镀膜装置及其清洁方法与流程

1.本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种镀膜装置及其清洁方法。


背景技术：

2.目前，在显示面板的生产制程中，不可避免的使用到蒸发镀膜和/或真空溅射镀膜技术，在镀膜制程中，存在膜层开裂脱落、靶材回镀区大颗粒剥离、载具携带环境异物等各种原因造成镀膜制程中的腔室内异物增加，由于制程中的显示面板对异物(尤其是直径小于1微米的异物)的敏感性强，异物是造成显示面板的产品良率难以提升的主要原因之一。
3.因此，亟需一种镀膜装置及其清洁方法以解决上述技术问题。


技术实现要素：

4.本发明提供一种镀膜装置及其清洁方法，可以缓解目前由于显示面板在镀膜制程中由于腔室内存在异物造成的显示面板的良率难以提升的技术问题。
5.本发明提供一种镀膜装置，包括第一腔室，所述第一腔室包括设置于所述第一腔室的底部的异物凝聚组件以及异物吸附组件，所述异物吸附组件位于所述异物凝聚组件与所述第一腔室的侧壁之间，所述异物吸附组件与所述异物凝聚组件对应设置；
6.其中，所述异物凝聚组件凝聚所述第一腔室内的异物并使异物向所述第一腔室的侧壁移动，所述异物吸附组件吸附所述异物凝聚组件所凝聚的异物。
7.优选的，所述第一腔室还包括设置于所述第一腔室的底部的通气管道；
8.所述异物凝聚组件包括位于所述通气管道相对两侧的第一异物凝聚部件和第二异物凝聚部件；
9.所述异物吸附组件包括位于所述第一异物凝聚部件远离所述通气管道一侧的第一异物吸附部件以及位于所述第二异物凝聚部件远离所述通气管道一侧的第二异物吸附部件；
10.其中，所述第一异物吸附部件与所述第一异物凝聚部件对应设置，所述第二异物吸附部件与所述第二异物凝聚部件对应设置。
11.优选的，所述第一异物凝聚部件包括第一异物凝聚构件以及位于所述第一异物凝聚构件远离所述通气管道一侧的第二异物凝聚构件；
12.所述第二异物凝聚部件包括第三异物凝聚构件以及位于所述第三异物凝聚构件远离所述通气管道一侧的第四异物凝聚构件；
13.其中，沿所述第二异物凝聚构件向所述第一异物凝聚构件的方向上，所述第一异物凝聚构件与所述第一腔室的底部形成第一夹角，所述第二异物凝聚构件与所述第一腔室的底部形成第二夹角，所述第一夹角小于所述第二夹角；
14.沿所述第四异物凝聚构件向所述第三异物凝聚构件的方向上，所述第三异物凝聚构件与所述第一腔室的底部形成第三夹角，所述第四异物凝聚构件与所述第一腔室的底部形成第四夹角，所述第三夹角小于所述第四夹角。
15.优选的，所述第一异物凝聚部件还包括第五异物凝聚构件，所述第五异物凝聚构件位于所述第一异物凝聚构件与所述第二异物凝聚构件之间；
16.所述第二异物凝聚部件还包括第六异物凝聚构件，所述第六异物凝聚构件位于所述第三异物凝聚构件与所述第四异物凝聚构件之间；
17.其中，沿所述第二异物凝聚构件向所述第一异物凝聚构件的方向上，所述第五异物凝聚构件与所述第一腔室的底部形成第五夹角，所述第五夹角大于所述第一夹角且小于所述第二夹角；
18.沿所述第四异物凝聚构件向所述第三异物凝聚构件的方向上，所述第六异物凝聚构件与所述第一腔室的底部形成第六夹角，所述第六夹角大于所述第三夹角且小于所述第四夹角。
19.优选的，所述第一异物凝聚构件形成第一异物凝聚区，所述第二异物凝聚构件形成第二异物凝聚区，所述第五异物凝聚构件形成第五异物凝聚区；
20.所述第三异物凝聚构件形成第三异物凝聚区，所述第四异物凝聚构件形成第四异物凝聚区，所述第六异物凝聚构件形成第六异物凝聚区；
21.其中，所述第五异物凝聚区分别与所述第一异物凝聚区以及所述第二异物凝聚区交叠，所述第六异物凝聚区分别与所述第三异物凝聚区以及所述第四异物凝聚区交叠。
22.优选的，所述第一异物吸附部件包括位于远离所述第一腔室的底部的一端的第一异物吸附构件，所述第二异物吸附部件包括位于远离所述第一腔室的底部的一端的第二异物吸附构件；
23.其中，所述第一异物吸附构件至少部分位于所述第二异物凝聚区内，所述第二异物吸附构件至少部分位于所述第四异物凝聚区内。
24.优选的，所述第一异物凝聚构件包括第一震动发生部，所述第二异物凝聚构件包括第二震动发生部，所述第五异物凝聚构件包括第五震动发生部；
