真空镀膜系统的制作方法

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，特别涉及一种真空镀膜系统。

背景技术：

连续真空镀膜生产线具有生产效率高、工艺稳定等优点，被广泛应用于现代化工业生产。通常，连续真空镀膜生产线由若干个腔体串联而成，每个腔体设置有用于传输工件的传输机构。

然而，由于镀膜的不均匀性、连续生产时间长、传输距离较大等原因，在镀膜传输时存在着工件相对传输机构发生不均匀滑动的情况，造成工件偏斜，严重时发生传输故障，工件无法正常运行出镀膜生产线。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种真空镀膜系统，所述真空镀膜系统能够检测工件偏斜并纠正，有效提高传输精度，避免因工件偏斜发生的传输故障。

根据本实用新型实施例的真空镀膜系统，包括：腔体；传输机构，设置于所述腔体，以输送工件；检测装置，设置于所述腔体，并位于所述工件运行方向上；纠偏装置，设置于所述腔体，所述检测装置检测到所述工件偏离所述运行方向的偏斜量达到预定量时，所述纠偏装置能够纠正所述工件的偏斜，以使所述工件回归至所述运行方向。

根据本实用新型实施例的真空镀膜系统，至少具有如下有益效果：工件运行时，通过检测装置检测工件的偏斜量，当工件偏斜量超过预定量时，纠偏装置纠正工件偏斜，使工件回归至运行方向，有效提高传输精度，有利于避免因工件偏斜发生的传输故障。

根据本实用新型的一些实施例，所述纠偏装置包括至少两个纠偏机构，至少两个所述纠偏机构分别设置在所述工件的所述运行方向的两侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述纠偏机构包括第一驱动结构、与所述第一驱动结构传动连接的推杆及纠偏件，所述推杆的一端位于所述腔体内，所述推杆可相对所述腔体移动，所述纠偏件与所述推杆连接且位于所述腔体内。

根据本实用新型的一些实施例，所述纠偏机构包括设置于所述推杆上的波纹管，所述波纹管位于所述腔体内部或者位于所述腔体外部。

根据本实用新型的一些实施例，所述纠偏件上朝向所述工件的一侧设置有用于对所述工件纠偏的滚轮。

根据本实用新型的一些实施例，所述检测装置包括光电传感器和视窗结构，所述光电传感器设置于所述视窗结构。

根据本实用新型的一些实施例，所述视窗结构包括视窗件和固定件，所述视窗件通过所述固定件可拆卸地连接于所述腔体。

根据本实用新型的一些实施例，所述传输机构包括传输所述工件的多根输送辊和第二驱动结构，所述输送辊可转动地设置于所述腔体内，所述第二驱动结构与所述输送辊传动连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述腔体包括主体和盖板，所述主体的上部开设有与其内部连通的开口，所述盖板可拆卸地盖设于所述主体上部的所述开口。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为真空镀膜系统第一实施例结构示意图，其中波纹管安装于腔体外部；

图2为图1中纠偏机构的结构示意图；

图3为图2的截面示意图；

图4为真空镀膜系统第二实施例结构示意图，其中波纹管安装于腔体内部；

图5为图4中纠偏机构的结构示意图；

图6为图5的截面示意图；

图7为纠偏件和滚轮的结构示意图；

图8为检测装置的结构示意图；

附图标记：

腔体10、主体11、盖板12；

传输机构20、输送辊21、第二驱动结构22；

工件30、检测装置40、光电传感器41、视窗结构42、视窗件421、环形凸起4211、固定件422；

纠偏机构50、第一驱动结构51、连接件511、推杆52、纠偏件53、波纹管54、滚轮55。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

如图1、图2、图4和图5所示，根据本实用新型实施例的真空镀膜系统，包括：腔体10；传输机构20，设置于腔体10，以输送工件30；检测装置40，设置于腔体10，并位于工件30运行方向上；纠偏装置，设置于腔体10，检测装置40检测到工件30偏离运行方向的偏斜量达到预定量时，纠偏装置能够纠正工件30的偏斜，以使工件30回归至运行方向。

根据本实用新型实施例的真空镀膜系统，工件30运行时，通过检测装置40检测工件30的偏斜量，当工件30偏斜量超过预定量时，纠偏装置纠正工件30偏斜，使工件30回归至运行方向，有效提高传输精度，有利于避免因工件30偏斜发生的传输故障。

