技术特征：
1.一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备，包括上壳体(1)、下壳体(2)，其特征在于：所述上壳体(1)、下壳体(2)上下分布，上壳体(1)的侧面固定焊接有上固定板(6)，下壳体(2)的顶部侧面固定焊接有对应在上固定板(6)下方的下固定板(8)，所述上固定板(6)与下固定板(8)之间固定设置有升降单元(7)，所述上壳体(1)的一侧设置有输入管(4)，所述上壳体(1)的另一侧设置有输出管(9)，所述输出管(9)的端部连通设有收集箱(12)，所述收集箱(12)远离输出管(9)的一侧设置有第一管道(10)、第二管道(11)，所述第一管道(10)与输入管(4)的侧面通过连接软管(5)连通。2.根据权利要求1所述的一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备，其特征在于：所述第二管道(11)、连接软管(5)连通输入管(4)的位置、输入管(4)的端部均设置有手动阀。3.根据权利要求1所述的一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备，其特征在于：所述下壳体(2)的开口处与上壳体(1)的开口处均固定设置有橡胶圈(3)。4.根据权利要求1所述的一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备，其特征在于：所述第二管道(11)连通收集箱(12)内部的位置设置有过滤芯(20)。5.根据权利要求1所述的一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备，其特征在于：所述上壳体(1)的内部上方固定设置有基板(17)，所述下壳体(2)的内部设置有对应在基板(17)下方的支撑板(14)，支撑板(14)的表面设置有放置靶材的收纳槽(15)。6.根据权利要求5所述的一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备，其特征在于：所述下壳体(2)的底部固定焊接有推动支撑板(14)靠近基板(17)的推动单元(16)。7.根据权利要求5所述的一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备，其特征在于：所述收纳槽(15)的底部活动设置有多组呈等距离分布的辊轴(13)，所述上壳体(1)的内壁上固定焊接有推动放置在收纳槽(15)中靶材滚动的拨动机构。8.根据权利要求7所述的一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备，其特征在于：所述拨动机构包括固定在上壳体(1)内壁上的定位板(18)与固定在定位板(18)端部的伸缩单元(19)，伸缩单元(19)呈横向设置，伸缩单元(19)的端部连接有拨动端(21)，所述拨动端(21)对应在收纳槽(15)的上方。
技术总结
本实用新型公开了一种全封闭磁力网笼式的平面磁控溅射阴极设备，涉及到磁控溅射阴极设备领域，包括上壳体、下壳体，所述上壳体、下壳体上下分布，上壳体的侧面固定焊接有上固定板，下壳体的顶部侧面固定焊接有对应在上固定板下方的下固定板，所述上固定板与下固定板之间固定设置有升降单元，粒子在密封的空腔中对靶材进行镀膜，可避免镀膜过程中其它气体对其产生影响，高效，且多余的气体可直接排出或者收集在收集箱中继续利用。收集在收集箱中继续利用。收集在收集箱中继续利用。
技术研发人员：匡国庆
受保护的技术使用者：镇江市德利克真空设备科技有限公司
技术研发日：2021.07.26
技术公布日：2022/3/18