25.所述第三异物凝聚构件包括第三震动发生部，所述第四异物凝聚构件包括第四震动发生部，所述第六异物凝聚构件包括第六震动发生部；
26.其中，所述第一震动发生部、所述第五震动发生部以及所述第二震动发生部的震动频率依次降低，所述第三震动发生部、所述第六震动发生部以及所述第四震动发生部的震动频率依次降低。
27.优选的，所述第一腔室还包括设置于所述第一腔室的侧壁的异物清除组件，所述异物吸附组件吸附的异物通过所述异物清除组件排出所述第一腔室。
28.本发明还提供一种镀膜装置的清洁方法，包括：
29.开启第一异物凝聚构件以及第三异物凝聚构件；
30.开启第五异物凝聚构件以及第六异物凝聚构件并关闭所述第一异物凝聚构件以及所述第三异物凝聚构件；
31.开启第二异物凝聚构件以及第四异物凝聚构件并关闭所述第五异物凝聚构件以及所述第六异物凝聚构件；
32.开启异物吸附组件并关闭所述第二异物凝聚构件以及所述第四异物凝聚构件；
33.其中，所述异物吸附组件吸附所述第二异物凝聚构件以及所述第四异物凝聚构件所凝聚的异物。
34.优选的，所述开启异物吸附组件并关闭所述第二异物凝聚构件以及所述第四异物凝聚构件的步骤后，还包括：
35.开启异物清除组件并关闭所述异物吸附组件。
36.本发明通过异物凝聚组件将第一腔室内的异物凝聚并使异物向第一腔室的侧壁的方向移动，异物吸附组件吸附异物凝聚组件凝聚并向第一腔室的侧壁移动而来的异物，减少了分散于第一腔室内的异物，降低了异物对制程中的显示面板的影响，提高了显示面板的产品良率。
附图说明
37.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
38.图1是本发明实施例提供的镀膜装置的第一种结构示意图；
39.图2是本发明实施例提供的镀膜装置的第二种结构示意图；
40.图3是本发明实施例提供的镀膜装置的第三种结构示意图；
41.图4是本发明实施例提供的镀膜装置的第四种结构示意图；
42.图5是本发明实施例提供的镀膜装置的第五种结构示意图；
43.图6是本发明实施例提供的镀膜装置的第六种结构示意图；
44.图7是本发明实施例提供的镀膜装置的第七种结构示意图；
45.图8是本发明实施例提供的镀膜装置的第八种结构示意图；
46.图9是本发明实施例提供的镀膜装置的清洁方法的流程图。
具体实施方式
47.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。
48.目前，由于在显示面板的镀膜制程中对腔室内异物的高敏感性，腔室内的异物导致了显示面板的产品良率存在难以提升的问题。
49.请参阅图1～图8，本发明实施例提供了一种镀膜装置100，包括：第一腔室101，所述第一腔室101包括设置于所述第一腔室101的底部的异物凝聚组件102以及异物吸附组件103，所述异物吸附组件103位于所述异物凝聚组件102与所述第一腔室101的侧壁之间，所述异物吸附组件103与所述异物凝聚组件102对应设置。
50.其中，所述异物凝聚组件102凝聚所述第一腔室101内的异物并使异物向所述第一腔室101的侧壁移动，所述异物吸附组件103吸附所述异物凝聚组件102所凝聚的异物。
51.本发明通过异物凝聚组件将第一腔室内的异物凝聚并使异物向第一腔室的侧壁
的方向移动，异物吸附组件吸附异物凝聚组件凝聚并向第一腔室的侧壁移动而来的异物，减少了分散于第一腔室内的异物，降低了异物对制程中的显示面板的影响，提高了显示面板的产品良率。
52.现结合具体实施例对本发明的技术方案进行描述。
53.请参阅图1以及图2，本实施例中，所述第一腔室101还包括设置于所述第一腔室101的底部的通气管道104；
54.所述异物凝聚组件102包括位于所述通气管道104相对两侧的第一异物凝聚部件105和第二异物凝聚部件106；
55.所述异物吸附组件103包括位于所述第一异物凝聚部件105远离所述通气管道104一侧的第一异物吸附部件107以及位于所述第二异物凝聚部件106远离所述通气管道104一侧的第二异物吸附部件108；
56.其中，所述第一异物吸附部件107与所述第一异物凝聚部件105对应设置，所述第二异物吸附部件108与所述第二异物凝聚部件106对应设置。
