镜片保护装置以及激光沉积镀膜设备的制作方法

本技术涉及脉冲激光沉积设备，尤其涉及镜片保护装置以及激光沉积镀膜设备。

背景技术：

1、在脉冲激光沉积设备(pld)中，激光从设备的外部穿过入射窗口，并入射到靶材表面上，对靶材进行轰击，从而使靶材蒸发甚至电离从而形成原子、离子等，沉积到基片上并形成薄膜材料。然而，由于这些原子、离子等物质同样会沉积在激光的入射窗口上，随着使用时间的增加，入射窗口会被污染，进而导致影响入射到靶材上的激光的强度。

2、为此，有提出对激光入射窗口进行防污的镜片保护装置。具体来说，在外侧透光件(玻璃片)和镀膜室之间设置有保护装置。该保护装置包括旋转支架，旋转支架上安装有多个石英玻璃片，当其中一块玻璃片被污染之后，通过旋转支架切换另一块玻璃片。由此，能够减少入射窗口的清洁以及更换的频率。

3、但是，这种方式由于需要额外增加一个旋转机构，结构上变得复杂、繁琐。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少一定程度上解决现有技术的问题之一。为此，本实用新型提出了一种镜片保护装置，不仅能够抑制激光入射窗口的镜片被污染，而且结构简单。此外，本实用新型还提出了具有该镜片保护装置的激光沉积镀膜设备。

2、根据本实用新型第一方面的镜片保护装置，至少设置在激光沉积镀膜设备的激光入射窗口内并将安装在所述激光入射窗口的远端的镜片和所述激光沉积镀膜设备的镀膜室隔开，包括：透光件，可回转地容置在所述激光入射窗口内；支撑件，沿所述透光件的周向的边缘支撑所述透光件，并可随着所述透光件的回转而沿所述激光入射窗口的周向转动；吸附件，与所述透光件的周向边缘连接，设置在所述透光件的与所述镜片相对的一侧，可隔着所述镜片被磁性件吸附或者可隔着所述镜片吸附磁性件；遮挡件，设置在所述透光件的与所述镀膜室相对的一侧，遮挡所述透光件的一部分并使所述透光件的回转中心之外的一部分相对于所述镀膜室露出。

3、根据本实用新型第一方面的镜片保护装置，具有如下有益效果：不仅能够抑制激光入射窗口的镜片被污染，而且结构简单。

4、在一些实施方式中，所述支撑件呈圆环状，所述支撑件可回转地安装在所述激光入射窗口内，所述支撑件开设有贯通孔，所述贯通孔具有沿所述激光入射窗口的周向延伸的部分；

5、所述透光件安装在所述支撑件上并盖住所述贯通孔。

6、在一些实施方式中，所述激光入射窗口内设置有环形的导向面，所述导向面沿所述支撑件的周向对所述支撑件的回转进行导向。

7、在一些实施方式中，所述激光入射窗口内设置有环形的支撑面；所述支撑件的底部设置有支撑突起，所述支撑件通过所述支撑突起被支撑在所述支撑面上。

8、在一些实施方式中，所述支撑面上沿周向均匀地设置有多个定位凹部，所述支撑突起可容置在所述定位凹部内。

9、在一些实施方式中，所述吸附件为磁铁，所述吸附件包括多个，沿所述支撑件的周向间隔分布；或者，所述吸附件呈环状，与所述透光件同轴地安装在所述支撑件上。

10、在一些实施方式中，所述支撑件包括多个，沿所述透光件的周向的边缘均匀地分布。

11、在一些实施方式中，还包括限制部，所述限制部设置为沿所述激光入射窗口的轴向限制所述透光件。

12、根据本实用新型第二方面的镜片保护装置，设置在激光沉积镀膜设备的激光入射窗口内并将安装在所述激光入射窗口的远端的镜片和所述激光沉积镀膜设备的镀膜室隔开，包括：透光件，可回转地被支撑在所述激光入射窗口内；吸附件，设置在所述透光件的与所述镜片相对的一侧，所述吸附件沿所述透光件的周向的边缘与所述透光件连接，并可随着所述透光件的回转而沿所述激光入射窗口的周向转动，所述吸附件的材料为磁性材料或者可被磁性件吸附的材料；遮挡件，设置在所述透光件的与所述镀膜室相对的一侧，遮挡所述透光件的一部分并使所述透光件的回转中心之外的一部分相对于所述镀膜室露出。

