用于在真空涂覆设施中接纳物体的设备的制作方法

用于在真空涂覆设施中接纳物体的设备
1.本发明涉及一种用于在真空涂覆设施中接纳物体的设备，该设备包括：具有涂覆开口的载体；用于将该物体固持在该涂覆开口中的固持装置；以及用于该固持装置的枢转支承件，该枢转支承件固定至该载体、具有枢转轴线，该固持装置可以绕该枢转轴线枢转以在该涂覆开口中转动该固持装置所固持的物体，并且该枢转支承件具有支承本体，该支承本体具有用于圆形本体的周向闭合的接纳部，该周向闭合的接纳部在枢转轴线的方向上具有延伸范围。本发明此外还涉及一种用于将包括固定在其中的物体的固持装置布置在设备的载体上的方法、一种用于该方法的处理设备、以及一种计算机程序产品。
2.为了提供具有减反射涂层的眼镜镜片，向镜片元件表面施加薄的光学层。减反射涂层在真空涂覆设施中产生。在真空涂覆设施中，在高真空中的光学活性材料可以从蒸发器源蒸发或从溅射源溅射并沉积在眼镜镜片上。
3.de 102006041137b4披露了一种引言中所提及类型的设备。这种设备具有载体，该载体可以在真空涂覆设施的真空室中绕竖直的旋转轴线移动。该载体包括具有球冠的本体，具有固定在其中的要被涂覆的物体的多个固持装置被接纳在枢转支承件中，这些固持装置可以在涂覆开口中藉由磁力转动。
4.这样的效果在于，可以在设备中在真空中对物体的两个相反表面进行涂覆，而不必在第一涂覆操作之后对真空室通气以转动物体，其结果是，可以显著减少整体处理时间。
5.从de 102006041137b4中已知的固持装置各自具有安装销，当固持装置布置在载体上时，这些安装销必须插入枢转支承件的支承本体中的接纳部中。为了能够将安装销容易地插入支承本体的接纳部中，该接纳部具有相对于安装销的过大的尺寸。当固持装置布置在载体上时，粗心大意的操作在此可能造成的后果是：固持装置仅由两个安装销中的一个安装销固持在枢转支承件中。在这种情况下，包括固定在其中的物体的这种固持装置可能不再会在真空涂覆设施中转动。此外，在这种情况下，存在以下风险：固持装置独立地离开枢转支承件中的接纳部并且接着损坏布置在载体上的用于涂覆操作的其他物体。
6.本发明的目的是指定一种用于在真空涂覆设施中接纳物体的设备，该设备确保物体在涂覆操作期间被牢固地固持，并且使得可以通过简单的运动而将要被涂覆的物体布置在载体上，使得物体可以在真空涂覆设施中转动。
7.该目的通过权利要求1所述的设备、权利要求12和l 3所述的方法、权利要求14所述的处理设备以及权利要求15所述的计算机程序产品来实现。从属权利要求中详细说明了本发明的有利发展。
8.根据本发明的用于在真空涂覆设施中接纳物体的设备包括：具有涂覆开口的载体；用于将该物体固持在该涂覆开口中的固持装置；以及用于该固持装置的枢转支承件，该枢转支承件固定至该载体、具有枢转轴线，该固持装置可以绕该枢转轴线枢转以在该涂覆开口中转动该固持装置所固持的物体，并且该枢转支承件具有支承本体，该支承本体具有用于圆形本体的周向闭合的接纳部，该周向闭合的接纳部在枢转轴线的方向上具有延伸范围，并且该支承本体另外具有用于圆形本体的周向打开的接纳部，其结果是当将固持装置布置在载体上时，圆形本体可以穿过周向打开的接纳部插入周向闭合的接纳部中。
9.在当前情况下，真空涂覆设施被理解为是指可以在真空状况下、特别是在高真空状况下对物体进行涂覆的设施。真空涂覆设施例如是阴极雾化设施(也被称为溅射设施)、气相沉积设施或化学气相沉积设施。
