1.一种二维材料制备方法,其特征在于,将基片载置在基片台上,将小片待制备二维材料固定到所述基片中心位置作为籽晶,气态源由气流管路从上往下经过等离子体发生器进入处理室中,气流管路的下端口设置在基片正中心上方,使得气态源从基片中心向四周均匀扩展,通过控制所述气态源以第一流速条件和第一温度条件,使流场和温场沿所述基片表面水平分布,从而在基片上获得各个方向生长均匀的二维材料。
2.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述第一流速条件为在距气流管路下端管口中心竖直距离1.5cm~2.0cm的区域内气体流速为0.04~4m/s;所述第一温度条件为距所述气流管路下端管口中心竖直距离1.5cm~2.0cm区域内的温度为0.7×103~1.5×103k。
3.如权利要求2所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述第一流速条件为在距气流管路下端管口中心竖直距离1.5~2.0cm的区域内气体流速为0.4~0.8m/s;所述第一温度条件为距所述气流管路下端管口竖直距离1.5~2.0cm的区域内的温度为0.75×103~0.9×103k。
4.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述二维材料为mos2,所述气态源包括第一气态源和第二气态源,所述第一气态源为气态硫源,所述第二气态源为气态过渡金属源。
5.如权利要求4所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述气态硫源为h2s或c2h4s,所述气态过渡金属源为mo(co)6。
6.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述二维材料为mos2,所述基片上镀有moo3膜作为前驱体,所述气态源为气态硫源。
7.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述气流管路的下端口与基片的间距范围为0.5cm~5cm。
8.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述气流管路的下端口的开口直径为0.3cm~1cm。
9.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述籽晶的直径小于气流管路的下端口的开口直径。
10.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,在进行制备过程中,通过选择基片台旋转基片。