离所述容置箱2与所述镀膜箱1连通的一侧。
24.该镀膜机阴极结构中的所述容置箱2与所述镀膜箱1固定连接，阴极棒刚开始通电到达到稳态的过程中，所述第二驱动机构6驱动所述套筒4转动，并使所述缺口4a背离所述容置箱2与所述镀膜箱1连通的一侧，从而避免放电还没达到稳态，电镀效果不佳，当阴极棒放电达到稳态后，所述第二驱动机构6再次驱动所述套筒4转动，并使所述缺口4a朝向所述容置箱2与所述镀膜箱1连通的一侧，从而开始镀膜工作，并且所述第一驱动机构5可以驱动所述靶管3持续转动，从而保证靶管3的周向各个位置材料均能从缺口4a释放出来，进一步提高镀膜效果。
25.本实施例中，所述缺口4a的弧度为180度,即套筒4除了其上下两端，其中部被切了一半，既能实现对靶管3的遮挡，也能实现对靶管3相对所述镀膜箱1的一侧最大程度的敞开。
26.进一步的，所述靶管3为两个，每个所述靶管3内部均同轴设置有一个用于产生负电荷的阴极棒，两个所述靶管3均与所述容置箱2转动连接，所述套筒4也为两个，两个所述套筒4一一对应同轴套设于两个所述靶管3，每个所述靶管3的上端均同轴固定连接有一第一被动轮a1，所述第一驱动机构5的驱动端设置有一第一主动轮b1，所述第一主动轮b1与两个所述第一被动轮a1均驱动连接，所述第一主动轮b1与所述第一被动轮a1均为皮带齿轮，
所述第一驱动机构5还包括两个齿轮带(图中未示出)，所述第一主动轮b1通过两个所述齿轮带驱动两个所述第一被动轮a1同步转动，具体的，第一驱动机构5可为伺服电机，采用齿轮带的传动形式，保证了靶管3持续转动的平稳性。
27.每个所述套筒4的下端均同轴固定有一第二被动轮a2，所述第二驱动机构6的驱动端设置有一第二主动轮b2，所述第二主动轮b2与两个所述第二被动轮a2均驱动连接，所述第二被动轮a2、第二主动轮b2均为摩擦轮或者均为齿轮，由于套筒4仅在开始和结束镀膜时工作，工作时间较短、工作间隙较长，从而采用直接啮合的齿轮结构即可，无需采用皮带轮传动，降低了设备成本。
28.本实施例中，所述容置箱2背离所述镀膜箱1的一侧开设有一通槽，所述的镀膜机阴极结构还包括密封门7，所述密封门7的一侧与所述容置箱2铰接，并且所述密封门7可密封所述通槽，用户可以打开所述密封门7，对容置箱2内部的结构进行安装维修，本实施例中，所述密封门7上设置有观察窗7a，便于在密封门7关闭的情形下进行观察。
29.工作原理：该镀膜机阴极结构中的所述容置箱2与所述镀膜箱1固定连接，阴极棒刚开始通电到达到稳态的过程中，所述第二驱动机构6驱动所述套筒4转动，并使所述缺口4a背离所述容置箱2与所述镀膜箱1连通的一侧，从而避免放电还没达到稳态，电镀效果不佳，当阴极棒放电达到稳态后，所述第二驱动机构6再次驱动所述套筒4转动，并使所述缺口4a朝向所述容置箱2与所述镀膜箱1连通的一侧，从而开始镀膜工作，并且所述第一驱动机构5可以驱动所述靶管3持续转动，从而保证靶管3的周向各个位置材料均能从缺口4a释放出来，进一步提高镀膜效果。
30.以上所述本实用新型的具体实施方式，并不构成对本实用新型保护范围的限定。任何根据本实用新型的技术构思所做出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围内。