一种蒸发源装置和蒸镀设备的制作方法

1.本发明涉及oled显示技术领域。更具体地，涉及一种用于oled蒸镀工艺的蒸发源装置。


背景技术：

2.有机电致发光器件(organiclight
‑
emittingdiode，以下简称：oled)的典型结构是在ito玻璃上制作一层几十纳米厚的发光材料——也就是人们通常所说oled屏幕像素自发光材料，发光层上方有一层金属电极，电极加电压，发光层产生光辐射，目前常采用蒸镀工艺在ito玻璃上形成发光层。
3.蒸镀就是真空中通过电流加热，电子束轰击加热和激光加热等方法，使有机发光材料蒸发成原子或分子，它们随即以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成发光层薄膜。其中蒸发源是加热有机发光材料使其蒸发的装置，现有的蒸发源，其顶部的盖板上设有用来控制蒸发角度的角度版，在将坩埚取出更换时，必须先要拆除角度板和盖板，才能将坩埚从蒸发源的上方取出，之后将角度板及盖板等相关部件再次安装在蒸发源顶部，整个过程繁琐、耗时久。拆下的角度板因被前次蒸镀已经附着上了有机发光材料，若再次进行拆装动作就会产生对产品的污染，因此，拆过的角度板相关部件需要进行清洗，产生巨大清洗费。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种用于oled蒸镀工艺的蒸发源装置，该蒸发源装置在更换坩埚时，无需拆卸位于蒸发源装置上的角度板。
5.根据本发明的一个方面，提供了一种蒸发源装置，包括：
6.坩埚，用于容纳蒸镀材料，所述坩埚的顶面设有用于输出所述蒸镀材料的喷嘴；以及
7.第一壳体，用于容纳所述坩埚，所述第一壳体具有平行于所述坩埚的顶面的两个表面，其中靠近所述喷嘴的表面设有角度板，所述角度板的面积最大的表面与所述第一壳体的平行于所述坩埚的顶面的两个表面相垂直，用于限制所述蒸镀材料的蒸镀角，在所述第一壳体的未设置所述角度板的表面开设有活动门，通过开启所述活动门，所述坩埚能够移动到所述第一壳体的外侧。
8.优选地，所述角度板设置在所述第一壳体的顶面，所述第一壳体的一侧壁与所述第一壳体可开合连接形成活动门。
9.优选地，所述活动门连接有一底板，所述坩埚放置于所述底板上，并能够随所述底板滑入或滑出所述第一壳体。
10.优选地，所述底板通过滑轨与所述第一壳体滑动连接。
11.优选地，所述底板与第一壳体之间还设有直线往复驱动装置，所述直线往复驱动装置能够驱动所述底板沿所述滑轨往复移动。
12.优选地，所述直线往复驱动装置为齿轮齿条机构，所述齿轮齿条机构包括设置在所述底板上的齿条，以及与所述第一壳体连接的电机，所述电机输出轴连接有齿轮，通过所述齿轮与齿条的配合驱动所述底板滑动。
13.优选地，所述第一壳体内设有隔板，所述隔板将所述第一壳体内的收容空间分隔成第一收容空间和第二收容空间，所述坩埚位于第一收容空间内，所述电机位于所述第二收容空间内。
14.优选地，所述底板上设有加热部件，所述加热部件环绕所述坩埚布置，并与坩埚的侧壁之间具有间隙，所述蒸发源装置还包括设置在所述第一壳体和/或所述底板上的对位装置，所述对位装置被配置为能够推动所述坩埚，使所述坩埚位于所述加热部件的中央。
15.优选地，所述对位装置为至少两个设置在所述坩埚相对侧的并能够推动所述坩埚移动的气缸。
16.优选地，所述第一壳体还连接有用于收容所述气缸的第二壳体，所述气缸的自由端能够穿过所述第二壳体的侧壁与所述坩埚的侧壁抵接。
17.优选地，所述底板上还设有环绕所述加热部件的隔热板，所述隔热板设有多个朝向所述坩埚方向延伸的定位柱，所述坩埚的外侧表面开设有与所述定位柱对应的凹槽，所述定位柱的端部位于所述凹槽内。
18.根据本发明的另一个方面，提供了一种蒸发源设备，该蒸发源设备包括上述的任一种蒸发源装置。
19.本发明的有益效果如下：
20.本发明的蒸发源装置在远离角度板处设置活动门，通过开启活动门将坩埚移入或移出壳体，从而实现无需拆卸角度板即可更换坩埚，避免了拆装角度板时的污染问题，降低了清洁角度板的清洗成本。
附图说明
21.下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。
22.图1示出现有的蒸发源装置的剖视图。
23.图2示出本发明蒸发源装置的结构示意图。
24.图3示出本发明蒸发源装置的正视图。
25.图4示出本发明蒸发源装置的a
‑
a剖视图。
