一种辅助阳极的布气结构的制作方法

本技术涉及磁控溅射，尤其涉及一种辅助阳极的布气结构。

背景技术：

1、磁控溅射是以磁场改变电子运动方向，束缚和延长电子的运动路径，提高电子的电离率和有效地利用了电子的能量，进而通过高能电子轰击基片。在磁控溅射工艺过程中，当电子能量耗尽脱离在靶材附近的约束后变成杂散电子，杂散电子会沿着电场的方向，最终跑到基片、腔体和腔体挡板上。跑到基片上的电子会对基片产生轰击加热效应，造成升温现象，同时杂散电子的轰击会损伤基片上的膜层。

2、为了减小杂散电子的轰击带来的加热温升效应，提高成膜的品质，一些镀膜设备中增加了辅助阳极。辅助阳极被安装在阴极靶材的附近连接正电位的电源，正电位的阳极能够收集部分杂散电子，减小杂散电子轰击产生的温升效应。

3、同时，在磁控溅射过程中，为了提高膜层质量，通常需要在气体保护下进行。由于磁控溅射设备的空间限制，同时增设辅助阳极和保护气体进气结构，大大影响其溅射有效空间利用率。

技术实现思路

1、为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种辅助阳极的布气结构。

2、本实用新型提出的一种辅助阳极的布气结构，包括：基座、隔气板和阳极板；

3、阳极板安装在基座上，基座靠近隔气板一侧设有第一气槽，阳极板靠近基座一侧设有第二气槽，阳极板远离基座一侧设有与第二气槽连通的气体喷嘴，隔气板位于基座和阳极板之间，隔气板与所述第一气槽共同形成进气通道，隔气板与所述第二气槽共同形成布气通道，隔气板上设有连通所述第一气槽和所述第二气槽的通气孔。

4、优选地，所述通气孔位于隔气板中部，第一气槽从所述通气孔向基座端部方向延伸。

5、优选地，所述第二气槽包括主槽体和多个分槽体，主槽体从所述通气孔向两侧延伸，多个分槽体沿主槽体延伸方向依次分布且分别与主槽体连通，每个分槽体上均连通有气体喷嘴。

6、优选地，还包括多个螺栓，阳极板上设有贯穿通孔，阳极板上设有开口，基座上设有与所述贯穿通孔对应布置的安装孔，螺栓一端依次穿过所述贯穿通孔、阳极板上的开口与所述安装孔固定连接。

7、优选地，基座包括座体和座板，阳极板位于座板远离座体一侧，所述第一气槽位于座板上，座板远离阳极板一侧具有与所述第一气槽连通的进气口。

8、优选地，座体端部具有与所述进气口连通的气体接头。

9、优选地，座体内部设有沿座板延伸的冷却液体通道。

10、优选地，座体端部具有与所述冷却液体通道连通的液体接头。

11、本实用新型中，所提出的辅助阳极的布气结构，阳极板安装在基座上，基座靠近隔气板一侧设有第一气槽，阳极板靠近基座一侧设有第二气槽，阳极板远离基座一侧设有与第二气槽连通的气体喷嘴，隔气板位于基座和阳极板之间，隔气板与所述第一气槽共同形成进气通道，隔气板与所述第二气槽共同形成布气通道，隔气板上设有连通所述第一气槽和所述第二气槽的通气孔。通过上述优化设计的辅助阳极的布气结构，通过在基座、阳极板上设置气槽，并在二者之间设置隔气板，在辅助阳极内部形成保护气体的进气通道，从而便于保护气体通道在设备中的布置，同时进气通道便于加工，无需对基座和阳极板内部开槽，大大提高空间利用率。

技术特征：

1.一种辅助阳极的布气结构，其特征在于，包括：基座、隔气板(2)和阳极板(1)；

2.根据权利要求1所述的辅助阳极的布气结构，其特征在于，所述通气孔(13)位于隔气板(2)中部，第一气槽(11)从所述通气孔(13)向基座端部方向延伸。

3.根据权利要求2所述的辅助阳极的布气结构，其特征在于，所述第二气槽(12)包括主槽体和多个分槽体，主槽体从所述通气孔(13)向两侧延伸，多个分槽体沿主槽体延伸方向依次分布且分别与主槽体连通，每个分槽体上均连通有气体喷嘴(3)。

4.根据权利要求1所述的辅助阳极的布气结构，其特征在于，还包括多个螺栓(4)，阳极板(1)上设有贯穿通孔，阳极板(1)上设有开口，基座上设有与所述贯穿通孔对应布置的安装孔，螺栓(4)一端依次穿过所述贯穿通孔、阳极板(1)上的开口与所述安装孔固定连接。

5.根据权利要求1所述的辅助阳极的布气结构，其特征在于，基座包括座体(5)和座板(6)，阳极板(1)位于座板(6)远离座体(5)一侧，所述第一气槽(11)位于座板(6)上，座板(6)远离阳极板(1)一侧具有与所述第一气槽(11)连通的进气口。

6.根据权利要求5所述的辅助阳极的布气结构，其特征在于，座体(5)端部具有与所述进气口连通的气体接头。

7.根据权利要求5所述的辅助阳极的布气结构，其特征在于，座体(5)内部设有沿座板(6)延伸的冷却液体通道。

8.根据权利要求7所述的辅助阳极的布气结构，其特征在于，座体(5)端部具有与所述冷却液体通道连通的液体接头。

技术总结
本技术公开了一种辅助阳极的布气结构，阳极板安装在基座上，基座靠近隔气板一侧设有第一气槽，阳极板靠近基座一侧设有第二气槽，阳极板远离基座一侧设有与第二气槽连通的气体喷嘴，隔气板位于基座和阳极板之间，隔气板与所述第一气槽共同形成进气通道，隔气板与所述第二气槽共同形成布气通道，隔气板上设有连通所述第一气槽和所述第二气槽的通气孔。通过上述优化设计的辅助阳极的布气结构，通过在基座、阳极板上设置气槽，并在二者之间设置隔气板，在辅助阳极内部形成保护气体的进气通道，从而便于保护气体通道在设备中的布置，同时进气通道便于加工，无需对基座和阳极板内部开槽，大大提高空间利用率。

技术研发人员：游锦山
受保护的技术使用者：中科纳微真空科技（合肥）有限公司
技术研发日：20221220
技术公布日：2024/1/12