一种蒸镀机的水冷隔热机构的制作方法

1.本实用新型涉及蒸镀机技术领域，较为具体的，涉及到一种蒸镀机的水冷隔热机构。


背景技术：

2.水冷机的工作原理：事先向机内水箱注入一定量的水，通过冷水机制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备，冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，达到冷却的作用。
3.由于真空主腔体内部热源对主泵(低温泵)的热辐射，造成低温泵温度上升，抽速减慢，故需要对蒸镀机内部进行降温处理，现有的蒸镀机是通过内置的风扇进行散热降温，或者通过水冷机连接整块蒸镀机内板对蒸镀机进行内部降温，现有的降温方式的降温效果差且不利于拆卸，如何提高蒸镀机内部的降温效果成了当下需要解决的问题。


技术实现要素：

4.有鉴于此，为了解决如何提高蒸镀机内部的降温效果的问题，本实用新型提出一种蒸镀机的水冷隔热机构，通过在蒸镀机的内壁的主阀腔1上装有水冷隔热机构，水冷隔热机构包括：多片散热片2，散热片2上设有呈矩形列阵排列的通孔21，多片散热片2通过水冷管3串联，水冷管3的进水口与水冷机的出水口连接，水冷管3的出水口与水冷机的进水口连接，水冷管3与水冷机形成一个循环通路，降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，散热片2上增加很多通孔21，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度。
5.一种蒸镀机的水冷隔热机构，包括主阀腔1、多片散热片2和水冷管3，蒸镀机的内壁处设有主阀腔1，其特征在于：多个散热片2固定安装在主阀腔1的底板上，所述多个散热片2呈百叶型排列，相邻的两片散热片2相互间隔平行，所述散热片2设有多个通孔21，所述通孔21呈矩形列阵排列，所述散热片2的两端通过水冷管3串接，所述水冷管3的一端为进水口，水冷管3的另一端为出水口，所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒31，所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒35，第一螺栓套筒31和第二螺栓套筒35分别与主阀腔1的底板可拆卸连接。
6.进一步的,进水口与第一螺栓套筒31焊接，出水口与第二螺栓套筒35焊接，增加蒸镀机的密封性。
7.进一步的,主阀腔1的底板上设有第一连接孔11和第二连接孔12，第一螺栓套筒31穿过第一连接孔11与主阀腔1的底板可拆卸连接，第二螺栓套筒35穿过第二连接孔12与主阀腔1的底板可拆卸连接。
8.进一步的，第一螺栓套筒31与主阀腔1的底板连接处设有第一密封圈32，第二螺栓套筒35与主阀腔1的底板连接处设有第二封圈36。
9.进一步的，第一螺栓套筒31通过第一螺母33与主阀腔1的底板连接处可拆卸连接，
第二螺栓套筒35通过第二螺母37与主阀腔1的底板连接处可拆卸连接。
10.进一步的，第一螺栓套筒31和第一螺母33连接处设有第一垫圈34，第二螺栓套筒35和第二螺母37连接处设有第二垫圈38，增加蒸镀机的密封性。
11.进一步的，通孔21为圆形、菱形、长方形或者正方形中的一种，较为优选的为圆形，通孔21的直径为12
‑
20mm。
12.进一步的，散热片2的材质为不锈钢或者铜，较为优选的为铜，铜的散热效果最佳。
13.进一步的，散热片2与主阀腔1的底板形成的角度为锐角，有利于散热和增蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度。
14.进一步的，主阀腔1的底板位于蒸镀机的内壁靠近泵体的侧壁上任意位置。
15.本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种蒸镀机的水冷隔热机构，通过在蒸镀机的内壁的主阀腔1上装有水冷隔热机构，水冷隔热机构包括：多片散热片2，散热片2上设有呈矩形列阵排列的通孔21，多片散热片2通过水冷管3串联，水冷管3的进水口与水冷机的出水口连接，水冷管3的出水口与水冷机的进水口连接，水冷管3与水冷机形成一个循环通路，降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，散热片2上增加很多通孔21，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度。
附图说明
16.图1为本实用新型的蒸镀机的水冷隔热机构的结构图。
17.图2为本实用新型的蒸镀机的水冷隔热机构的爆炸图。
18.主要元件符号说明
19.主阀腔1第一连接孔11第二连接孔12散热片2通孔21水冷管3第一螺栓套筒31第一密封圈32第一螺母33第一垫圈34第二螺栓套筒35第二封圈36第二螺母37第二垫圈38
