一种磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具及装夹方法与流程

1.本发明涉及磁控溅射技术领域，尤其是涉及一种磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具及装夹方法。


背景技术：

2.现有的薄壁形圆筒工件内壁镀膜时，由于薄壁形圆筒工件重量轻，壁厚较小，装夹时易使其变形；薄壁圆筒形工件装夹时不易保证和中心柱靶的同轴度；磁控溅射过程中存在一定的绕镀性，对薄壁圆筒工件外壁造成污染，镀膜之前需要采用锡纸等材料对工件外壁进行遮挡，操作流程较为繁琐。因此设计了一种便于拆卸、安装、装夹的专用夹具，能够有效地减少安装过程对薄壁圆筒形工件结构的损坏，保证其与柱靶良好的同轴度，同时也能够对外壁起到良好的遮挡，减少人员工作量，提高工作效率。


技术实现要素：

3.本发明的第一目的在于提供一种磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具，该夹具便于拆卸、安装、装夹，能够有效地减少安装过程对薄壁圆筒形工件结构的损坏，保证其与柱靶良好的同轴度，同时也能够对外壁起到良好的遮挡，减少人员工作量，提高工作效率。
4.本发明为实现第一目的，提供了一种磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具，包括：夹具底盖、夹具筒体和夹具法兰；所述夹具法兰安装于所述夹具筒体的上端；所述夹具底盖安装于所述夹具筒体的下端；所述夹具底盖下端面设有中心通孔，所述中心通孔的直径小于所述夹具底盖下端面的直径。
5.优选的，所述夹具底盖下端面边缘部位设置有用于支撑薄壁圆筒工件的突出结构。
6.优选的，所述突出结构的厚度小于夹具底盖下端面的厚度。
7.优选的，所述夹具筒体的下部与所述夹具底盖螺纹连接。
8.优选的，所述夹具筒体的下部外壁设置有外螺纹；所述夹具底盖的内壁设置有与外螺纹相匹配的内螺纹。
9.优选的，所述夹具底盖的外壁设置有防滑网纹。
10.优选的，所述夹具法兰的中心设置有法兰安装孔，所述法兰安装孔套装在夹具筒体的上端。
11.优选的，所述夹具法兰的四周均匀设置有若干个法兰支腿，所述法兰支腿上设置有螺栓孔。
12.优选的，所述法兰支腿的数量为三个；相邻所述法兰支腿的中线之间的夹角为120
°
。
13.本发明的第二目的在于提供一种上述的磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具的装夹方法，该方法便于拆卸、安装、装夹，能够有效地减少安装过程对薄壁圆筒形工件结构的损坏变形，保证其与柱靶良好的同轴度，同时也能够对外壁起到良好的遮挡，减少人员工作
量，提高工作效率。
14.本发明为实现第二目的，提供了一种磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具的装夹方法，包括如下步骤：
15.s1、将夹具法兰连接在夹具筒体的上端；
16.s2、将夹具法兰固定在镀膜装置上；
17.s3、将薄壁圆筒工件由下至上推入夹具筒体内；
18.s4、将夹具底盖与夹具筒体连接。
19.有益效果：
20.本发明的技术方案通过夹具法兰将整体夹具固定在镀膜装置上，将薄壁圆筒工件推入夹具筒体之内，并落在夹具底盖的下端面上，从而实现对磁控溅射用薄壁圆筒工件的装夹。薄壁圆筒工件的侧壁方向不受力，能够有效地减少安装过程对薄壁圆筒形工件结构的损坏；夹具筒体可以保证薄壁圆筒工件的同轴度，只需要在第一次镀膜时调整好夹具的同轴度，之后镀膜过程就能够保证薄壁圆筒工件较好的同轴度；夹具筒体将薄壁圆筒工件的外壁完全包裹，保证镀膜过程中薄壁圆筒工件的外壁不受靶材原子的绕镀，减少人员的工作量。
附图说明
21.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本发明磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具剖视图；
23.图2为本发明磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具底盖剖视图；