57.所述通气管道104用于向所述第一腔室101内通入惰性气体，如氩气或者氮气等，所述通气管道104可以包括连接所述惰性气体气源的主管道，靠近所述第一异物凝聚部件105一侧的第一通气管道、靠近所述第二异物凝聚部件106一侧的第二通气管道，以及连接所述第一通气管道与所述第二通气管道的连接管道，所述连接管道可以平行于所述第一腔室101的底部设置。
58.所述镀膜装置100还包括位于所述第一通气管道与所述第二通气管道之间的材料源，所述材料源用于显示面板在镀膜制程中提供材料。
59.所述镀膜装置100包括成膜区以及环绕所述成膜区的边缘区，所述异物吸附组件103位于所述边缘区内。
60.所述第一腔室101包括位于所述第一异物吸附部件107远离所述通气管道104一侧的第一侧壁以及位于所述第二异物吸附部件108远离所述通气管道104一侧的第二侧壁。
61.所述边缘区远离所述第一腔室101的侧壁的一侧与所述第一腔室101的侧壁的最小间距，即沿垂直于所述第一腔室101的侧壁方向上，所述边缘区的宽度小于或等于20厘米。
62.即，所述第一异物吸附部件107与所述第一侧壁的垂直间距小于或等于20厘米，所述第二异物吸附部件108与所述第二侧壁的垂直间距小于或等于20厘米。
63.将所述异物吸附组件103设置于所述边缘区，在利用所述异物吸附组件103吸附所述第一腔室101内的异物的同时，将异物固定在所述边缘区，既减少了异物在显示面板的镀膜制程中对所述成膜区内的显示面板造成干扰，又避免了所述异物吸附组件103对所述成膜区内的显示面板的镀膜制程造成干扰。
64.所述异物凝聚组件102位于所述通气管道104与所述第一腔室101的侧壁之间的区域内，即，所述第一异物凝聚部件105远离所述第一侧壁的一侧与所述第一侧壁之间的垂直间距小于或等于60厘米，所述第二异物凝聚部件106远离所述第二侧壁的一侧与所述第二侧壁之间的垂直间距小于或等于60厘米。
65.通过所述异物凝聚组件102设置于所述通气管道104与所述第一腔室101的侧壁之间的区域内，有利于将所述第一腔室101内的异物凝聚并逐步转移至位于所述边缘区的所
述异物吸附组件103，即将异物凝聚并转移至所述第一腔室101的所述边缘区，减少了异物在显示面板的镀膜制程中对所述成膜区内的显示面板造成干扰。
66.同时，所述第一异物凝聚部件105靠近所述第一侧壁的一侧与所述第一侧壁之间的间距大于所述第一异物吸附部件107与所述第一侧壁之间的间距，所述第二异物凝聚部件106靠近所述第二侧壁的一侧与所述第二侧壁之间的间距大于所述第二异物吸附部件108与所述第二侧壁之间的间距。
67.将所述第一异物吸附部件107与所述第一异物凝聚部件105对应设置，并将所述第一异物吸附部件107设置于所述第一异物凝聚部件105与所述第一侧壁之间，所述第二异物吸附部件108与所述第二异物凝聚部件106对应设置，并将所述第二异物吸附部件108设置于所述第二异物凝聚部件106与所述第二侧壁之间，有利于所述第一异物凝聚部件105、所述第二异物凝聚部件106将所述第一腔室101内更广范围内的异物进行凝聚并最终转移至所述第一异物吸附部件107、所述第二异物吸附部件108。
68.在一些实施例中，所述异物吸附组件103吸附的来自所述异物凝聚组件102的异物的平均直径大于1微米，即经所述异物凝聚组件102的凝聚作用后的所述第一腔室101内的异物，平均直径增加，并最终大于1微米，有利于减少所述第一腔室101内直径小于1微米的异物，提高了显示面板的产品良率；同时，由于显示面板的制程工艺中，1微米以上的异物可以被检出并修补，更进一步的提升了显示面板的修补成功率从而提高了显示面板的产品良率。
69.请参阅图1、图3～图4以及图6，在一些实施例中，所述第一异物凝聚部件105包括第一异物凝聚构件109以及位于所述第一异物凝聚构件109远离所述通气管道104一侧的第二异物凝聚构件110。
70.所述第二异物凝聚部件106包括第三异物凝聚构件111以及位于所述第三异物凝聚构件111远离所述通气管道104一侧的第四异物凝聚构件112。
