一种真空蒸镀机的视窗结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的视窗结构。


背景技术：

2.真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
3.在真空蒸镀的过程中，可以通过视窗目视观察真空蒸镀机的腔体内的运行状况，特别是电子束的运行状况，镀锅的回转情况，加热灯的状态等。目前的真空蒸镀机的视窗一般为，通过视窗没有光学反射的、直接的观察，视窗结构从外向内包括把手、回转轴、外层玻璃、回转玻璃和防着板，回转玻璃跟着回转轴同步旋转，然后通过防着板上的观察孔观察真空蒸镀机的腔体内的情况。并且由于回转玻璃对着观察孔的地方会被镀膜，下一次观察的时候将回转玻璃没有被镀膜的地方对着观察孔进行观察，回转玻璃大部分都没镀膜后，没法再进行观察，就需要更换腔体门内的回转玻璃。
4.但是，由于现有技术的回转轴为机械拆解分离式的，回转轴靠密封圈密封，因此，一方面该回转轴容易漏气，使用寿命短；另一方面该回转轴的结构复杂，更换回转玻璃的时候操作复杂，不易更换，耗时长。此外，真空蒸镀机的腔体内在生产过程中，光线很强，通过视窗观察的时候容易引起人体眼部不适。
5.有鉴于此，本实用新型提供一种真空蒸镀机的视窗结构，回转轴不漏气，使用寿命长，容易更换回转玻璃，并且不容易引起人体眼部的不适。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机的视窗结构，回转轴不漏气，使用寿命长，容易更换回转玻璃，并且不容易引起人体眼部的不适。
7.本技术的真空蒸镀机的视窗结构，回转轴为为一体式磁流体密封回转轴，磁流体密封的密封性能很好，不会出现漏气的情况，使用寿命长。并且该回转轴为一体式的，安装方便，具体的，回转轴穿过外层玻璃，依靠回转轴后端的凸起部即可将回转轴与外层玻璃连接，还可在回转轴与外层玻璃之间设置特氟龙垫圈，起到耐磨的作用。回转轴与回转玻璃的固定，通过一个螺钉即可实现，在回转轴的尾端部一体式的设计有螺纹孔，容易更换回转玻璃。此外，在外层玻璃的外侧设置有滤光片，滤光片能够使人清楚的观察真空蒸镀机的腔体内的情况，但是又减弱光的强度，不容易引起人体眼部的不适。本技术人在此基础上完成本技术。
8.一种真空蒸镀机的视窗结构，设置在真空蒸镀机的腔体门上，从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃1、回转玻璃3和防着板4，防着板4固定在腔体门的内侧壁上，
所述外层玻璃1上设有一贯穿外层玻璃1并可转动的回转轴2，回转轴2与回转玻璃3连接固定，回转玻璃3能够跟随回转轴2同步旋转，防着板4上设置有观察孔41，其特征在于，所述回转轴2为一体式磁流体密封回转轴，回转轴2从前到后包括：首端部21、螺纹杆体部22、平滑杆体部23、凸起部24和尾端部25，回转轴2的尾端部25与回转玻璃3通过螺钉固定，外层玻璃1位于靠近凸起部24的平滑杆体部23上，所述外层玻璃1的外侧还设置有滤光片5在平滑杆体部23上。
9.在一些实施方式中，所述真空蒸镀机的视窗结构还包括把手6，回转轴2的首端部21内具有第一螺纹孔211，把手6通过第一螺钉7与第一螺纹孔211连接而固定在首端部21上，通过旋转把手，带动回转轴2和回转玻璃3同步旋转。
10.进一步的，在把手6与螺纹杆体部22之间还设置有橡胶垫圈8。
11.进一步的，把手的形状包括：中空圆形、中空正方形、中空长方形、中空六边形、或中空三角凹陷中的一种。
12.进一步的，把手的外表面还设置有螺纹，用于增加表面摩擦力，使得比较容易旋转把手。
13.在一些实施方式中，滤光片5与外层玻璃1之间设置有第一特氟龙垫圈9。特氟龙垫圈的设置，使得回转轴2能够相对于外层玻璃1旋转，同时起到密封和耐磨的作用。
14.进一步的，滤光片5外侧的螺纹杆体部22上设置有螺母10，通过螺母10将滤光片5与回转轴2连接固定。
15.进一步的，螺母10设置有一个或者多个，优选的，螺母10设置有2个。
16.进一步的，在滤光片5与螺母10之间还设置有第二特氟龙垫圈11。
17.在一些实施方式中，所述真空蒸镀机的视窗结构还包括圆环件12、圆环件12固定在腔体门的外侧壁上，圆环件12由第一圆环件121和第二圆环件122组成，外层玻璃1通过圆环件12固定。
18.进一步的，第一圆环件121为独立的部件，或者为腔体门的外侧壁的一部分，第二圆环件122通过螺丝与第一圆环件121固定。
19.进一步的，第二圆环件122具有第一凹槽1221，外层玻璃1的边沿放置在第一凹槽1221内，第一圆环件121具有第二凹槽1211，第二凹槽1211内放置有第一密封圈123，从而将外层玻璃1固定。