10.特别地，要接纳在根据本发明的设备中的物体是光学元件。在这种背景下，光学元件被理解为是指具有吸收、传输、反射、折射或散射电磁辐射(比如可见光、uv或ir辐射)功能的日常物体。在当前情况下，光学元件被理解为是指例如镜片元件、例如眼镜镜片元件或接触镜片元件，但也指平面光学单元或圆形光学单元、棱镜、反射镜、球面镜片或非球面镜片、经磨边的眼镜镜片或椭圆形镜片等。然而，要接纳在根据本发明的设备中的物体也可以是比如钻头或铣削头等工具。
11.在当前情况下，周向闭合的接纳部表示用于本体(例如，安装销)的接纳部，该接纳部在本体已经插入接纳部中之后相对于正交于插入方向的截面平面完全封围本体。
12.在当前情况下，周向打开的接纳部表示用于本体(例如，安装销)的接纳部，该接纳部在本体已经插入接纳部中之后相对于正交于插入方向的截面平面仅部分地封围本体。作为参考，部分地是指周向打开的接纳部封围本体的至少一半、进一步优选地至少四分之三。
13.支承本体的周向闭合的接纳部可以与支承本体的周向打开的接纳部合并或与其间隔开。
14.有利的是，支承本体的周向打开的接纳部面向载体的涂覆开口，并且支承本体的周向打开的接纳部在枢转轴线的方向上的延伸范围相当于支承本体的周向闭合的接纳部与涂覆开口之间的距离的至少50％、至多100％。这种措施确保包括物体的固持装置可以放置在涂覆开口中并且在其中转动，并且支承本体的周向打开的接纳部足够大以防止圆形本体从支承本体中移出。
15.优选实施例提供的是，支承本体的周向打开的接纳部具有开口，该开口布置在支承本体的背向载体的一侧上。在这种情况下，特别优选的是，开口被布置在周向打开的接纳部中的方式为使得开口允许圆形本体在两个空间方向上(具体而言，在枢转轴线的方向上和在与载体的表面大致正交的方向上)移位。这样的优点在于，圆形本体从枢转支承件中移出的可能性被最小化。
16.在这种情况下，支承本体的周向打开的接纳部特别优选地具有u形形状。有利地，u形形状的半圆具有与支承本体的周向闭合的接纳部相同的半径。支承本体的周向打开的接纳部的面向要接纳的本体的侧进一步有利地位于周向闭合的接纳部的面向要接纳的本体的侧的切向平面中。这些措施的优点在于，在圆形本体从周向闭合的接纳部掉落出到周向打开的接纳部中时，限制圆形本体朝向周向打开的接纳部的开口进一步移位。此外，周向打开的接纳部的包围圆形本体的壁确保将圆形本体再次引导回周向闭合的接纳部中。特别地，这在支承本体的周向闭合的接纳部位于支承本体的周向打开的接纳部的下方时是有用的。这是因为，在这种情况下，在涂覆操作期间，圆形本体或固持装置的固有重量和/或载体的运动(例如，载体的旋转)使得圆形本体移动回支承本体的周向闭合的接纳部中。以此方式，固持装置特别牢固地安装在支承本体中。
17.圆形本体可以是附接至固持装置的安装销。在这种情况下，安装销插入支承本体的接纳部中，以便将包括物体的固持装置固持在载体上。
18.此外，有利的是，周向闭合的接纳部具有相对于圆形本体的过大的尺寸。这种过大
的尺寸允许圆形本体在支承本体中例如通过旋转或移位而移动。支承本体的周向闭合的接纳部的直径优选地对应于圆形本体的直径的101％与150％之间、特别优选地110％与140％之间、非常特别优选地120％与130％之间。这种过大的尺寸的优点在于，圆形本体可以在支承本体中移动，但同时，当固持装置在转动时，枢转轴线的角度仅可以略微改变。