71.所述第一异物吸附部件107与所述第二异物凝聚构件110对应设置，所述第二异物吸附部件108与所述第四异物凝聚构件112对应设置。
72.其中，沿所述第二异物凝聚构件110向所述第一异物凝聚构件109的方向上，所述第一异物凝聚构件109与所述第一腔室101的底部形成第一夹角θ1，所述第二异物凝聚构件110与所述第一腔室101的底部形成第二夹角θ2，所述第一夹角θ1小于所述第二夹角θ2。
73.沿所述第四异物凝聚构件112向所述第三异物凝聚构件111的方向上，所述第三异物凝聚构件111与所述第一腔室101的底部形成第三夹角θ3，所述第四异物凝聚构件112与所述第一腔室101的底部形成第四夹角θ4，所述第三夹角θ3小于所述第四夹角θ4。
74.所述第一夹角θ1、所述第三夹角θ3可以为40至70度，所述第二夹角θ2、所述第四夹角θ4可以为70至90度，通过所述第一夹角θ1、所述第二夹角θ2的逐步提升，以及所述第三夹角θ3、所述第四夹角θ4的逐步提升，有利于扩大所述第一异物凝聚部件105、所述第二异物凝聚部件106的异物凝聚范围，并有利于将所述第一腔室101内的异物逐步引导至所述第一异物吸附部件107和所述第二异物吸附部件108。
75.所述第一异物凝聚构件109形成第一异物凝聚区s1，所述第二异物凝聚构件110形成第二异物凝聚区s2，所述第三异物凝聚构件111形成第三异物凝聚区s3，所述第四异物凝聚构件112形成第四异物凝聚区s4。
76.所述第一异物凝聚区s1和所述第二异物凝聚区s2交叠，所述第三异物凝聚区s3和所述第四异物凝聚区s4交叠。通过所述第一异物凝聚区s1与所述第二异物凝聚区s2的交叠，所述第三异物凝聚区s3与所述第四异物凝聚区s4的交叠，有利于所述第一异物凝聚构件109凝聚的异物向所述第二异物凝聚区s2转移并经过所述第二异物凝聚构件110再次进行凝聚，以及所述第三异物凝聚构件111凝聚的异物向所述第四异物凝聚区s4转移并经过所述第四异物凝聚构件112再次进行凝聚。
77.所述第一异物吸附部件107包括位于远离所述第一腔室101的底部的一端的第一异物吸附构件115，以及位于靠近所述第一腔室101的底部的一端的第一固定构件；所述第二异物吸附部件108包括位于远离所述第一腔室101的底部的一端的第二异物吸附构件116，以及位于靠近所述第一腔室101的底部的一端的第二固定构件。
78.所述第一异物吸附构件115至少部分位于所述第二异物凝聚区s2内，所述第二异物吸附构件116至少部分位于所述第四异物凝聚区s4内，有利于所述第一异物吸附构件115对所述第二异物凝聚区s2内的异物的直接吸附，以及所述第二异物吸附构件116对所述第四异物凝聚区s4内的异物的直接吸附，提高所述第一异物吸附部件107、所述第二异物吸附部件108对异物的吸附率。
79.所述第一异物吸附构件115可以包括第一金属线圈，所述第一固定构件用于固定所述第一金属线圈并连接电源，所述第二异物吸附构件116可以包括第二金属线圈，所述第二固定构件用于固定所述第二金属线圈并连接电源；所述电源可以为直流稳压电源，用于为所述第一金属线圈、所述第二金属线圈提供电流以使所述第一金属线圈、所述第二金属线圈产生电磁性从而吸附异物。所述第一金属线圈包括第一连接部和第一线圈部，所述第二金属线圈包括第二连接部和第二线圈部；所述第一连接部连接所述第一线圈部和所述第一固定构件，所述第二连接部连接所述第二线圈部和所述第二固定构件，所述第一连接部、所述第二连接部可以为金属直杆，在起到连接作用的同时支撑所述第一线圈部和所述第二线圈部。所述第一线圈部至少部分位于所述第二异物凝聚区s2内，所述第二线圈部至少部分位于第四异物凝聚区s4内；优选的，所述第一线圈部位于所述第二异物凝聚区s2内，所述第二线圈部位于第四异物凝聚区s4内，更有利于提高所述第一线圈部以及所述第二线圈部的异物吸附效率，从而减少所述第一腔室101内的异物。