24.图3为本发明磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具筒体剖视图；
25.图4为本发明磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具法兰俯视图；
26.图5为本发明磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具法兰剖视图；
27.附图标记说明：1：夹具底盖；2：夹具筒体：3：夹具法兰；4：中心通孔；5：突出结构；6：法兰安装孔；7：法兰支腿；8：螺栓孔。
具体实施方式
28.下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
29.在本发明的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、"水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
30.此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。此外，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
31.如图1-5所示，本实施例提供一种磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具，包括：夹具底盖1、夹具筒体2和夹具法兰3；夹具法兰3安装于夹具筒体2的上端；夹具底盖1安装于夹具筒体2的下端；夹具底盖1的下端面设有中心通孔4，中心通孔4的直径小于夹具底盖1的下端面的直径。
32.夹具法兰3将整体夹具固定在镀膜装置上，将薄壁圆筒工件推入夹具筒体2之内，并落在夹具底盖1的下端面上，从而实现对磁控溅射用薄壁圆筒工件的装夹。薄壁圆筒工件的侧壁方向不受力，能够有效地减少安装过程对薄壁圆筒形工件结构的损坏；夹具筒体2可以保证薄壁圆筒工件的同轴度，只需要在第一次镀膜时调整好夹具的同轴度，之后镀膜过程就能够保证薄壁圆筒工件较好的同轴度；夹具筒体2的尺寸根据薄壁圆筒工件的尺寸设计，可以将薄壁圆筒工件的外壁完全包裹，保证镀膜过程中薄壁圆筒工件外壁不受靶材原子的绕镀，减少人员的工作量。
33.优选的，夹具筒体2的壁厚可以根据实际需求设计，例如：本实施例中夹具筒体2的壁厚为3mm，不易发生变形。
34.本实施例中，夹具底盖1下端面边缘部位设置有用于支撑薄壁圆筒工件的突出结构5，能够更加稳定的支撑薄壁圆筒工件，保证薄壁圆筒工件较好的同轴度。
35.本实施例中，突出结构5的厚度小于夹具底盖1下端面的厚度。
36.本实施例中，夹具筒体2的下部与夹具底盖1螺纹连接；具体的，夹具筒体2的外壁下部设置有外螺纹；夹具底盖1的内壁上部设置有与外螺纹相匹配的内螺纹。
37.优选的，夹具底盖1外壁设置有防滑网纹，进一步的，防滑网纹为液花网纹。
38.夹具法兰3的中心设置有法兰安装孔6，法兰安装孔6套装在夹具筒体2的上端；具体的，将法兰安装孔6套装在夹具筒体2的上端，采用焊接方式固定。
39.优选的，夹具法兰3的四周均匀设置有若干个法兰支腿7，法兰支腿7上设置有螺栓孔8；进一步的，法兰支腿7的数量为三个；相邻法兰支腿7的中线之间的夹角为120
°
，方便夹具与镀膜装置固定连接。
40.本实施例还提供一种上述的磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具的装夹方法，包括如下步骤：
41.s1、将夹具法兰3按照安装位置焊接在夹具筒体2上端；
42.s2、将夹具法兰3固定在镀膜装置顶部的螺柱上；
43.s3、将待镀膜的薄壁圆筒工件由下至上推入夹具筒体2内；
44.s4、将夹具底盖1与夹具筒体2连接。
45.具体的，第一次对薄壁圆筒工件镀膜时需要进行上述步骤s1-s4，之后镀膜过程中不需要再次将夹具与镀膜装置进行固定，仅需重复上述步骤s3-s4即可。
46.该夹具便于拆卸、安装、装夹，能够有效地减少安装过程对薄壁圆筒形工件结构的损坏，保证其与柱靶良好的同轴度，同时也能够对外壁起到良好的遮挡，减少人员工作量，提高工作效率。
47.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。