一种新型磁控溅射镀膜载具的制作方法

1.本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种新型磁控溅射镀膜载具。


背景技术：

2.磁控溅射镀膜时，是将基板与靶材放置于溅射镀膜舱中，在将溅射镀膜舱内的空气利用真空泵抽走，在不断的向腔体中引入氩气，产生一种低压氩气环境，高电压施加到靶材中，产生等离子体，等离子体中由氩原子和带正电荷的氩离子和自由电子组成，电子不断撞击氩原子从而不断产生带正电荷的氩离子，让溅射靶材带负电荷，氩离子被吸引飞向靶材表面，氩离子撞击靶材，从靶材表面弹出靶体原子，弹射处的靶体原子沉积到基板上。溅射镀膜通过控制好电流，可实现多次重复镀膜，且每次镀膜厚度均匀不会变化，镀膜的后端具有良好的可控性与重复性。
3.溅射系统根据基板需要有不同的尺寸，镀膜材料来自旋转的溅射靶材，靶材在使用时需要对靶材进行固定同时具备旋转效果，因此每次靶材的更换步骤就变的很繁琐，更换效率难以提高。


技术实现要素：

4.本实用新型针对现有技术中的不足，提供一种新型磁控溅射镀膜载具，采用插拔安装的方式装卸靶材，并挤压的方式对靶材进行固定，让与靶材直接接触的固定部件具备旋转特性，让靶材具备稳定可旋转效果的同时拆卸更加方便。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决让靶材拆卸连接方式复杂，拆卸不便的问题
6.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
7.一种新型磁控溅射镀膜载具，真空舱、舱门，所述舱门对真空舱进行密封，其特征在于：所述舱门上安装有上底座与下底座，所述舱门处设有设有分别穿入上底座与下底座内部的靶材，所述下底座端部安装有靶材驱动旋转的驱动机构。
8.优选的，所述上底座上贯穿开设有第一通孔，所述第一通孔侧壁开安装有导电片，所述靶材呈管状设置可穿过第一通孔。
9.优选的，所述第一通孔上安装有密封塞，所述密封塞端部转动连接有与导电片连通的金属件，所述金属件对靶材进行固定。
10.优选的，所述金属件呈环状结构设置，所述密封塞端部固定有穿过金属件的磁铁柱。
11.优选的，所述磁铁柱穿过靶材进入下底座中。
12.优选的，所述下底座上贯穿开设有第二通孔，所述第二通孔内安装有转动座，所述靶材可穿入第二通孔内部并与转动座接触。
13.优选的，所述转动座一端穿出第二通孔并与驱动器连接，所述金属件与转动座由两端通过挤压的方式对靶材进行固定，所述驱动器通过转动座控制靶材旋转。
14.优选的，所述转动座中部贯穿开设有输液孔，所述输液孔端部连接有穿出舱门的输液管。
15.优选的，所述舱门与真空舱转动连接。
16.优选的，所述真空舱内部开设有与真空泵连接的排气孔。
17.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
18.本技术提供一种新型磁控溅射镀膜载具，将舱门与真空舱的底部转动连接，让开启后的舱门呈水平放置状态展开，舱门上安装的上底座与下底座，分别开设第一通孔与第二通孔，靶材通过插拔的方式穿过第一通孔并穿入第二通孔内部，在第一通孔上填上密封塞对靶材以挤压的方式进行固定，并对靶材内部进行密封，可实现对靶材进行注射冷却以及转动控制，与靶材直接接触的固定部件具备旋转特性，让靶材具备稳定可旋转效果的同时拆卸更加方便。
19.本实用通过将多个磁铁柱并排偏心设于靶材中，让带正电的等离子体向靶材一侧集中，并控制靶材旋转，让带正电的氩离子均匀高效的撞击靶材。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1为本实用新型的整体前视结构示意图；
22.图2为本实用新型的整体后视结构示意图；
23.图3为本实用新型的整体舱门开启后结构示意图；
24.图4为本实用新型的整体舱门开启后为安装靶材时结构示意图；
25.图5为本实用新型的上底座与下底座剖面后舱门上相关组件结构示意图；
26.图6为本实用新型的上底座与下底座剖面后舱门上相关组件拆分结构示意图。
27.图号说明：100、真空舱；200、舱门；300、上底座；301、第一通孔；302、导电片；303、密封塞；304、金属件；305、磁铁柱；400、下底座；401、第二通孔；500、靶材；600、驱动机构；601、转动座；602、输液孔；603、输液管。
具体实施方式
28.下面结合附图进一步详细描述本实用新型。
29.以下描述用于揭露本实用新型以本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变形。在以下描述中界定的本实用新型的基本原理可以用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本实用新型的精神和范围的其他技术方案。
30.本领域技术人员应理解的是，在本实用新型的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本实用新型的简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或原件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上
述术语不能理解为对本实用新型的限制。
31.可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。
32.实施例：
33.请参阅图1-6，本技术提供一种新型磁控溅射镀膜载具，包括真空舱100、舱门200，舱门200与真空舱100底部转动连接。靶材500被固定在舱门200上，在舱门200关闭后，通过真空泵对真空舱100内进行抽气，形成真空状态，向真空舱100中通过氩粒子，利用带正电的氩粒子撞击靶材500。
34.其中舱门200开启时可展开呈水平放置状态，在舱门200上安装用于固定靶材500的上底座300与下底座400。上底座300与下底座400上分别开设第一通孔301与第二通孔401。第二通孔401一端安装了驱动机构600，靶材500可沿水平方向穿过第一通孔301，靶材500一端穿入第二通孔401中、一端停留在第一通孔301中，将第一通孔301的一端用密封塞303封住，可对靶材500进行固定。
35.本技术中，密封塞303的端部转动连接了金属件304，金属件304对靶材500挤压固定，第一通孔301内壁上安装了与金属件304连接的导电片302，导电片302与电源负极连接，可使靶材500呈负极。
36.另外，金属件304的上固定多个磁铁柱305，在固定密封塞303时，多个磁铁柱305可并列穿过靶材500中部，磁铁柱305在靶材500中阵列形成磁场，让带正在等离子体向靶材500集中。
37.驱动机构600是由转动座601、输液管603等组成，转动座601转动安装在第二通孔401中，转动座601一端穿出第二通孔401并与驱动器连接，本技术中上底座300与下底座400上分别开设了两个第一通孔301与第二通孔401，两个转动座601通过齿传动配合，在驱动器的作用下同步转动。
38.转动座601与金属件304由两端对靶材500进行挤压固定，转动座601旋转时，金属件304与靶材500同步转动，以保证材料被均匀利用。
39.靶材500为中空的的管状结构，两端被转动座601与金属件304密封住，多根磁铁柱305并排设置在靶材500内部偏心位置，转动座601的中部开设输液孔602，在输液孔602的端部转动连接穿出舱门200的输液管603，向输液管603内部泵送书将靶材500中部注满，对靶材500进行降温处理。
40.本领域技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本实用新型的实施例只作为举例而并不限制本实用新型。本实用新型的目的已经完整并有效地实现。本实用新型的功能以及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本实用新型的实施方式可以有任何变形或修改。