19.优选实施例提供的是，用于将固持装置安装在载体上以便能够绕枢转轴线枢转的另外的枢转支承件，该另外的枢转支承件用于在涂覆开口中转动固持装置所固持的物体，并且该另外的枢转支承件具有另外的支承本体，该另外的支承本体具有用于另外的圆形本体的周向闭合的接纳部，该周向闭合的接纳部在枢转轴线的方向上具有延伸范围。另外的圆形本体可以插入另外的枢转支承件中，并且圆形本体可以插入枢转支承件中，使得固持装置可以在涂覆开口中转动。
20.有利地，在此方面，枢转支承件位于另外的枢转支承件下方，因为这有利于将圆形本体插入枢转支承件中并且将另外的圆形本体插入另外的枢转支承件中。具体地，可以首先将另外的圆形本体插入另外的枢转支承件的另外的支承本体的周向闭合的接纳部中，并且接着，圆形本体可以穿过枢转支承件的支承本体的周向打开的接纳部滑动到枢转支承件的支承本体的周向闭合的接纳部中。
21.在此，另外的支承本体同样可以具有用于另外的圆形本体的周向打开的接纳部，该周向打开的接纳部与周向闭合的接纳部合并，并且当固持装置布置在载体上时，该另外的圆形本体可以穿过该周向打开的接纳部插入周向闭合的接纳部中。这种措施有助于将另外的圆形本体插入另外的枢转支承件的另外的支承本体中。
22.在此，用于圆形本体的周向打开的接纳部布置在载体上的技术效果在于，当圆形本体从支承本体的周向闭合的接纳部移出时，圆形本体被支承本体的周向打开的接纳部引导，其方式为使得该圆形本体例如由于其自身的固有重量或固持装置的固有重量或由于在涂覆操作期间的载体运动而再次移动回周向闭合的接纳部中。
23.此外，周向打开的接纳部有利于将圆形本体插入支承本体的周向闭合的接纳部中。为了将圆形本体插入支承本体的周向闭合的接纳部中，具体而言，该圆形本体不需要在所有三个空间方向上均被正确地引导。相反，圆形本体可以插入周向打开的接纳部中并且从此处进入周向闭合的接纳部中。若固持装置安装在载体上的方式为使得固持装置与水平平面形成足够大的角度，则圆形本体还可以在插入支承本体的周向打开的接纳部之后独立地移动到周向闭合的接纳部中。
24.本发明的一个构思在于，这种有利于将圆形本体插入支承本体的周向闭合的接纳部中的方式能够实现通过具有计算机单元和计算机程序的控制单元来实施将圆形本体自动地插入支承本体的周向闭合的接纳部中。这特别是在涂覆操作期间节省了时间。
25.有利的是，另外的支承本体固定至载体，因为这使得可以在涂覆操作期间将固持装置牢固地固持在载体上。
26.另外的圆形本体同样可以呈附接至固持装置的安装销的形式。
27.上述的用于在真空涂覆设施中接纳物体的设备使得可以避免因物体损坏、例如镜片损坏而造成的损失。另外，促进了将固持装置插入枢转支承件中的操作，并且因此，缩短了插入操作所需的时间。此外，根据本发明的枢转支承件可以用于自动插入的方法，从而节省了用于手动处理物体的时间和劳动力。
28.有利的是，支承本体固定至载体。这使得固持装置能够稳定地安装在载体上。
29.用于安装销的端面止挡部优选地形成在支承本体中。这防止了安装销沿周向闭合的接纳部的方向从支承本体中移出。为此，端面止挡部在背向周向打开的接纳部的一侧上封锁支承本体的周向闭合的接纳部的至少一部分。有利地，端面止挡部仅封锁周向闭合的接纳部的一部分、特别是顶部部分，因为这使得污物可以穿过周向闭合的接纳部的底部部分离开。
30.用于将固持装置安装在载体上以便能够绕枢转轴线枢转的枢转支承件和另外的枢转支承件位于球冠的子午面上。这样的优点在于，固持装置凭借其自身的固有重量固持在枢转支承件中，结果，避免了圆形本体从枢转支承件中移出。
31.有利的是，固持装置布置在枢转支承件和另外的枢转支承件中，以便可沿枢转轴线的方向移位。这有利于将固持装置插入枢转支承件和另外的枢转支承件中。
