技术特征：
1.一种阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，依次互相贴合设置有导电组件、第一绝缘组件、靶材板框、绝缘板、冷却板、导热板和涂层靶材；所述导电组件、所述冷却板和所述导热板均为导电材质，所述导电组件与所述冷却板之间设有电连接组件，所述导电组件连接外部电极，并通过所述电连接组件、所述冷却板和所述导热板与所述涂层靶材电连接；所述导电组件和所述冷却板分别通过所述第一绝缘组件和所述绝缘板与所述靶材板框绝缘；所述冷却板、所述导热板和所述涂层靶材的周侧设有用于与所述靶材板框绝缘的第二绝缘组件；所述冷却板靠近所述导热板的一表面上设有流槽，所述流槽与所述导热板之间形成流体通道，所述靶材板框和所述冷却板上设有连通外部和所述流体通道的进液通道和出液通道；工作时，冷却液经所述进液通道进入所述流体通道，所述涂层靶材产生的热量经所述导热板传导给进入所述流体通道的所述冷却液，最后所述冷却液携带热量从所述出液通道流出。2.根据权利要求1所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述电连接组件穿过所述第一绝缘组件、所述靶材板框和所述绝缘板与所述冷却板连接，且所述电连接组件与所述靶材板框之间设有用于绝缘的第三绝缘组件。3.根据权利要求2所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述电连接组件包括若干导电螺栓，所述导电螺栓将所述导电组件和所述第一绝缘组件固定于所述冷却板，并使所述导电组件和所述冷却板电连接，所述第三绝缘组件包括若干穿设于所述靶材板框的第一绝缘环扣，所述导电螺栓穿设于所述第一绝缘环扣。4.根据权利要求1所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述导电组件包括两个导电铜体和两个平行设置的导电铜条，所述第一绝缘组件包括两个绝缘条，两个所述绝缘条分别设于两个所述导电铜条和所述靶材板框之间，两个所述导电铜体分别设于所述导电铜条的两端，且两个所述导电铜条之间通过所述导电铜体连接，所述导电铜体用于连接外部电极。5.根据权利要求1所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述涂层靶材的四周设有固定压框，所述固定压框固连于所述冷却板，且将所述涂层靶材和所述导热板压紧固定在所述冷却板上，所述涂层靶材和所述导热板上穿设有若干第一紧固螺栓，所述第一紧固螺栓将所述涂层靶材固定于所述冷却板。6.根据权利要求5所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述固定压框远离所述涂层靶材的一端面上设有第一陶瓷框，所述第一紧固螺栓头部设有陶瓷帽。7.根据权利要求6所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述第二绝缘组件为第二陶瓷框，所述第二陶瓷框设于所述冷却板、所述导热板、所述涂层靶材和所述固定压框的周侧，且所述第二陶瓷框位于所述第一陶瓷框和所述绝缘板之间。8.根据权利要求1所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述靶材板框和所述冷却板之间通过若干第二紧固螺栓固连，所述靶材板框上穿设有若干第二绝缘环扣，所述第二紧固螺栓穿设于所述第二绝缘环扣且螺纹连接于所述冷却板。
9.根据权利要求1所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述靶材板框四周设有真空密封圈，用于在工作时与涂层腔体真空密封连接。10.根据权利要求1所述的阴极电弧涂层靶材装置，其特征在于，所述流体通道、所述进液通道和所述出液通道与外部的接缝处均设有密封部件。
技术总结
本发明公开了一种阴极电弧涂层靶材装置，依次互相贴合设置有导电组件、第一绝缘组件、靶材板框、绝缘板、冷却板、导热板和涂层靶材；导电组件与冷却板之间设有电连接组件，导电组件连接外部电极，并通过电连接组件、冷却板和导热板与涂层靶材电连接；导电组件和冷却板分别通过第一绝缘组件和绝缘板与靶材板框绝缘；冷却板、导热板和涂层靶材的周侧设有用于与靶材板框绝缘的第二绝缘组件；冷却板靠近导热板的一表面上设有流槽，流槽与导热板之间形成流体通道，靶材板框和冷却板上设有连通外部和流体通道的进液通道和出液通道；该靶材装置具有靶材利用率高、涂层沉积效率高、冷却效果好、涂层成分均匀及涂层色泽度好的特点。层成分均匀及涂层色泽度好的特点。层成分均匀及涂层色泽度好的特点。
技术研发人员：陈强 张而耕 周琼 黄彪 梁丹丹 张帆 孙思叡 孙国庆 李朝明
受保护的技术使用者：上海名古屋精密工具股份有限公司 上海离原环境科技有限公司
技术研发日：2021.08.03
技术公布日：2021/9/17