一种真空镀膜设备中Mask杆的自动升降机构的制作方法

一种真空镀膜设备中mask杆的自动升降机构
技术领域
1.本公开涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备中mask杆的自动升降机构。


背景技术：

2.在红外镀膜技术领域中，为提高膜厚均匀性，采用特定形状的mask机构可有效达到提高均匀性的目的。在实际应用中，mask杆的安装和固定不便，且固定后不易再次调整高度及角度，不能满足对多种材料的镀膜时膜厚均匀性的要求，因此存在安装和调整不便、加工成本高，通用性差的问题。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本公开实施例提供一种真空镀膜设备中mask杆的自动升降机构，该机构可自动升降，快速调整角度及高度，且便于安装，以满足对多种材料的镀膜时膜厚均匀性的要求。
4.为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
5.一种真空镀膜设备中mask杆的自动升降机构，包括：
6.mask杆，所述mask杆包括遮挡段、连接段和固定段；
7.齿轮，所述mask杆的固定段与所述齿轮的轮齿固定连接；
8.齿条，所述齿条在驱动力作用下与所述齿轮啮合传动，以带动所述mask杆自动升降。
9.在一种优选的实施方式中，还包括固定座，所述固定座包括底座，所述底座上设置固定块，所述齿轮安装在所述固定块的侧方。
10.在一种优选的实施方式中，还包括固定板，所述固定板截面呈l型，所述固定板的水平段固定在所述固定块的顶端，所述固定板的竖直段和所述mask杆的连接段上分别开设相适配的螺孔，所述螺孔中设置螺钉。
11.在一种优选的实施方式中，所述固定块为两块，且分别设置在所述齿轮和所述齿条的两侧。
12.在一种优选的实施方式中，所述固定座上还包括转动轴，所述转动轴的两端分别转动连接在两块所述固定块上，所述齿条的底部位于所述转动轴上。
13.在一种优选的实施方式中，还包括气缸，所述气缸的输出轴与所述齿条固定连接，用于对所述齿条提供驱动力。
14.在一种优选的实施方式中，所述底座上开设安装孔，所述气缸的输出轴穿过所述安装孔，与所述齿条固定连接。
15.本实用新型的真空镀膜设备中mask杆的自动升降机构，结构简单，设计合理，通过特定齿轮和齿条结构，以气缸为动力，利用特定结构的齿轮和齿条传动机构，实现mask在特定角度范围内的调整要求，进而提高多种镀膜材料的成膜质量。
附图说明
16.为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
17.图1为本实用新型的自动升降机构侧视图；
18.图2为本实用新型的自动升降机构立体图；
19.图3为本实用新型的自动升降机构另一立体图。
具体实施方式
20.下面结合附图对本公开实施例进行详细描述。
21.以下通过特定的具体实例说明本公开的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本公开的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。本公开还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本公开的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
22.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本公开，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
23.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本公开的基本构想，图式中仅显示与本公开中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
24.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
25.本公开实施例提供一种真空镀膜设备中mask杆的自动升降机构，包括：mask杆，所述mask杆包括遮挡段、连接段和固定段；齿轮，所述mask杆的固定段与所述齿轮的轮齿固定连接；齿条，所述齿条在驱动力作用下与所述齿轮啮合传动，以带动所述mask杆自动升降。
26.如图1-3所示，根据一种具体实施例，所述自动升降机构包括固定座，所述固定座包括底座4，所述底座4上固定有两块固定块5，所述齿轮2通过中心轴活动连接在两块固定块5中间。所述底座4用于与真空镀膜室固定，其固定方式可采用螺栓等方式，以将整个mask杆的自动升降机构固定在镀膜室中。在所述齿轮2的两侧分别设置固定块5，作用一是为了固定齿轮2，另一作用是为了从侧方将上述齿轮2和齿条3进行遮挡，防止镀膜时膜料附着在齿轮2和齿条3上，对其性能造成影响。
27.在一种优选的实施方式中，还包括固定板6，所述固定板6截面呈l型，所述固定板6的水平段固定在所述固定块5的顶端，其目的一是为了固定所述固定板6，目的二是能够在齿轮2的顶部对齿轮2进行遮挡，防止膜料进入；所述固定板6的竖直段和所述mask杆1的连接段上分别开设相适配的螺孔，所述螺孔中设置螺钉7。当通过上述齿轮2调整好mask杆1的高度时，在上述螺孔中设置螺钉7，通过调整螺钉7的拧入深度，可快速调整mask杆1的角度。
28.本公开实施例中，通过对上述齿条3施加驱动力，使齿条3能够左右往复运动，以带动上述齿轮2进行转动，从而带动所述mask杆1进行自动升降，便捷的调整mask杆1的高度位置。再通过调整螺钉7的拧入深度，从而快速调整mask杆1的角度，以满足对多种材料的镀膜时膜厚均匀性的要求。
29.根据一种优选的实施方式，所述固定座上还包括转动轴9，所述转动轴9的两端分别转动连接在两块所述固定块5上，所述齿条3的底部位于所述转动轴9上。设置所述转动轴9，主要起到承力的作用，同时便于所述齿条3左右往复运动。
30.上述的驱动力优选气缸8，所述底座4上开设安装孔，所述气缸9的输出轴穿过所述安装孔，与所述齿条3固定连接，用于对所述齿条3提供驱动力。
31.以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。