80.所述第一异物凝聚构件109包括第一震动发生部，所述第二异物凝聚构件110包括第二震动发生部；所述第三异物凝聚构件111包括第三震动发生部，所述第四异物凝聚构件112包括第四震动发生部。所述第一异物凝聚构件109、所述第二异物凝聚构件110、所述第三异物凝聚构件111、所述第四异物凝聚构件112可以为声波发生器，此时，所述第一震动发生部、所述第二震动发生部、所述第三震动发生部、所述第四震动发生部产生的是声波，声波带动所述第一腔室101内的气体震动，所述第一腔室101内的异物在声波的驻波波腹处聚集并凝聚。并且，当所述第一异物凝聚构件109、所述第二异物凝聚构件110、所述第三异物凝聚构件111、所述第四异物凝聚构件112为声波发生器时，所述第一异物凝聚构件109、所述第二异物凝聚构件110、所述第三异物凝聚构件111、所述第四异物凝聚构件112分别开启时，所述第一腔室101内的异物分别在所述第一异物凝聚区s1、所述第二异物凝聚区s2、所述第三异物凝聚区s3、所述第四异物凝聚区s4聚集并凝聚。
81.由于不同震动频率对不同粒径的异物的振幅不同，更高频率的声波对小粒径颗粒
聚集更为有效，更低频率对大粒径颗粒聚集更为有效，因此，所述第一震动发生部的震动频率大于所述第二震动发生部的震动频率，所述第三震动发生部的震动频率大于所述第四震动发生部的震动频率，以使所述第一腔室101内的小粒径异物在向所述第一腔室101的侧壁移动的同时，不断增大异物的粒径，增加所述第一腔室101内粒径大于1微米的异物并减少粒径小于1微米的异物，有利于提高显示面板制程中的修补成功率并进一步提高显示面板的产品良率。优选的，所述第一震动发生部、所述第四震动发生部的震动频率可以为20至13千赫兹，所述第二震动发生部、所述第四震动发生部的震动频率可以为1至13千赫兹。
82.当所述第一震动发生部、所述第二震动发生部、所述第三震动发生部、所述第四震动发生部产生的是声波时，所述第一异物凝聚区s1、所述第二异物凝聚区s2、所述第三异物凝聚区s3、所述第四异物凝聚区s4均为圆锥状区域，且所述第一异物凝聚区s1、所述第二异物凝聚区s2、所述第三异物凝聚区s3、所述第四异物凝聚区s4的顶角分别位于所述第一异物凝聚区s1靠近所述第一震动发生部的一侧、所述第二异物凝聚区s2靠近所述第二震动发生部的一侧、所述第三异物凝聚区s3靠近所述第三震动发生部的一侧、所述第四异物凝聚区s4靠近所述第四震动发生部的一侧。
83.所述第一异物凝聚区s1具有第一对称轴，所述第二异物凝聚区s2具有第二对称轴，所述第三异物凝聚区s3具有第三对称轴，所述第四异物凝聚区s4具有第四对称轴，所述第一线圈部沿第一中轴螺旋延伸，所述第二线圈部沿第二中轴螺旋延伸，所述第一中轴与所述第二对称轴平行，所述第二中轴与所述第四对称轴平行，有利于增大所述第一线圈部与所述第二异物凝聚区s2的交叠面积以及所述第二线圈部与所述第四异物凝聚区s4的交叠面积，提高所述第一异物吸附构件115、所述第二异物吸附构件116对异物的吸附效率。优选的，所述第一中轴与所述第二对称轴重合，所述第二中轴与所述第四对称轴重合，有利于最大化所述第一线圈部与所述第二异物凝聚区s2的交叠面积以及所述第二线圈部与所述第四异物凝聚区s4的交叠面积。
84.为了实现所述第一中轴与所述第二对称轴的平行以及所述第二中轴与所述第四对称轴的平行，在第一方向上，所述第一异物吸附部件107与所述第一腔室101的底部形成的第七夹角与所述第二夹角θ2相同，所述第二异物吸附部件108与所述第一腔室101的底部形成的第八夹角与所述第四夹角θ4相同，所述第一方向平行于所述第一腔室101的底部。
85.请参阅图2～图8，在一些实施例中，所述第一异物凝聚部件105还包括第五异物凝聚构件113，所述第五异物凝聚构件113位于所述第一异物凝聚构件109与所述第二异物凝聚构件110之间。
86.所述第二异物凝聚部件106还包括第六异物凝聚构件114，所述第六异物凝聚构件114位于所述第三异物凝聚构件111与所述第四异物凝聚构件112之间。
87.其中，沿所述第二异物凝聚构件110向所述第一异物凝聚构件109的方向上，所述第五异物凝聚构件113与所述第一腔室101的底部形成第五夹角θ5，所述第五夹角θ5大于所述第一夹角θ1且小于所述第二夹角θ2。
88.沿所述第四异物凝聚构件112向所述第三异物凝聚构件111的方向上，所述第六异物凝聚构件114与所述第一腔室101的底部形成第六夹角θ6，所述第六夹角θ6大于所述第三夹角θ3且小于所述第四夹角θ4。
