一种镀膜线端头抽气装置的制作方法

本技术涉及一种镀膜线端头抽气装置。

背景技术：

1、在真空磁控溅射技术中，镀膜线的端头是整线的核心关键备件，其真空度的稳定性，不仅对端头的寿命影响巨大，而且会影响镀膜产品品质，因此，镀膜线端头真空稳定性十分关键。

2、目前镀膜端头由单个独立的隔膜泵抽气获得，随着对镀膜产品的要求提升，阴数量相应增加，目前每条线隔膜泵20-50数量不等。目前是专人巡检记录镀膜线阴极端头的真空度，并做离散纸质记录，但阴极数量众多，此工作需要花费大量时间进行巡检、维护，同时维修强度大；缺乏实时连续跟踪记录，无法做到预防维护；对单独的阴极体真空度记录不连续，出现问题无法做到精准分析，更无法做到对隔膜泵等预防维护；不能及时处理出现故障的端头，甚至造成批量废品。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种镀膜线端头抽气装置，以解决现有镀膜线端头单独抽气、真空度测量记录不连续、无法做到预防维护且人工耗费时间长的问题。

2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

3、一种镀膜线端头抽气装置，其包括：

4、多个镀膜腔，所述的镀膜腔内设置有阴极体，所述的阴极体通过端头与外部驱动机构连接；

5、分管道，所述的分管道与所述的镀膜腔的端头连通；

6、总管道，所述的总管道与所述的分管道通过连接管道连通；

7、第一抽真空组件，所述的第一抽真空组件包括第一储气罐、第一真空泵，所述的第一储气罐设置在所述的总管道上，所述的第一真空泵与所述的第一储气罐连通，所述的第一储气罐上设置有第一检测表，所述的第一检测表用于检测所述的总管道的真空度；

8、所述的连接管道上设置有第二检测表，所述的第二检测表用于检测所述的端头的真空度；控制器，所述的控制器与所述的第一抽真空组件、第二检测表均连接，所述的控制器用于接收所述的第一检测表、第二检测表的检测结果；

9、显示部件，所述的显示部件与所述的控制器连接，所述的显示部件用于显示所述的第一检测表、第二检测表的检测结果。

10、优选地，所述的装置还包括第二抽真空组件，所述的第二抽真空组件包括第二储气罐、第二真空泵，所述的第二储气罐设置在所述的总管道上，所述的第二真空泵与所述的第二储气罐连通，所述的第二储气罐上设置有第三检测表，所述的第三检测表用于检测所述的总管道的真空度，所述的第二抽真空组件与所述的控制器连接，所述的第一抽真空组件与所述的第二抽真空组件中仅一个处于工作状态。

11、优选地，所述的总管道包括第一管道、第二管道、第三管道、第四管道，所述的第三管道的一端、第四管道的一端均与所述的第一管道连通，所述的第三管道的另一端、第四管道的另一端均与所述的第二管道连通，所述的第一管道与所述的分管道通过所述的连接管道连通。

12、优选地，所述的第一储气罐设置在所述的第二管道与所述的第三管道连通处，所述的第三管道上设置有第一气动阀，所述的第一气动阀用于控制所述的第一储气罐；

13、所述的第二储气罐设置在所述的第二管道与所述的第四管道连通处，所述的第四管道上设置有第二气动阀，所述的第二气动阀用于控制所述的第二储气罐。

14、优选地，所述的第一真空泵设置在所述的第二管道的一端，所述的第一真空泵与所述的第一储气罐之间设置有第三气动阀；所述的第二真空泵设置在所述的第二管道的另一端，所述的第二真空泵与所述的第二储气罐之间设置有第四气动阀，所述的第一真空泵、第二真空泵分别位于所述的第一储气罐、第二储气罐远离对方的一侧。

15、优选地，所述的第一储气罐与所述的第二储气罐之间连通的第二管道上设置有第五气动阀；所述的连接管道上设置有手动球阀。

16、优选地，一个所述的镀膜腔上设置有四个端头，一个所述的镀膜腔对应的所述的分管道包括第一分管道、第二分管道、第三分管道，所述的第一分管道的两端分别与两个所述的端头连通，所述的第二分管道的两端分别与另外两个所述的端头连通，所述的第三分管道的两端分别与所述的第一分管道、第二分管道连通，所述的第三分管道与所述的连接管道连通。

17、优选地，所述的第一分管道的两端与所述的第三分管道之间、所述的第二分管道的两端与所述的第三分管道之间以及所述的连接管道上均设置有手动球阀。

18、优选地，所述的装置还包括第五管道，所述的第五管道的一端与所述的第一管道连通，所述的第五管道的另一端设置有机械真空表，所述的机械真空表用于检测所述的总管道是否漏气。