26.图5示出本发明蒸发源装置的活动门开启时的a
‑
a剖视图。
27.图6示出本发明蒸发源装置的俯视图。
28.图7示出本发明定位柱的布置示意图。
29.图8示出本发迷另一种定位柱的布置示意图。
具体实施方式
30.为了更清楚地说明本发明，下面结合优选实施例和附图对本发明做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本发明的保护范围。
31.如图1所示的现有技术中的蒸发源包括壳体10’、以及收容在壳体10内的坩埚20’，
壳体10’的顶部设有角度板30’，在将坩埚20’取出时，需首先拆除角度板30’和壳体10’顶部的盖板，才能从壳体10’的上方取出坩埚20’。之后再将角度板30’及盖板等相关部件再次安装在壳体10’顶部，整个过程繁琐、耗时久。拆下的角度板30’因被前次蒸镀已经附着上了有蒸镀材料，若再次进行拆装动作就会产生对产品的污染，为解决上述问题，本发明实施例提供一种蒸发源装置，通过在远离角度板的壳体上开设取出坩埚的活动门，以避免拆装角度板。
32.参阅图2至图6所示，本发明实施例提供的蒸发源装置包括：第一壳体10和收容于第一壳体10内的坩埚20，第一壳体10内形成有用于容纳坩埚20的收容腔室，收容腔室的顶面形成蒸发端面101，蒸发端面101上开设有与收容腔室连通的长条形的喷嘴口102。坩埚20位于第一壳体10的收容腔室内，用于盛置蒸镀材料，通过坩埚20外侧的加热部件，使得坩埚20内的蒸镀材料受热气化蒸发，蒸发后的蒸镀材料通过喷嘴201及喷嘴口102喷出，最终透过蒸发源上方的掩膜版，沉积在位于掩膜版上方的基板上，以在基板上形成蒸镀图形。
33.第一壳体10的表面设有角度板30，角度板30被配置为在喷嘴口102输出蒸镀材料的方向，限制蒸镀材料的蒸镀角。可以理解的是，由于蒸镀材料通常朝向上方输出，因此，喷嘴201设置于坩埚20的顶面，第一壳体10具有平行于坩埚20顶面的两个表面，其中位于坩埚20顶面上方的表面形成为蒸发端面101，因此角度板30通常设置在蒸发端面101的上方。由于角度板30通常为平板状，因此，角度板30的面积最大的表面与第一壳体10的平行于坩埚20顶面的两个表面相垂直，即角度板30竖直地设置在蒸发端面101的上方。
34.由于蒸发源装置通过喷嘴口102喷出的蒸发材料的角度范围通常较大，因此通过设置角度板30以限制蒸镀材料的蒸镀角，进而限制蒸发材料沉积在基板上的范围。具体地，角度板30在蒸发源装置的上方形成输出通路，蒸发材料通过输出通路的部分能够到达上方的基板，其余部分则会被角度板30阻挡。
35.本发明实施例中，在第一壳体10上未设置角度板30的表面，即远离角度板30的位置处开设有活动门103，通过开启活动门103，坩埚20能够移动到第一壳体10的外侧。由于活动门103远离角度板30，在打开活动门取出坩埚20时，活动门103与角度板30之间没有干扰，也就是说在取出坩埚20时，无需先拆除角度板30，从而避免了拆装角度板30时，需对角度板30进行清洗的问题。
36.在一个实施例中，活动门103的开合方式也可以是活动门103的一端与第一壳体10铰接，通过转动活动门103进行开启，或者，活动门103通过闭锁机构与第一壳体10连接，闭锁机构能够开启或闭合活动门103。
37.可选地，第一壳体10为长方体的箱型结构，角度板30设置在第一壳体10的顶面，第一壳体10的一侧壁形成活动门103，活动门103与第一壳体10的侧壁可开合连接。即第一壳体10为侧开式的箱型结构，在开启活动门103时，无需拆除顶面设置的角度板30。
38.进一步地，如图4和图5所示，活动门103的下部连接有一底板104，活动门103与底板104连接大致呈l型。底板104能够滑入第一壳体10内，此时，活动门103与第一壳体10的侧壁密闭配合。坩埚20放置于底板104上，从而坩埚20能够随底板104平移滑入或滑出第一壳体10。
39.进一步地，第一壳体10上设有滑轨105，底板104能够沿滑轨105滑动，实现坩埚20精确的从第一壳体10的侧面移入或移出的目的。可选地，底板104与第一壳体10之间设有直
线往复驱动装置，该直线往复驱动装置能够驱动底板104沿滑轨105往复移动。在底板104进入到第一壳体10内的预定位置后，与底板104连接的活动门103能够与第一壳体10的侧壁抵接闭合，从而封闭第一壳体10。