32.有利地，枢转支承件的支承本体由固体材料产生，即支承本体由一件式材料产生。这样的优点在于，支承本体特别稳定。作为替代方案，枢转支承件的支承本体具有：第一支承本体部分本体，该第一支承本体部分本体由固体材料产生并且在其中形成周向闭合的接纳部；以及另外的支承本体部分本体，该另外的支承本体部分本体由固体材料产生并且在其中形成周向打开的接纳部。在此方面，另外的支承本体部分本体附接至第一支承本体部分本体的连结表面或与第一支承本体部分本体间隔开。这样的优点在于，具有周向闭合的开口的已经存在的第一支承本体部分本体可以由另外的支承本体部分本体加宽。
33.第一支承本体部分本体的面向要接纳的圆形本体的表面在此与另外的支承部分本体的周向闭合的接纳部和周向打开的接纳部一起尽可能地限定可连续区分的表面。这种措施确保当圆形本体从周向闭合的接纳部中滑出到周向打开的接纳部中时，该圆形本体可以独立地再次滑回周向闭合的接纳部中。在另一方面，两个表面偏离可能导致对应圆形本体发生倾斜，使得该圆形本体接着不再可以滑回周向闭合的接纳部中。
34.用于将物体固持在涂覆开口中的固持装置藉由用于将固持装置安装在载体上以便可绕枢转轴线枢转的枢转支承件而在涂覆开口中转动。为此，例如可以产生用于使固持装置绕枢转轴线旋转的磁力，该磁力传递至固持装置并使固持装置转动。de 102006041137b4中描述了这种用于使固持装置在涂覆开口中转动的方法，在此对该文件进行引用并且该文件的披露内容全部并入本发明的说明书中。在这种背景下，球冠优选地由非磁性不锈钢组成。固持装置和/或物体进一步优选地由磁性不锈钢组成。
35.本发明还涉及一种用于将固持装置布置在载体上的方法，该固持装置包括固定在其中的物体，以便在真空涂覆设施中对该物体进行涂覆，该载体具有涂覆开口并且具有支承本体，该支承本体固定至载体或固持装置并且具有用于圆形本体的周向闭合的接纳部，该周向闭合的接纳部在枢转轴线的方向上具有延伸范围并且固定至固持装置或载体，其中，支承本体另外具有用于圆形本体的周向打开的接纳部，并且在该方法中，通过使固持装置相对于载体发生相对移位，将圆形本体插入周向打开的接纳部中并且此后移动到周向闭合的接纳部中。固持装置的这种布置方式特别容易且省时。与周向闭合的接纳部相比，周向打开的接纳部具有更大的开口并且因此使得可以将固持装置从更大数量的方向(具体而言，从枢转轴线的方向、从周向打开的接纳部的开口的方向、以及从上述两个方向之间的所有方向)插入周向打开的接纳部中。这还使得能够实现自动插入固持装置，因为不再需要在
三个空间维度上对支承本体的周向打开的接纳部进行控制。相反，附接至固持装置的圆形本体可以穿过周向打开的接纳部的开口插入支承本体中直至该圆形本体抵靠周向打开的接纳部的面向要接纳的本体的壁，接着可以凭借固持装置的固有重量滑动到周向闭合的接纳部中直至该圆形本体接触支承本体的端面止挡部。
36.用于布置固持装置的方法可以是用于提高物体在真空涂覆设施中的完成的方法的一部分，该方法具有以下方法步骤：将物体固定在固持装置中。通过上述的用于布置固持装置的方法来将固持装置布置在载体上，该固持装置包括固定在其中的物体，以便在真空涂覆设施中在对该物体进行涂覆，该载体具有涂覆开口并且具有支承本体，该支承本体固定至载体或固持装置并且具有用于圆形本体的周向闭合的接纳部，该周向闭合的接纳部在枢转轴线的方向上具有延伸范围并且固定至固持装置或载体。在此方面，支承本体另外具有用于圆形本体的周向打开的接纳部。最后，在真空涂覆设施中对物体进行涂覆。