89.通过在所述第一异物凝聚构件109和所述第二异物凝聚构件110之间加设所述第
五异物凝聚构件113，且所述第五夹角θ5大于所述第一夹角θ1小于所述第二夹角θ2，在所述第三异物凝聚构件111和所述第四异物凝聚构件112之间加设所述第六异物凝聚构件114，且所述第六夹角θ6大于所述第三夹角θ3小于所述第四夹角θ4，使所述第一夹角θ1、所述第五夹角θ5、所述第二夹角θ2的大小逐步提升，以及所述第三夹角θ3、所述第六夹角θ6、所述第四夹角θ4的逐步提升，有利于进一步扩大所述异物凝聚部件、所述第二异物凝聚部件106的异物凝聚范围，并有利于将所述第一腔室101内的异物更有效地逐步引导至所述第一异物吸附部件107和所述第二异物吸附部件108。
90.当所述第一异物凝聚部件105加设所述第五异物凝聚构件113，所述第二异物凝聚部件106加设所述第六异物凝聚构件114时，所述第一夹角θ1、所述第三夹角θ3的范围优选为40～50度，所述第五夹角θ5、所述第六夹角θ6的范围优选为60～70度，所述第二夹角θ2、所述第四夹角θ4的范围优选为80～90度，以实现将所述第一腔室101内的异物更连续且充分地逐步引导至所述第一异物吸附部件107和所述第二异物吸附部件108。
91.所述第五异物凝聚构件113形成第五异物凝聚区，所述第六异物凝聚构件114形成第六异物凝聚区，此时，所述第五异物凝聚区分别与所述第一异物凝聚区s1以及所述第二异物凝聚区s2交叠，所述第六异物凝聚区分别与所述第三异物凝聚区s3以及所述第四异物凝聚区s4交叠，所述第一异物凝聚区s1与所述第二异物凝聚区s2可以交叠也可以不交叠，所述第三异物凝聚区s3与所述第四异物凝聚区s4可以交叠也可以不交叠。通过所述第五异物凝聚区分别与所述第一异物凝聚区s1以及所述第二异物凝聚区s2的交叠，所述第六异物凝聚区分别与所述第三异物凝聚区s3以及所述第四异物凝聚区s4的交叠，有利于所述第一异物凝聚构件109凝聚的异物向所述第二异物凝聚区s2的转移并经过所述第二异物凝聚构件110、所述第五异物凝聚构件113的多次凝聚，以及所述第三异物凝聚构件111凝聚的异物向所述第四异物凝聚区s4转移并经过所述第四异物凝聚构件112、所述第六异物凝聚构件114的多次凝聚。
92.所述第五异物凝聚构件113包括第五震动发生部，所述第六异物凝聚构件114包括第六震动发生部，所述第一震动发生部、所述第五震动发生部以及所述第二震动发生部的震动频率依次降低，所述第三震动发生部、所述第六震动发生部以及所述第四震动发生部的震动频率依次降低。
93.所述第五异物凝聚构件113、所述第六异物凝聚构件114可以为声波发生器，此时，所述第五震动发生部、所述第六震动发生部产生的是声波，声波带动所述第一腔室101内的气体震动，所述第一腔室101内的异物在声波的驻波波腹处聚集并凝聚。并且，当所述第五异物凝聚构件113、所述第六异物凝聚构件114为声波发生器时，所述第五异物凝聚构件113、所述第六异物凝聚构件114分别开启时，所述第一腔室101内的异物分别在所述第五异物凝聚区、所述第六异物凝聚区聚集并凝聚。
94.由于不同震动频率对不同粒径的异物的振幅不同，更高频率的声波对小粒径颗粒聚集更为有效，更低频率对大粒径颗粒聚集更为有效，因此，所述第一震动发生部、所述第五震动发生部、所述第二震动发生部的震动频率依次降低，所述第三震动发生部的震动频率、所述第六震动发生部、所述第四震动发生部的震动频率依次降低，有利于使所述第一腔室101内的小粒径异物在向所述第一腔室101的侧壁移动的同时，不断增大异物的粒径，增加所述第一腔室101内粒径大于1微米的异物并减少粒径小于1微米的异物，提高显示面板
制程中的修补成功率并进一步提高显示面板的产品良率。优选的，所述第一震动发生部、所述第四震动发生部的震动频率可以为15～20千赫兹，所述第五震动发生部、所述第六震动发生部的震动频率可以为8～13千赫兹，所述第二震动发生部、所述第四震动发生部的震动频率可以为1～5千赫兹。
95.当所述第五震动发生部、所述第六震动发生部产生的是声波时，所述第五异物凝聚区、所述第六异物凝聚区为圆锥状区域，所述第五异物凝聚区、所述第六异物凝聚区的顶角分别位于所述第五异物凝聚区靠近所述第五震动发生部的一侧、所述第六异物凝聚区靠近所述第六震动发生部的一侧。