20.如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
21.描述以下实施例以辅助对本技术的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本技术的保护范围。
22.在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
23.同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
24.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
25.实施1：
26.如图1所示，为本实用新型的蒸镀机的水冷隔热机构的结构图；如图2所示，为本实用新型的蒸镀机的水冷隔热机构的爆炸图。
27.一种蒸镀机的水冷隔热机构，包括主阀腔1、多片散热片2和水冷管3，蒸镀机的内壁处设有主阀腔1，主阀腔1的底板位于蒸镀机的内壁靠近泵体的侧壁下部，其特征在于：多个散热片2固定安装在主阀腔1的底板上，所述多个散热片2呈百叶型排列，相邻的两片散热片2相互间隔平行，所述散热片2设有多个通孔21，所述通孔21呈矩形列阵排列，所述散热片2的两端通过水冷管3串接，所述水冷管3的一端为进水口，水冷管3的另一端为出水口，所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒31，所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒35，第一螺栓套筒31和第二螺栓套筒35分别与主阀腔1的底板可拆卸连接。
28.所述进水口与第一螺栓套筒31焊接，出水口与第二螺栓套筒35焊接，增加蒸镀机的密封性。
29.所述主阀腔1的底板上设有第一连接孔11和第二连接孔12，第一螺栓套筒31穿过第一连接孔11与主阀腔1的底板可拆卸连接，第二螺栓套筒35穿过第二连接孔12与主阀腔1的底板可拆卸连接。
30.所述第一螺栓套筒31与主阀腔1的底板连接处设有第一密封圈32，第二螺栓套筒35与主阀腔1的底板连接处设有第二封圈36。
31.所述第一螺栓套筒31通过第一螺母33与主阀腔1的底板连接处可拆卸连接，第二螺栓套筒35通过第二螺母37与主阀腔1的底板连接处可拆卸连接。
32.所述第一螺栓套筒31和第一螺母33连接处设有第一垫圈34，第二螺栓套筒35和第二螺母37连接处设有第二垫圈38，增加蒸镀机的密封性。
33.所述通孔21为圆形，通孔21的直径为12
‑
20mm。
34.所述散热片2的材质为铜，铜的散热效果最佳。
35.所述散热片2与主阀腔1的底板形成的角度为锐角，有利于散热和增蒸镀机内部气
流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度。
36.所述主阀腔1的底板位于蒸镀机的内壁靠近泵体的侧壁上。
37.本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种蒸镀机的水冷隔热机构，通过在蒸镀机的内壁的主阀腔1上装有水冷隔热机构，水冷隔热机构包括：多片散热片2，散热片2上设有呈矩形列阵排列的通孔21，多片散热片2通过水冷管3串联，水冷管3的进水口与水冷机的出水口连接，水冷管3的出水口与水冷机的进水口连接，水冷管3与水冷机形成一个循环通路，降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，散热片2上增加很多通孔21，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度。
38.实施2：
39.如图1所示，为本实用新型的蒸镀机的水冷隔热机构的结构图；如图2所示，为本实用新型的蒸镀机的水冷隔热机构的爆炸图。
40.一种蒸镀机的水冷隔热机构，包括主阀腔1、多片散热片2和水冷管3，蒸镀机的内壁处设有主阀腔1，主阀腔1的底板位于蒸镀机的内壁靠近泵体的侧壁中部，其特征在于：多个散热片2固定安装在主阀腔1的底板上，所述多个散热片2呈百叶型排列，相邻的两片散热片2相互间隔平行，所述散热片2设有多个通孔21，所述通孔21呈矩形列阵排列，所述散热片2的两端通过水冷管3串接，所述水冷管3的一端为进水口，水冷管3的另一端为出水口，所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒31，所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒35，第一螺栓套筒31和第二螺栓套筒35分别与主阀腔1的底板可拆卸连接。
41.所述进水口与第一螺栓套筒31焊接，出水口与第二螺栓套筒35焊接，增加蒸镀机的密封性。