37.本发明此外涉及一种具有控制单元并且具有计算机单元的处理设备，该处理设备用于实施上文所述的用于将固持装置布置在载体上的方法，该固持装置包括固定在其中的物体，以便在真空涂覆设施中对该物体进行涂覆。计算机单元包含具有程序代码的计算机程序，该程序代码产生用于控制单元的控制命令。控制单元用于致动处理设备的抓握工具，该抓握工具将包括固定在其中的物体的固持装置例如沿枢转支承件的周向打开的接纳部的开口的方向插入该周向打开的接纳部中，直至附接至固持装置的圆形本体抵靠周向打开的接纳部的面向要接纳的本体的壁。若枢转支承件被定向的方式为使得周向闭合的接纳部深于周向打开的接纳部，则抓握工具释放固持装置，并且包括圆形本体的固持装置由于其自身的固有重量和重力从周向打开的接纳部自动地滑动到支承本体的周向闭合的接纳部中。若周向闭合的接纳部不比周向打开的接纳部更深，则可以在包括圆形本体的固持装置已经插入处理设备之后将固持装置移位到周向闭合的接纳部中。在此，周向打开的接纳部使自动插入简单化。
38.若具有周向闭合的接纳部的另外的枢转支承件也固定至载体，则处理设备将包括圆形本体和另外的圆形本体的固持装置引导到枢转支承件和另外的枢转支承件中，其方式为使得首先将另外的圆形本体插入另外的枢转支承件的周向闭合的开口中，接着，如上所述的，将圆形本体插入枢转支承件中。
39.本发明此外还涉及一种计算机程序产品，该计算机程序产品包括具有程序代码的计算机程序，该计算机程序用于当该计算机程序被加载到上文所述的处理设备的计算机单元上和/或在计算机单元上执行时实施上文所述的用于布置固持装置的方法的所有方法步骤。
40.本发明的有利示例性实施例在附图中示意性地表示并且在下文中进行描述。
41.在附图中：
42.图1示出了具有用于接纳物体的设备的真空涂覆设施；
43.图2示出了设备的固持装置；
44.图3示出了用于接纳物体的设备的载体的一部分，该载体具有涂覆开口；
45.图4示出了用于接纳物体的设备的枢转支承件的支承本体；
46.图5示出了用于接纳物体的设备的另外的枢转支承件的支承本体；
47.图6示出了枢转支承件的相对于图4的支承本体的替代性支承本体；
48.图7示出了处理设备处于第一位置时的真空涂覆设施；以及
49.图8示出了处理设备处于另外的位置时的真空涂覆设施。
50.图1是穿过真空涂覆设施5的截面，该真空涂覆设施包括用于接纳物体14的设备10，在当前情况下，物体呈眼睛镜片元件的形式。真空涂覆设施5用于向接纳在设备10中的物体14涂覆光学活性层。为此，真空涂覆设施5包含真空室16，在该真空室中，用于蒸发的材料可以藉由布置在所述真空室中的蒸发器22而在真空中被蒸发。
51.为了对接纳在设备10中的物体进行涂覆，布置在蒸发器22中的用于蒸发的材料经由电加热器(未展示)加热而被蒸发。应当注意到的是，作为其替代方案，真空涂覆设施5可以特别地包含蒸发器，用于蒸发的材料在该蒸发器中藉由电子束被蒸发。
52.真空涂覆设施5具有壳体15，该壳体包括壁17、底板30和盖件28，设备10通过固定在盖件28中的旋转支承件45中的轴体23被固持在该盖件上。设备10具有载体12，该载体附接至轴体23并且包括具有球冠1 3的本体。涂覆开口1 8形成在载体12的本体中，在这些涂覆开口处，呈要被涂覆的物体14形式的眼镜镜片元件可以藉由固持装置20固持。在真空涂覆设施5中，存在用于轴体23的驱动模块24。藉由驱动模块24，轴体23可以绕竖直的旋转轴线26以可设定的角速度ω移动。轴体23的旋转轴线26在真空涂覆设施5中穿过球冠1 3的球冠中心25。此球冠中心25在真空室1 6中布置在载体12下方、在与载体12的球冠13相距对应于球冠半径r的垂直距离处布置在蒸发器22上。载体12的本体中的涂覆开口1 8在球冠1 3上具有圆形边缘。