20.进一步的，回转轴2的凸起部24具有第三凹槽241，第三凹槽241内放置有第二密封圈13，从而将外层玻璃1的内侧与回转轴密封。
21.在一些实施方式中，回转轴2的尾端部25内具有第二螺纹孔251，回转玻璃3通过第二螺钉14与第二螺纹孔251连接而固定在尾端部25上，回转玻璃3与回转轴2同步旋转。
22.进一步的，在第二螺钉14与回转玻璃3之间还设置有垫片15。
附图说明
23.图1为本技术的真空蒸镀机的视窗结构及腔体门的立体图。
24.图2为本技术的图1的a
‑
a面的剖视图。
25.图3为本技术的真空蒸镀机的视窗结构的去除防着板后的爆炸图。
26.图4为本技术的回转轴的立体图。
27.主要元件符号说明：
28.外层玻璃1、回转轴2、回转玻璃3、防着板4、观察孔41、滤光片5、把手6、第一螺钉7、橡胶垫圈8、第一特氟龙垫圈9、螺母10、第二特氟龙垫圈11、圆环件12、第二密封圈13、第二螺钉14、垫片15、首端部21、螺纹杆体部22、平滑杆体部23、凸起部24、尾端部25、第一螺纹孔211、第三凹槽241、第二螺纹孔251、第一圆环件121、第二凹槽1211、第二圆环件122、第一凹槽1221、第一密封圈123。
具体实施方式
29.描述以下实施例以辅助对本技术的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本技术的保护范围。
30.在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
31.同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
32.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
33.实施例1：
34.一种真空蒸镀机的视窗结构，如图1
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图4所示，设置在真空蒸镀机的腔体门上，从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃1、回转玻璃3和防着板4，防着板4固定在腔体门的内侧壁上，所述外层玻璃1上设有一贯穿外层玻璃1并可转动的回转轴2，回转轴2与回转玻璃3连接固定，回转玻璃3能够跟随回转轴2同步旋转，防着板4上设置有观察孔41，其特征在于，所述回转轴2为一体式磁流体密封回转轴，回转轴2从前到后包括：首端部21、螺纹杆体部22、平滑杆体部23、凸起部24和尾端部25，回转轴2的尾端部25与回转玻璃3通过螺钉固定，外层玻璃1位于靠近凸起部24的平滑杆体部23上，所述外层玻璃1的外侧还设置有滤光片5在平滑杆体部23上。
35.所述真空蒸镀机的视窗结构还包括把手6，回转轴2的首端部21内具有第一螺纹孔211，把手6通过第一螺钉7与第一螺纹孔211连接而固定在首端部21上，通过旋转把手，带动回转轴2和回转玻璃3同步旋转。在把手6与螺纹杆体部22之间还设置有橡胶垫圈8。把手的形状为中空圆形，把手的外表面还设置有螺纹，用于增加表面摩擦力，使得比较容易旋转把手。
36.滤光片5与外层玻璃1之间设置有第一特氟龙垫圈9。特氟龙垫圈的设置，使得回转轴2能够相对于外层玻璃1旋转，同时起到密封和耐磨的作用。滤光片5外侧的螺纹杆体部22上设置有螺母10，通过螺母10将滤光片5与回转轴2连接固定。螺母10设置有一个或者多个，优选的，螺母10设置有2个。在滤光片5与螺母10之间还设置有第二特氟龙垫圈11。
37.所述真空蒸镀机的视窗结构还包括圆环件12、圆环件12固定在腔体门的外侧壁上，圆环件12由第一圆环件121和第二圆环件122组成，外层玻璃1通过圆环件12固定。第一圆环件121为独立的部件，或者为腔体门的外侧壁的一部分，第二圆环件122通过螺丝与第一圆环件121固定。第二圆环件122具有第一凹槽1221，外层玻璃1的边沿放置在第一凹槽1221内，第一圆环件121具有第二凹槽1211，第二凹槽1211内放置有第一密封圈123，从而将外层玻璃1固定。回转轴2的凸起部24具有第三凹槽241，第三凹槽241内放置有第二密封圈13，从而将外层玻璃1的内侧与回转轴密封。回转轴2的尾端部25内具有第二螺纹孔251，回转玻璃3通过第二螺钉14与第二螺纹孔251连接而固定在尾端部25上，回转玻璃3与回转轴2同步旋转。在第二螺钉14与回转玻璃3之间还设置有垫片15。
38.尽管本技术已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本技术公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本技术，本技术的实际保护范围以权利要求为准。