如图1和图4所示，在本实用新型的一些实施例中，腔体10包括主体11和盖板12，主体11的上部开设有与其内部连通的开口，盖板12可拆卸地盖设于主体11上部的开口，结构简单，便于拆装和维护。

可以理解的是，如图1至图7所示，在本实用新型的一些实施例中，纠偏装置包括至少两个纠偏机构50，至少两个纠偏机构50分别设置在工件30的运行方向的两侧，能够与工件30两侧配合，纠正效果好。需要说明的是，在本实用新型的一些实施例中，工件30的运行方向的两侧，每侧设置有两个纠偏机构50，当然地，在一些实施例中，纠偏机构50亦可为三个、四个以上，在此不做限定。

如图1至图7所示，在本实用新型的一些实施例中，纠偏机构50包括第一驱动结构51、与第一驱动结构51传动连接的推杆52及纠偏件53，推杆52的一端位于腔体10内，推杆52可相对腔体10移动，纠偏件53与推杆52连接且位于腔体10内。当工件30偏斜量超过预定量时，第一驱动结构51驱动推杆52带动纠偏件53朝向工件30移动，对工件30进行纠正，使工件30回归运行方向，有效提高传输精度。

如图1至图7所示，在本实用新型的一些实施例中，纠偏机构50包括设置于推杆52上的波纹管54，波纹管54位于腔体10内部或者位于腔体10外部。波纹管54位于腔体10内部时，隔离推杆52与腔体10内部的直接连通；波纹管54位于腔体10外部时，隔离推杆52与腔体10外部的直接连通。采用波纹管54，当第一驱动结构51驱动推杆52带动纠偏件53移动时，能够起到缓冲作用。

需要说明的是，如图1至图3所示，当波纹管54位于腔体10外部时，法兰安装于腔体10外侧，波纹管54的一端通过法兰连接于腔体10，法兰和腔体10之间设置有密封推杆52和腔体10之间的密封圈，波纹管54的另一端通过法兰和密封圈与第一驱动结构51的一端固定连接；如图4至图6所示，当波纹管54位于腔体10内部时，波纹管54的一端通过法兰连接于纠偏件53，波纹管54的另一端通过法兰连接腔体10，并通过法兰和密封圈密封推杆52和腔体10之间的配合间隙；推杆52和第一驱动结构51通过连接件511固定连接。

可以理解的是，如图7所示，在本实用新型的一些实施例中，纠偏件53上朝向工件30的一侧设置有用于对工件30纠偏的滚轮55，能够进一步地提高纠正效果；纠偏件53可根据安装需求选择具体安装尺寸。

需要说明的是，上述第一驱动机结构采用电动伸缩推杆结构、丝杆驱动结构等方式与推杆52传动连接，在此不做限定。

如图1、图4和图8所示，在本实用新型的一些实施例中，检测装置40包括光电传感器41和视窗结构42，光电传感器41设置于视窗结构42。当工件30运行至检测装置40的检测位时，通过光电传感器的发射器和光电传感器的接收器的配合，当工件30偏斜量超过预定量时，纠偏装置纠正工件30偏斜，使工件30回归至运行方向，有效提高传输精度，有利于避免因工件30偏斜发生的传输故障。

在本实用新型的一些实施例中，视窗结构42包括视窗件421和固定件422，视窗件421通过固定件422可拆卸地连接于腔体10。视窗件421上设置有环形凸起4211，固定件422套设于环形凸起4211并通过螺钉固定连接于腔体10上，便于拆装和维护。

需要说明的是，在本实用新型的一些实施例中，光电传感器41可拆卸地安装于固定件422上；本技术方案采用对射式光电传感器；其他类型的光电传感器，例如反射式光电传感器等在此方案基础上做局部调整即可，在此不做赘述。

可以理解的是，如图1和图4所示，在本实用新型的一些实施例中，传输机构20包括传输工件30的多根输送辊21和第二驱动结构22，输送辊21可转动地设置于腔体10内，第二驱动结构22与输送辊21传动连接，结构简单，传动可靠。需要说明的是，在本实用新型的一些实施例中，第二驱动结构22构包括传动轮、传动带、驱动电机和与输送辊21一一配对的同步轮，传动带轮安装于驱动电机的转轴，传动带绕设于同步轮和传动轮，驱动电机驱动传动轮转动，从而带动同步轮和输送辊21，传动稳定且可靠。当然地，在一些实施例中，第二驱动结构22亦可为齿轮传动结构等，在此不做限定。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

当然，本实用新型创造并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出等同变形或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。