53.为了将要被涂覆的物体14固持在载体12的涂覆开口1 8中，设备10具有用于接纳物体14的多个固持装置20。对于设备10的用于在此接纳物体14的载体12上的每个固持装置20，存在一个枢转支承件32和一个另外的枢转支承件38。固持装置20各自在载体12上可拆卸地安装在枢转支承件32中，从而能够在另外的枢转支承件38中旋转。
54.固定在固持装置20中的物体14在设备10中位于载体12的球冠1 3上(即，在球的表面上)，蒸发器22在真空涂覆设施5中布置在该球的中心。这样的效果在于，在真空涂覆设施5中向要被涂覆的物体14施加具有相同层厚度的相应层。
55.图2示出了设备10的固持装置20。图3展示了具有涂覆开口1 8和固持装置20的载体12的一部分。固持装置20具有转动环27，弹簧薄片29附接至该转动环，这些弹簧薄片藉由弹簧力在侧向边缘面31处固持呈要被涂覆的物体14形式的眼镜镜片元件。
56.具有圆形本体轴线37的圆形本体36以及具有另外的圆形本体轴线39的另外的圆形本体40附接至转动环27。转动环27的圆形本体36的圆形本体轴线37和圆形本体40的另外的圆形本体轴线39彼此同轴。附接至转动环27的圆形本体36、40具有销的形式。圆形本体36例如布置在与另外的圆形本体40相距96mm的距离处。
57.用于固持装置20的枢转支承件32和另外的枢转支承件38在设备10中限定枢转轴线34。这两个枢转支承件位于球冠13的子午面42上。枢转支承件32更靠近球冠1 3的中纬线21，因此比另外的枢转支承件38更深。固持装置20的固有重量抵消了圆形本体36从枢转支承件32的支承本体中移出的运动。包括固持在其中的物体14的固持装置20可以通过绕枢转轴线34旋转而在设备10中转动，其中，转动环27下沉到涂覆开口18中。这使得能够在真空涂覆设施5中对物体14的相反表面进行涂覆。枢转支承件32的周向闭合的接纳部46和另外的枢转支承件38的周向闭合的接纳部46被布置成例如彼此相距90mm的距离。枢转支承件32的
周向打开的接纳部48和另外的枢转支承件38的周向闭合的接纳部46被布置成例如彼此相距87.7mm的距离。
58.图4示出了枢转支承件32的支承本体51。可以在图5中看到另外的枢转支承件38的支承本体53。枢转支承件32的支承本体51由固体材料产生。该支承本体固定至载体12并且具有周向闭合的接纳部46和深度通过双头箭头56指示的周向打开的接纳部48，圆形本体36或另外的圆形本体40可以插入到该深度。在这种情况下，枢转支承件32的支承本体51中的周向打开的接纳部48与支承本体51的周向闭合的接纳部46合并。周向打开的接纳部48具有u形形状并且具有相对于圆形本体36和另外的圆形本体40过大的尺寸。支承本体51的周向打开的接纳部48具有开口47，该开口布置在支承本体51的背向载体12的一侧上。枢转支承件32中的周向闭合的接纳部46具有止挡部44，当圆形本体36、40以其端面抵靠止挡部44时，该止挡部防止圆形本体36或另外的圆形本体40运动。枢转支承件32的支承本体51在背向周向打开的接纳部48的一侧上具有带有开口43的孔口，该孔口与周向闭合的接纳部46连通并且使得可以彻底地冲洗周向打开的接纳部48和周向闭合的接纳部46以供清洁。