96.请参阅图1以及图2，在一些实施例中，所述第一腔室101还包括设置于所述第一腔室101的侧壁的异物清除组件117，所述异物吸附组件103吸附的异物通过所述异物清除组件117排出所述第一腔室101。
97.所述异物清除组件117可以包括涡轮分子泵，用于通过真空吸力将异物排出所述第一腔室101。
98.所述异物清除组件117可以设置于所述第一腔室101的侧壁。所述异物清除组件117可以与所述异物吸附组件103对应设置。
99.当所述异物清除组件117与所述异物吸附组件103对应设置时，所述异物吸附组件103吸附所述异物凝聚组件102凝聚的异物后，可以立即关闭所述异物吸附组件103并开启所述异物清除组件117，以使所述异物吸附组件103原本吸附的异物即刻排出所述第一腔室101。
100.由于所述异物清除组件117在清除异物时可能产生气流扰动问题，所述异物清除组件117不与所述异物吸附组件103对应设置，此时，所述异物吸附组件103吸附所述异物凝聚组件102凝聚的异物后，所述异物吸附组件103需要一直保持对异物的吸附，直至所述镀膜装置100进入设备维护阶段，并在设备维护阶段关闭所述异物吸附组件103并开启所述异物清除组件117，以使所述异物吸附组件103原本吸附的异物排出所述第一腔室101。
101.本发明实施例公开了一种镀膜装置100，通过所述异物凝聚组件102将所述第一腔室101内的异物凝聚并使异物向所述第一腔室101的侧壁的方向移动，所述异物吸附组件103吸附所述异物凝聚组件102凝聚并向第一腔室101的侧壁移动而来的异物，减少了分散于所述第一腔室101内的异物，降低了异物对制程中的显示面板的影响，提高了显示面板的产品良率。
102.请参阅图9，本发明实施例还提供了一种镀膜装置的清洁方法，包括：
103.s100、开启第一异物凝聚构件109以及第三异物凝聚构件111。
104.在一些实施例中，步骤s100包括：
105.s101、向所述镀膜装置的第一腔室101内通入惰性气体。
106.所述第一腔室101包括设置于所述第一腔室101的底部的通气管道104，所述惰性气体通过所述通气管道104通入所述第一腔室101内。
107.s102、开启所述第一异物凝聚构件109以及所述第三异物凝聚构件111。
108.所述第一异物凝聚构件109、所述第三异物凝聚构件111分别形成有第一异物凝聚区s1、第三异物凝聚区s3，开启所述第一异物凝聚构件109、所述第三异物凝聚构件111后所述第一腔室101内的异物向所述第一异物凝聚区s1、所述第三异物凝聚区s3聚集并凝聚。
109.s200、开启第五异物凝聚构件113以及第六异物凝聚构件114并关闭所述第一异物凝聚构件109以及所述第三异物凝聚构件111。
110.所述第五异物凝聚构件113、所述第六异物凝聚构件114开启后，分别形成第五异物凝聚区、第六异物凝聚区，所述第五异物凝聚区与所述第一异物凝聚区s1交叠以使位于所述第一异物凝聚区s1内的异物自所述第一异物凝聚区s1移动至所述第五异物凝聚区并继续凝聚，所述第六异物凝聚区与所述第三异物凝聚区s3交叠以使位于所述第三异物凝聚区s3内的异物自所述第三异物凝聚区s3移动至所述第六异物凝聚区并继续凝聚。
111.所述第五异物凝聚构件113的开启与所述第一异物凝聚构件109的关闭可以同时进行或者所述第五异物凝聚构件113可以先行开启一段时间后所述第一异物凝聚构件109关闭；所述第六异物凝聚构件114的开启与所述第三异物凝聚构件111的关闭可以同时进行或者所述第六异物凝聚构件114可以先行开启一段时间后所述第三异物凝聚构件111关闭。
112.s300、开启第二异物凝聚构件110以及第四异物凝聚构件112并关闭所述第五异物凝聚构件113以及所述第六异物凝聚构件114。
113.所述第二异物凝聚构件110和所述第四异物凝聚构件112开启后，分别形成第二异物凝聚区s2和第四异物凝聚区s4，所述第五异物凝聚区与所述第二异物凝聚区s2交叠以使位于所述第五异物凝聚区内的异物自所述第五异物凝聚区移动至所述第二异物凝聚区s2并继续凝聚，所述第六异物凝聚区与所述第四异物凝聚区s4交叠以使位于所述第六异物凝聚区内的异物自所述第六异物凝聚区移动至所述第四异物凝聚区s4并继续凝聚。
