一种真空镀膜机加热装置的制作方法

文档序号:33021216发布日期:2023-01-20 18:38阅读:103来源:国知局
一种真空镀膜机加热装置的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜机技术领域,具体为一种真空镀膜机加热装置。


背景技术:

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,现有的真空镀膜机加热装置大多为一体式构造,不便于拆卸,当加热装置出现损坏时,工作人员无法对受损的部件进行更换,使用存在一定的缺陷,为此我们提出一种真空镀膜机加热装置,解决以上提出的问题。


技术实现要素:

3.针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机加热装置,具备方便对损坏的加热装置进行拆卸更换的优点,解决了现有的真空镀膜机加热装置大多为一体式构造,不便于拆卸,当加热装置出现损坏时,工作人员无法对受损的部件进行更换,使用存在一定的缺陷的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机加热装置,包括定位板,所述定位板的内腔设置有驱动机构,所述驱动机构右侧的顶部和底部均固定连接有箱体,所述箱体内腔的顶部通过轴承转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的底部贯穿箱体且固定连接有转柄,所述螺纹杆外表面的顶部和底部均螺纹连接有螺纹套,所述螺纹套的右侧固定连接有限位杆,所述箱体的右侧固定连接有定位筒,所述定位筒的内腔活动连接有加热管,所述加热管顶部和底部的左侧均开设有限位孔,所述限位杆远离螺纹套的一端与限位孔的内表面插接,所述加热管的内腔设置有加热电阻丝。
5.优选的,所述驱动机构包括旋转电机,所述旋转电机与定位板内腔的左侧固定连接,所述旋转电机的输出端固定连接有转轴,所述转轴的右侧贯穿定位板且固定连接有转盘,所述转盘的右侧与箱体的左侧固定连接。
6.优选的,所述螺纹套的左侧固定连接有滑块,所述箱体内腔左侧的顶部和底部均开设有配合滑块使用的滑槽,所述滑块的外表面与滑槽的内表面滑动连接。
7.优选的,所述箱体右侧的顶部和底部均开设有通槽,所述限位杆的外表面与通槽的内表面滑动连接。
8.优选的,所述定位板正面和背面的顶部和底部均固定连接有安装块,且安装块的表面开设有安装孔。
9.优选的,所述定位筒的顶部和底部均开设有通孔,且通孔的内表面与限位杆的外表面滑动连接。
10.优选的,所述加热管的右侧通过螺丝固定连接有挡板,所述限位杆的形状为l型。
11.与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
12.本实用新型通过设置转柄、螺纹杆、螺纹套、限位杆、限位孔和定位筒,可以方便对
加热管进行固定,同时也方便在加热管损坏时对其进行拆卸更换,通过设置以上结构,具备方便对损坏的加热装置进行拆卸更换的优点,解决了现有的真空镀膜机加热装置大多为一体式构造,不便于拆卸,当加热装置出现损坏时,工作人员无法对受损的部件进行更换,使用存在一定的缺陷的问题。
附图说明
13.图1为本实用新型结构示意图;
14.图2为本实用新型定位板结构剖视图;
15.图3为本实用新型箱体结构剖视图;
16.图4为本实用新型结构图3中a处的局部放大图;
17.图5为本实用新型加热管结构剖视图。
18.图中:1、定位板;2、驱动机构;201、旋转电机;202、转轴;203、转盘;3、箱体;4、螺纹杆;5、转柄;6、螺纹套;7、限位杆;8、定位筒;9、加热管;10、限位孔;11、加热电阻丝;12、滑块;13、滑槽;14、通槽。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
20.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
21.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
22.请参阅图1-5,一种真空镀膜机加热装置,包括定位板1,定位板1的内腔设置有驱动机构2,驱动机构2右侧的顶部和底部均固定连接有箱体3,箱体3内腔的顶部通过轴承转动连接有螺纹杆4,螺纹杆4的底部贯穿箱体3且固定连接有转柄5,螺纹杆4外表面的顶部和底部均螺纹连接有螺纹套6,螺纹套6的右侧固定连接有限位杆7,箱体3的右侧固定连接有定位筒8,箱体3内靠近定位筒8的一端安装有电源座,定位筒8的内腔活动连接有加热管9,加热管9顶部和底部的左侧均开设有限位孔10,加热管9的一端电性插入电源座内,限位杆7远离螺纹套6的一端与限位孔10的内表面插接,加热管9的内腔设置有加热电阻丝11,通过设置转柄5、螺纹杆4、螺纹套6、限位杆7、限位孔10和定位筒8,可以方便对加热管9进行固定,同时也方便在加热管9损坏时对其进行拆卸更换,通过设置以上结构,具备方便对损坏
的加热装置进行拆卸更换的优点。
23.具体的,驱动机构2包括旋转电机201,旋转电机201与定位板1内腔的左侧固定连接,旋转电机201的输出端固定连接有转轴202,转轴202的右侧贯穿定位板1且固定连接有转盘203,转盘203的右侧与箱体3的左侧固定连接,通过设置旋转电机201、转轴202和转盘203,可以带动箱体3旋转,进而带动加热管9和加热电阻丝11旋转,提高加热效果,定位板1上安装有电子滑环,所述电子滑环包括旋转轴与导电环,所述转轴202的表面套接有旋转轴,且导电环固定连接在定位板1上,并活动套设在旋转轴的表面,所述旋转轴内通过电缆与电源座,电性连接,导电环连接有外接电源线连接。
24.具体的,螺纹套6的左侧固定连接有滑块12,箱体3内腔左侧的顶部和底部均开设有配合滑块12使用的滑槽13,滑块12的外表面与滑槽13的内表面滑动连接,通过设置滑块12和滑槽13,可以对螺纹套6的移动起到导向的作用,同时也对螺纹套6的移动进行限位。
25.具体的,箱体3右侧的顶部和底部均开设有通槽14,限位杆7的外表面与通槽14的内表面滑动连接,通过设置通槽14,可以方便限位杆7移动。
26.具体的,定位板1正面和背面的顶部和底部均固定连接有安装块,且安装块的表面开设有安装孔,通过设置安装块和安装孔,可以方便对定位板1进行安装固定。
27.具体的,定位筒8的顶部和底部均开设有通孔,且通孔的内表面与限位杆7的外表面滑动连接,通过设置通孔,可以方便限位杆7移动。
28.具体的,加热管9的右侧通过螺丝固定连接有挡板,限位杆7的形状为l型,通过设置挡板,可以方便对加热管9拆卸,对其内部的加热电阻丝11进行维修。
29.使用时,在加热时,启动旋转电机201的控制开关,使旋转电机201转动,旋转电机201带动转轴202转动,转轴202带动转盘203转动,转盘203带动箱体3旋转,进而带动加热管9和加热电阻丝11旋转,提高加热范围,进而提高加热效果;
30.当加热管9或加热电阻丝11出现损坏时,转动转柄5,转柄5带动螺纹杆4转动,螺纹杆4通过滑块12和滑槽13的导向带动螺纹套6向两边移动,螺纹套6带动限位杆7向两边移动,使限位杆7脱离限位孔10,然后将加热管9取下,在将挡板拆除,对加热管9内的加热电阻丝11进行维修或者更换,通过设置以上结构,具备方便对损坏的加热装置进行拆卸更换的优点。
31.本技术文件中使用到的标准零件均可以从市场上购买,而且根据说明书和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段,机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号,控制方式是通过控制器来自动控制,控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现,属于本领域的公知常识,并且本技术文主要用来保护机械装置,所以本技术文不再详细解释控制方式和电路连接。
32.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个
……”
限定的要素,并不排除在
包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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