13、根据本实用新型第二方面的镜片保护装置，具有如下有益效果：不仅能够抑制激光入射窗口的镜片被污染，而且结构简单。

14、根据本实用新型第三方面的激光沉积镀膜设备，具有壳体，所述壳体内形成有镀膜室，所述壳体上安装有激光入射窗口，所述激光入射窗口的内部和所述镀膜室连通，所述激光入射窗口的远端安装有镜片，所述镜片和所述镀膜室之间，设置有上述任一项的镜片保护装置。

15、根据本实用新型第三方面的激光沉积镀膜设备，具有如下有益效果：不仅能够抑制激光入射窗口的镜片被污染，而且结构简单。

技术特征：

1.镜片保护装置，至少设置在激光沉积镀膜设备的激光入射窗口内并将安装在所述激光入射窗口的远端的镜片和所述激光沉积镀膜设备的镀膜室隔开，其特征至于，包括：

2.根据权利要求1所述的镜片保护装置，其特征在于，所述支撑件呈圆环状，所述支撑件可回转地安装在所述激光入射窗口内，所述支撑件开设有贯通孔，所述贯通孔具有沿所述激光入射窗口的周向延伸的部分；

3.根据权利要求2所述的镜片保护装置，其特征在于，所述激光入射窗口内设置有环形的导向面，所述导向面沿所述支撑件的周向对所述支撑件的回转进行导向。

4.根据权利要求2所述的镜片保护装置，其特征在于，所述激光入射窗口内设置有环形的支撑面；

5.根据权利要求4所述的镜片保护装置，其特征在于，所述支撑面上沿周向均匀地设置有多个定位凹部，所述支撑突起可容置在所述定位凹部内。

6.根据权利要求1所述的镜片保护装置，其特征在于，所述吸附件为磁铁，所述吸附件包括多个，沿所述支撑件的周向间隔分布；或者，

7.根据权利要求1所述的镜片保护装置，其特征在于，所述支撑件包括多个，沿所述透光件的周向的边缘均匀地分布。

8.根据权利要求1或2所述的镜片保护装置，其特征在于，还包括限制部，所述限制部设置为沿所述激光入射窗口的轴向限制所述透光件。

9.镜片保护装置，设置在激光沉积镀膜设备的激光入射窗口内并将安装在所述激光入射窗口的远端的镜片和所述激光沉积镀膜设备的镀膜室隔开，其特征至于，包括：

10.激光沉积镀膜设备，具有壳体，所述壳体内形成有镀膜室，所述壳体上安装有激光入射窗口，所述激光入射窗口的内部和所述镀膜室连通，所述激光入射窗口的远端安装有镜片，其特征在于，所述镜片和所述镀膜室之间，设置有权利要求1至8中任一项所述的镜片保护装置，或者设置有权利要求9所述的镜片保护装置。

技术总结
本技术公开了镜片保护装置以及激光沉积镀膜设备。该镜片保护装置设置在激光沉积镀膜设备的激光入射窗口内并将安装在激光入射窗口的远端的镜片和激光沉积镀膜设备的镀膜室隔开，包括：透光件，可回转地容置在视窗法兰内；支撑件，沿透光件的周向的边缘支撑透光件，并可随着透光件的回转而沿视窗法兰的周向转动；吸附件，与透光件的周向边缘连接，设置在透光件的与镜片相对的一侧，可隔着镜片被磁性件吸附或者可隔着镜片吸附磁性件；遮挡件，设置在透光件的与镀膜室相对的一侧，遮挡透光件的一部分并使透光件的回转中心之外的一部分相对于镀膜室露出。该镜片保护装置不仅能够抑制激光入射窗口的镜片被污染，而且结构简单。

技术研发人员：张晓军,李炳坤,夏慧
受保护的技术使用者：深圳市矩阵多元科技有限公司
技术研发日：20221222
技术公布日：2024/1/13