59.另外的枢转支承件38具有支承本体53，该支承本体固定至载体12并且具有用于圆形本体36或另外的圆形本体40的周向闭合的接纳部46，该周向闭合的接纳部呈支承本体53中的通孔的形式。
60.枢转支承件32和另外的枢转支承件38的周向闭合的接纳部46限定固持装置20的枢转轴线34。固持装置20在枢转支承件32和另外的枢转支承件38中可沿枢转轴线34的方向移位。
61.图6示出了枢转支承件32的相对于枢转支承件32的图4所示的支承本体51的替代性支承本体51
′
。此支承本体51
′
具有第一支承本体部分本体50，该第一支承本体部分本体由固体材料产生并且在其中形成周向闭合的接纳部46。另外的支承本体部分本体52(同样由固体材料产生)在第一支承本体部分本体50的连结表面54处附接至第一支承本体部分本体50，如通过箭头49指示的。在此，周向打开的接纳部48形成在另外的支承本体部分本体52中。
62.在当前情况下，另外的支承本体部分本体52固定地粘接至第一支承本体部分本体50。应当注意到的是，第一支承本体部分本体50和另外的支承本体部分本体52还可以通过焊接或钎焊来连接。作为替代方案，另外的支承本体部分本体52也可以是与第一支承本体部分本体50间隔开布置的本体。另外的支承本体部分本体52的延伸范围(通过双头箭头56指示)可以相当于第一支承本体部分本体50与涂覆开口1 8之间的距离d的50％与100％之间。
63.图7示出了真空涂覆设施5，该真空涂覆设施包括处理设备62，该处理设备用于将包括固持在其中的物体14的固持装置20自动地布置在设备10的载体12的涂覆开口1 8处的枢转支承件32和另外的枢转支承件38中。
64.处理设备62具有基部64，该基部包括用于第一机械臂68的旋转接头66，第二机械臂70在该第一机械臂上接纳在枢转接头72中。在另外的枢转接头74中，第二机械臂70支承第三机械臂76，该第三机械臂包括旋转接头78，用于抓握包括固持在其中的物体14的固持装置20的抓握工具80附接至该旋转接头。处理设备62包括计算机单元82和控制单元84。计算机单元82包含计算机程序，该计算机程序产生用于控制单元84的控制命令，以便在固持
装置接纳位置接纳固持装置20，该固持装置藉由进给系统86被进给并且包括其中所接纳的物体14。
65.图8示出了真空涂覆设施5，该真空涂覆设施包括处于固持装置插入位置的处理设备62。在此，在第一步骤中，移动抓握工具80(包括固持在其中的固持装置20)，使得附接至转动环27的另外的圆形本体40被插入另外的枢转支承件38的周向闭合的接纳部46中。在第一步骤之后的另外的步骤中，接着将圆形本体36枢转到枢转支承件32的周向打开的接纳部48中，并且接着将该圆形本体沿枢转轴线34的方向移动到该枢转支承件的周向闭合的接纳部46中。
66.总之，应注意以下内容：用于在真空涂覆设施5中接纳物体14的设备10包含载体12，该载体具有涂覆开口18并且具有用于将物体14固持在涂覆开口1 8中的固持装置20。在设备1 0中，存在用于固持装置20的枢转支承件32，该枢转支承件固定至载体12、具有枢转轴线34，固持装置20可以绕该枢转轴线枢转以在涂覆开口1 8中转动固持装置所固持的物体14，并且该枢转支承件具有支承本体51、51
′