42.所述主阀腔1的底板上设有第一连接孔11和第二连接孔12，第一螺栓套筒31穿过第一连接孔11与主阀腔1的底板可拆卸连接，第二螺栓套筒35穿过第二连接孔12与主阀腔1的底板可拆卸连接。
43.所述第一螺栓套筒31与主阀腔1的底板连接处设有第一密封圈32，第二螺栓套筒35与主阀腔1的底板连接处设有第二封圈36。
44.所述第一螺栓套筒31通过第一螺母33与主阀腔1的底板连接处可拆卸连接，第二螺栓套筒35通过第二螺母37与主阀腔1的底板连接处可拆卸连接。
45.所述第一螺栓套筒31和第一螺母33连接处设有第一垫圈34，第二螺栓套筒35和第二螺母37连接处设有第二垫圈38，增加蒸镀机的密封性。
46.所述通孔21为菱形，通孔21的宽度为12
‑
20mm。
47.所述散热片2的材质为铜，铜的散热效果最佳。
48.所述散热片2与主阀腔1的底板形成的角度为锐角，有利于散热和增蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度。
49.所述主阀腔1的底板位于蒸镀机的内壁靠近泵体的侧壁上。
50.本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种蒸镀机的水冷隔热机构，通过在蒸镀机的内壁的主阀腔1上装有水冷隔热机构，水冷隔热机构包括：多片散热片2，散热片2上设有呈矩形列阵排列的通孔21，多片散热片2通过水冷管3串联，水冷管3的进水口与水冷机的出水口连接，水冷管3的出水口与水冷机的进水口连接，水冷管3与水冷机形成一个循环通路，降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，散热片2上增加很多通孔21，既可以保
障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度。
51.实施3：
52.如图1所示，为本实用新型的蒸镀机的水冷隔热机构的结构图；如图2所示，为本实用新型的蒸镀机的水冷隔热机构的爆炸图。
53.一种蒸镀机的水冷隔热机构，包括主阀腔1、多片散热片2和水冷管3，蒸镀机的内壁处设有主阀腔1，主阀腔1的底板位于蒸镀机的内壁靠近泵体的侧壁上部，其特征在于：多个散热片2固定安装在主阀腔1的底板上，所述多个散热片2呈百叶型排列，相邻的两片散热片2相互间隔平行，所述散热片2设有多个通孔21，所述通孔21呈矩形列阵排列，所述散热片2的两端通过水冷管3串接，所述水冷管3的一端为进水口，水冷管3的另一端为出水口，所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒31，所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒35，第一螺栓套筒31和第二螺栓套筒35分别与主阀腔1的底板可拆卸连接。
54.所述进水口与第一螺栓套筒31焊接，出水口与第二螺栓套筒35焊接，增加蒸镀机的密封性。
55.所述主阀腔1的底板上设有第一连接孔11和第二连接孔12，第一螺栓套筒31穿过第一连接孔11与主阀腔1的底板可拆卸连接，第二螺栓套筒35穿过第二连接孔12与主阀腔1的底板可拆卸连接。
56.所述第一螺栓套筒31与主阀腔1的底板连接处设有第一密封圈32，第二螺栓套筒35与主阀腔1的底板连接处设有第二封圈36。
57.所述第一螺栓套筒31通过第一螺母33与主阀腔1的底板连接处可拆卸连接，第二螺栓套筒35通过第二螺母37与主阀腔1的底板连接处可拆卸连接。
58.所述第一螺栓套筒31和第一螺母33连接处设有第一垫圈34，第二螺栓套筒35和第二螺母37连接处设有第二垫圈38，增加蒸镀机的密封性。
59.所述通孔21为正方形，通孔21的宽度为12
‑
20mm。
60.所述散热片2的材质为不锈钢。
61.所述散热片2与主阀腔1的底板形成的角度为锐角，有利于散热和增蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度。
62.所述主阀腔1的底板位于蒸镀机的内壁靠近泵体的侧壁上。
63.本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种蒸镀机的水冷隔热机构，通过在蒸镀机的内壁的主阀腔1上装有水冷隔热机构，水冷隔热机构包括：多片散热片2，散热片2上设有呈矩形列阵排列的通孔21，多片散热片2通过水冷管3串联，水冷管3的进水口与水冷机的出水口连接，水冷管3的出水口与水冷机的进水口连接，水冷管3与水冷机形成一个循环通路，降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，散热片2上增加很多通孔21，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度。
64.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。