19、优选地，所述的总管道、分管道、连接管道的材质为不锈钢。

20、由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

21、本实用新型提供的镀膜线端头抽气装置，实现各个镀膜腔的端头的集中抽气；通过第一检测表的数据可得知整体总管道的真空度，第二检测表的数据可得知各个镀膜腔的端头的真空度，无需人工对各个镀膜端头单独去查看，大大提高检测效率，提高检测精度，实现现场设备运行数据自动采集记录，便于查找分析端头故障原因；不仅确保端头在稳定的工艺要求真空范围内，而且大大提高镀膜端头真空度的巡检效率和维护效率。

技术特征：

1.一种镀膜线端头抽气装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜线端头抽气装置，其特征在于，所述的装置还包括第二抽真空组件，所述的第二抽真空组件包括第二储气罐、第二真空泵，所述的第二储气罐设置在所述的总管道上，所述的第二真空泵与所述的第二储气罐连通，所述的第二储气罐上设置有第三检测表，所述的第三检测表用于检测所述的总管道的真空度，所述的第二抽真空组件与所述的控制器连接，所述的第一抽真空组件与所述的第二抽真空组件中仅一个处于工作状态。

3.根据权利要求2所述的镀膜线端头抽气装置，其特征在于，所述的总管道包括第一管道、第二管道、第三管道、第四管道，所述的第三管道的一端、第四管道的一端均与所述的第一管道连通，所述的第三管道的另一端、第四管道的另一端均与所述的第二管道连通，所述的第一管道与所述的分管道通过所述的连接管道连通。

4.根据权利要求3所述的镀膜线端头抽气装置，其特征在于，所述的第一储气罐设置在所述的第二管道与所述的第三管道连通处，所述的第三管道上设置有第一气动阀，所述的第一气动阀用于控制所述的第一储气罐；

5.根据权利要求4所述的镀膜线端头抽气装置，其特征在于，所述的第一真空泵设置在所述的第二管道的一端，所述的第一真空泵与所述的第一储气罐之间设置有第三气动阀；所述的第二真空泵设置在所述的第二管道的另一端，所述的第二真空泵与所述的第二储气罐之间设置有第四气动阀，所述的第一真空泵、第二真空泵分别位于所述的第一储气罐、第二储气罐远离对方的一侧。

6.根据权利要求3所述的镀膜线端头抽气装置，其特征在于，所述的第一储气罐与所述的第二储气罐之间连通的第二管道上设置有第五气动阀；所述的连接管道上设置有手动球阀。

7.根据权利要求1所述的镀膜线端头抽气装置，其特征在于，一个所述的镀膜腔上设置有四个端头，一个所述的镀膜腔对应的所述的分管道包括第一分管道、第二分管道、第三分管道，所述的第一分管道的两端分别与两个所述的端头连通，所述的第二分管道的两端分别与另外两个所述的端头连通，所述的第三分管道的两端分别与所述的第一分管道、第二分管道连通，所述的第三分管道与所述的连接管道连通。

8.根据权利要求7所述的镀膜线端头抽气装置，其特征在于，所述的第一分管道的两端与所述的第三分管道之间、所述的第二分管道的两端与所述的第三分管道之间以及所述的连接管道上均设置有手动球阀。

9.根据权利要求3所述的镀膜线端头抽气装置，其特征在于，所述的装置还包括第五管道，所述的第五管道的一端与所述的第一管道连通，所述的第五管道的另一端设置有机械真空表，所述的机械真空表用于检测所述的总管道是否漏气。

10.根据权利要求1所述的镀膜线端头抽气装置，其特征在于，所述的总管道、分管道、连接管道的材质为不锈钢。

技术总结
本技术涉及一种镀膜线端头抽气装置，包括多个镀膜腔、分管道、总管道、第一抽真空组件、控制器、显示部件，镀膜腔内设有阴极体，阴极体通过端头与外部驱动机构连接；分管道与镀膜腔的端头连通；总管道与分管道通过连接管道连通；第一抽真空组件包括第一储气罐、第一真空泵，第一储气罐上设置有第一检测表，第一检测表用于检测总管道的真空度；连接管道上设置有第二检测表，第二检测表用于检测端头的真空度；控制器与第一抽真空组件、第二检测表均连接，显示部件用于显示第一检测表、第二检测表的检测结果。本技术提供的装置，实现各个镀膜腔的端头集中抽气；得知各个镀膜腔的端头的真空度，大大提高检测效率，提高检测精度。

技术研发人员：符红伟,张青涛,解孝辉,岳大勇,余华骏
受保护的技术使用者：吴江南玻华东工程玻璃有限公司
技术研发日：20221214
技术公布日：2024/1/13