40.具体地，直线往复驱动装置设置为齿轮齿条机构，其包括设置在底板104上的齿条106，以及与第一壳体10连接的电机108，电机108的输出轴连接有齿轮107，通过齿轮107与齿条106的啮合，电机108能够驱动底板104往复移动。采用齿轮齿条机构驱动底板104滑动，可使底板104的滑动平稳，防止坩埚20倾覆。
41.在一个实施例中，直线往复驱动装置可以是多种直线机械位移机构，例如滚珠丝杠机构、直线电机、气缸或油缸等机构。本领域技术人员可根据实际需要进行选择。
42.第一壳体10内设有隔板109，隔板109将第一壳体10内的收容空间分隔成第一收容空间11和第二收容空间12，坩埚20位于第一收容空间11内，电机108位于第二收容空间12内。此种结构可以减小第一收容空间11内热量对第二收容空间12内部件的影响，保护位于第二收容空间12内的部件，同时也便于第二收容空间12内的部件与外部的装置的连接。此外，第二收容空间12内还可收容蒸发源装置的电路或气路管道。
43.具体地，隔板109靠近第一壳体10的下部设置，第一收容空间11与第二收容空间12之间密闭分隔开，电机108输出轴的自由端穿过隔板109位于第一收容空间11内。优选地，隔板109采用具有隔热功能的板材支撑。
44.可以理解的是，第一壳体10内的收容空间被分隔成第一收容空间11和第二收容空间12，活动门103仅为第一收容空间11的一侧壁。
45.进一步地，在与活动门103接触的第一壳体10的侧壁上设有密封圈110，活动门103的边缘压紧密封圈110后，能够提高活动门103与第一壳体10之间的密闭性。
46.本发明实施例中，底板104上还设有加热部件40，用于对坩埚20内的蒸镀材料进行加热，使其受热气化蒸发。加热部件40环绕坩埚20设置，并与坩埚20的侧壁之间具有间隙。具体地，即热部件40可以为环绕坩埚20四周设置的电热丝。
47.进一步地，底板104上还设有隔热板111，隔热板111环绕坩埚20布置，并位于加热部件40与第一壳体10之间。隔热板11能够减小热量向第一壳体10辐射，避免第一壳体10的温度过高。优选地，加热部件40固定结合于隔热板111表面。
48.为了避免将坩埚20放置到底板104上时，坩埚20的侧壁与加热部件40之间的间隙不均匀，即坩埚20的一侧与加热部件40近，另一侧与加热部件40远，造成坩埚20内的蒸镀材料受热不均匀的问题。本发明蒸发源装置还包括对位装置，对位装置可以设置在第一壳体10上和/或底板104上，用于推动坩埚20，使坩埚20位于加热部件40的中央位置，从而使坩埚20与其四周的加热部件40的距离相等。
49.具体地，如图4和图5所示，对位装置为至少两个设置在坩埚20相对侧的气缸50，气缸50固定结合于底板104，气缸50的自由端能够与坩埚20的侧壁接触，坩埚20两侧的气缸能够推动坩埚20，使得坩埚20与其两侧的加热部件40之间的距离相等，从而使坩埚20两侧受热均等。
50.进一步地，参阅图2和图3，坩埚20的另一相对侧也设有气缸50，也就是说坩埚20的四个侧面均设有气缸50，四个气缸50共同推动坩埚20使其位于加热部件40的中央，从而坩埚20的四个侧面受热均匀，进而坩埚20内的蒸镀材料能够被均匀加热。
51.具体地，第一壳体10还连接有第二壳体13，第二壳体13设置为两个，分别位于第一壳体10的两侧，用于收容坩埚20另一相对侧的气缸50，该两侧的气缸50的自由端穿过第一壳体10可与坩埚20的侧壁抵接。
52.进一步地，如图5、图7和图8所示，隔热板111上设有多个定位柱112，定位柱112朝向坩埚20的方向延伸，在坩埚20的外侧表面设有凹槽202，定位柱112的端部能过插入凹槽202内。通过设置不同数量的定位柱112，以及相邻定位柱112之间的距离，可以确定有与该种定位柱112布置方式对应凹槽202的坩埚20，从而将对应的坩埚20放置于底板104上，达到盛装有不同蒸镀材料的坩埚能够正确的对应上各自独有的加热器系统的目的，有效防止坩埚20装载错误的情况发生。
53.本发明实施例还提供一种蒸镀设备，包括上述任一种的蒸镀源装置，由于上述任一种蒸镀源装置可以实现无需拆卸角度板30而从第一壳体10内取出坩埚20，因此降低了清洗角度板30的清洁成本。
54.显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本发明的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。