一种二维材料制备方法

文档序号:26141583发布日期:2021-08-03 14:26阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种二维材料制备方法,其特征在于,将基片载置在基片台上,将小片待制备二维材料固定到所述基片中心位置作为籽晶,气态源由气流管路从上往下经过等离子体发生器进入处理室中,气流管路的下端口设置在基片正中心上方,使得气态源从基片中心向四周均匀扩展,通过控制所述气态源以第一流速条件和第一温度条件,使流场和温场沿所述基片表面水平分布,从而在基片上获得各个方向生长均匀的二维材料。

2.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述第一流速条件为在距气流管路下端管口中心竖直距离1.5cm~2.0cm的区域内气体流速为0.04~4m/s;所述第一温度条件为距所述气流管路下端管口中心竖直距离1.5cm~2.0cm区域内的温度为0.7×103~1.5×103k。

3.如权利要求2所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述第一流速条件为在距气流管路下端管口中心竖直距离1.5~2.0cm的区域内气体流速为0.4~0.8m/s;所述第一温度条件为距所述气流管路下端管口竖直距离1.5~2.0cm的区域内的温度为0.75×103~0.9×103k。

4.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述二维材料为mos2,所述气态源包括第一气态源和第二气态源,所述第一气态源为气态硫源,所述第二气态源为气态过渡金属源。

5.如权利要求4所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述气态硫源为h2s或c2h4s,所述气态过渡金属源为mo(co)6。

6.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述二维材料为mos2,所述基片上镀有moo3膜作为前驱体,所述气态源为气态硫源。

7.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述气流管路的下端口与基片的间距范围为0.5cm~5cm。

8.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述气流管路的下端口的开口直径为0.3cm~1cm。

9.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,所述籽晶的直径小于气流管路的下端口的开口直径。

10.如权利要求1所述的二维材料制备方法,其特征在于,在进行制备过程中,通过选择基片台旋转基片。


技术总结
本发明提供了一种二维材料制备方法,属于二维材料制备的技术领域,通过将基片载置在基片台上,将小片待制备二维材料固定到所述基片中心位置作为籽晶,将从位于基片中心正上方的气流管路处向下通入气态源从而使在籽晶表面均匀扩散,获得各个方向生长均匀的二维材料。使用本发明提供的二维材料制备方法可以可控、可重复地生长大面积直至晶圆级的二维材料。

技术研发人员:王佩剑
受保护的技术使用者:浙江大学杭州国际科创中心
技术研发日:2021.04.30
技术公布日:2021.08.03
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