，该支承本体具有用于圆形本体36的周向闭合的接纳部46，该周向闭合的接纳部在枢转轴线34方向上具有延伸范围。支承本体51、51
′
具有用于圆形本体36的周向闭合的接纳部46和周向打开的接纳部48，其结果是当将固持装置20布置在载体12上时，圆形本体36可以穿过周向打开的接纳部48插入周向闭合的接纳部46中。
67.附图标记清单
[0068]5ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
真空涂覆设施
[0069]
10
ꢀꢀꢀꢀꢀ
设备
[0070]
12
ꢀꢀꢀꢀꢀ
载体
[0071]
1 3
ꢀꢀꢀꢀ
球冠
[0072]
14
ꢀꢀꢀꢀꢀ
物体
[0073]
1 5
ꢀꢀꢀꢀ
壳体
[0074]
1 6
ꢀꢀꢀꢀ
真空室
[0075]
17
ꢀꢀꢀꢀꢀ
壁
[0076]
1 8
ꢀꢀꢀꢀ
涂覆开口
[0077]
20
ꢀꢀꢀꢀꢀ
固持装置
[0078]
21
ꢀꢀꢀꢀꢀ
中纬线
[0079]
22
ꢀꢀꢀꢀꢀ
蒸发器
[0080]
23
ꢀꢀꢀꢀꢀ
轴体
[0081]
24
ꢀꢀꢀꢀꢀ
驱动模块
[0082]
25
ꢀꢀꢀꢀꢀ
球冠中心
[0083]
26
ꢀꢀꢀꢀꢀ
旋转轴线
[0084]
27
ꢀꢀꢀꢀꢀ
转动环
[0085]
28
ꢀꢀꢀꢀꢀ
盖件
[0086]
29
ꢀꢀꢀꢀꢀ
弹簧薄片
[0087]
30
ꢀꢀꢀꢀꢀ
底部
[0088]
31
ꢀꢀꢀꢀꢀ
周边表面
[0089]
32
ꢀꢀꢀꢀꢀ
枢转支承件
[0090]
34
ꢀꢀꢀꢀꢀ
枢转轴线
[0091]
36
ꢀꢀꢀꢀꢀ
圆形本体
[0092]
37
ꢀꢀꢀꢀꢀ
圆形本体轴线
[0093]
38
ꢀꢀꢀꢀꢀ
另外的枢转支承件
[0094]
39
ꢀꢀꢀꢀꢀ
另外的圆形本体轴线
[0095]
40
ꢀꢀꢀꢀꢀ
另外的圆形本体
[0096]
42
ꢀꢀꢀꢀꢀ
子午面
[0097]
43
ꢀꢀꢀꢀꢀ
开口
[0098]
44
ꢀꢀꢀꢀꢀ
止挡部
[0099]
45
ꢀꢀꢀꢀꢀ
旋转支承件
[0100]
46
ꢀꢀꢀꢀꢀ
周向闭合的接纳部
[0101]
47
ꢀꢀꢀꢀꢀ
开口
[0102]
48
ꢀꢀꢀꢀꢀ
周向打开的接纳部
[0103]
49
ꢀꢀꢀꢀꢀ
箭头
[0104]
50
ꢀꢀꢀꢀꢀ
第一支承本体部分本体
[0105]
51、51
′
支承本体
[0106]
52
ꢀꢀꢀꢀꢀ
另外的支承本体部分本体
[0107]
53
ꢀꢀꢀꢀꢀ
另外的支承本体
[0108]
54
ꢀꢀꢀꢀꢀ
连结表面
[0109]
56
ꢀꢀꢀꢀꢀ
双头箭头
[0110]
62
ꢀꢀꢀꢀꢀ
处理设备
[0111]
64
ꢀꢀꢀꢀꢀ
基部
[0112]
66
ꢀꢀꢀꢀꢀ
旋转接头
[0113]
68
ꢀꢀꢀꢀꢀ
第一机械臂
[0114]
70
ꢀꢀꢀꢀꢀ
第二机械臂
[0115]
72
ꢀꢀꢀꢀꢀ
枢转接头
[0116]
74
ꢀꢀꢀꢀꢀ
另外的枢转接头
[0117]
76
ꢀꢀꢀꢀꢀ
第三机械臂
[0118]
78
ꢀꢀꢀꢀꢀ
旋转接头
[0119]
80
ꢀꢀꢀꢀꢀ
抓握工具
[0120]
82
ꢀꢀꢀꢀꢀ
计算机单元
[0121]
84
ꢀꢀꢀꢀꢀ
控制单元
[0122]
86
ꢀꢀꢀꢀꢀ
进给系统
[0123]rꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
球冠半径
[0124]dꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
距离