114.所述第二异物凝聚构件110的开启与所述第五异物凝聚构件113的关闭可以同时进行或者所述第二异物凝聚构件110可以先行开启一段时间后所述第五异物凝聚构件113关闭；所述第四异物凝聚构件112的开启与所述第六异物凝聚构件114的关闭可以同时进行或者所述第四异物凝聚构件112可以先行开启一段时间后所述第六异物凝聚构件114关闭。
115.s400、开启异物吸附组件并关闭所述第二异物凝聚构件110以及所述第四异物凝聚构件112。
116.其中，所述异物吸附组件103吸附所述第二异物凝聚构件110以及所述第四异物凝聚构件112所凝聚的异物。
117.所述异物吸附组件103包括与所述第二异物凝聚构件110对应设置的第一异物凝聚部件105以及与所述第四异物凝聚构件112对应设置的第二异物吸附部件108。
118.所述第一异物吸附部件107的开启与所述第二异物凝聚构件110的关闭可以同时进行，或者所述第一异物吸附部件107可以先行开启一段时间后在关闭所述第二异物凝聚构件110，从而使所述第二异物凝聚构件110凝聚的异物被所述第一异物吸附部件107吸附；所述第二异物吸附部件108的开启与所述第四异物凝聚构件112的关闭可以同时进行，或者所述第二异物吸附部件108可以先行开启一段时间后在关闭所述第四异物凝聚构件112，从而使所述第四异物凝聚构件112凝聚的异物被所述第二异物吸附部件108吸附。
119.所述第一异物凝聚构件109、所述第二异物凝聚构件110、所述第三异物凝聚构件111。所述第四异物凝聚构件112、所述第五异物凝聚构件113、所述第六异物凝聚构件114以及所述异物吸附组件103的具体结构、位置等内容均已在前述镀膜装置中进行描述，在此不再过多赘述。
120.在一些实施例中，所述开启异物吸附组件并关闭所述第二异物凝聚构件110以及
所述第四异物凝聚构件112的步骤后，还包括：
121.s500、开启异物清除组件117并关闭所述异物吸附组件103。
122.在一些实施例中，所述异物清除组件117的开启与所述异物吸附组件103的关闭可以同时进行，或者所述异物清除组件117可以先行开启一段时间后再关闭所述异物吸附组件103，从而使所述异物吸附组件103所吸附的异物排除所述第一腔室101。
123.步骤s500可以在步骤s400完成后立即进行，也可以在所述镀膜装置处于设备维护阶段时进行。
124.所述异物清除组件117的结构、位置等内容均已在前述镀膜装置中进行描述，在此不再过多赘述。
125.本发明实施例公开的镀膜装置的清洁方法，通过所述异物凝聚构件、所述第二异物凝聚构件110、所述第三异物凝聚构件111。所述第四异物凝聚构件112、所述第五异物凝聚构件113、所述第六异物凝聚构件114将所述第一腔室101内的异物凝聚并使异物向所述第一腔室101的侧壁的方向移动，所述异物吸附组件103吸附所述第二异物凝聚构件110、所述第四异物凝聚构件112凝聚并向第一腔室101的侧壁移动而来的异物，减少了分散于所述第一腔室101内的异物，降低了异物对制程中的显示面板的影响，提高了显示面板的产品良率。
126.本发明实施例公开了一种镀膜装置及其清洁方法。该镀膜装置包括：第一腔室，该第一腔室包括设置于该第一腔室的底部的异物凝聚组件以及异物吸附组件，该异物吸附组件位于该异物凝聚组件与该第一腔室的侧壁之间，该异物吸附组件与该异物凝聚组件对应设置。该异物凝聚组件凝聚该第一腔室内的异物并使异物向该第一腔室的侧壁移动，该异物吸附组件吸附该异物凝聚组件所凝聚的异物。本发明通过异物凝聚组件将第一腔室内的异物凝聚并使异物向第一腔室的侧壁的方向移动，异物吸附组件吸附异物凝聚组件凝聚并向第一腔室的侧壁移动而来的异物，减少了分散于第一腔室内的异物，降低了异物对制程中的显示面板的影响，提高了显示面板的产品良率。
127.以上对本发明实施例所提供的一种镀膜装置及其清洁方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。