一种加热装置的制作方法

本发明实施例涉及半导体加热，尤其涉及一种加热装置。

背景技术：

1、金属有机化合物化学气相沉积(metal-organic chemical vapor deposition，mocvd)设备包括一个真空加热腔室，该真空加热腔室用于对晶圆片加热进行化学沉积工艺。

2、现阶段，如采用单区感应线圈对晶圆片进行加热，由于单区感应线圈产生的磁场分布不均匀，难以保证在对晶圆片进行加热时，晶圆片各处温度的均匀性，由于晶圆片受热不均会造成半导体外延结构中薄膜生长厚度不均匀，进而会对半导体器件的工作性能产生影响。

技术实现思路

1、本发明实施例提供的一种加热装置，能够对导电承载台进行分区加热，进而使放置于导电承载台上的被加热物均匀受热。

2、本发明实施例提供的一种加热装置，包括：感应线圈以及电源模块；

3、所述电源模块与所述感应线圈电连接，用于向所述感应线圈提供交变电流信号；所述感应线圈用于根据所述交变电流信号产生交变磁场信号，以使导电承载台在所述交变磁场信号作用下将感应产生的电能信号转化为热能信号；

4、其中，所述感应线圈包括至少两个感应分部，至少两个所述感应分部包括第i感应分部和第j感应分部，且所述第j感应分部包围所述第i感应分部；其中，1≤i＜j，且i和j均为正整数。

5、可选的，所述感应分部包括延伸起始端和延伸终止端；

6、沿所述延伸终止端的延伸方向，所述第i感应分部的所述延伸终止端与第i+1所述感应分部的所述延伸起始端相邻且绝缘设置。

7、可选的，所述感应分部包括围绕中心，且由内往外延伸的不间断曲线。

8、可选的，所述感应线圈包括n个感应分部；

9、所述电源模块包括n个电源输出端，所述电源输出端分别与所述感应分部一一对应且电连接；存在所述两个电源输出端输出的交变电流信号功率不同和/或频率不同；其中，n≥2且n为整数。

10、可选的，所述感应线圈包括n个感应分部，且第n感应分部包围所述第j感应分部；

11、所述第n感应分部包括多圈第一感应线圈，相邻两圈所述第一感应线圈之间的平均距离为d1；

12、所述第i感应分部包括多圈第二感应线圈，相邻两圈所述第二感应线圈之间的平均距离为d2；

13、所述第j感应分部包括多圈第三感应线圈，相邻两圈所述第三感应线圈之间的平均距离为d3；

14、其中，d2＜d1＜d3。

15、可选的，所述电源模块包括一个电源输出端，多个所述感应分部均与所述电源输出端电连接。

16、可选的，所述加热装置还包括：控制模块以及温度检测模块；

17、所述温度检测模块用于检测所述导电承载台的温度；

18、所述控制模块分别与所述电源模块以及所述温度检测模块电连接，用于根据所述温度控制所述电源模块输出的交变电流信号功率和/或频率。

19、可选的，所述温度检测模块包括：红外传感器。

20、可选的，所述加热装置还包括：电动机；

21、所述电动机与所述导电承载台电连接，用于带动所述导电承载台在平行于所述感应线圈的平面转动。

22、可选的，所述感应线圈包括中心镂空线圈。

23、本发明实施例提供的技术方案，加热装置包括感应线圈以及电源模块，感应线圈能够根据电源模块提供的交变电流信号产生交变磁场信号，进而交变磁场信号能够穿透平行布置的导电承载台，会在导电承载台中产生涡流，通过涡流的能量消耗，导电承载台内的电能信号转化为热能信号，进而可以对导电承载台上放置的被加热物进行加热。进一步的，感应线圈包括至少两个感应分部，至少两个感应分部包括第i感应分部和第j感应分部，且第j感应分部包围第i感应分部，也就是说，感应线圈并不是单区感应线圈，而是分区设置的感应线圈，如此一方面能够保证感应线圈产生较强的交变磁场信号，另一方面能够对被加热物进行分区且均匀的加热。

技术特征：

1.一种加热装置，其特征在于，包括：感应线圈以及电源模块；

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述感应分部包括延伸起始端和延伸终止端；

3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述感应分部包括围绕中心，且由内往外延伸的不间断曲线。

4.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述感应线圈包括n个感应分部；

5.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述感应线圈包括n个感应分部，且第n感应分部包围所述第j感应分部；

6.根据权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述电源模块包括一个电源输出端，多个所述感应分部均与所述电源输出端电连接。

7.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：控制模块以及温度检测模块；

8.根据权利要求7所述的加热装置，其特征在于，所述温度检测模块包括：红外传感器。

9.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：电动机；

10.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述感应线圈包括中心镂空线圈。

技术总结
本发明实施例公开了一种加热装置及化学气相沉积设备，该加热装置包括感应线圈以及电源模块；电源模块与感应线圈电连接，用于向感应线圈提供交变电流信号；感应线圈用于根据交变电流信号产生交变磁场信号，以使导电承载台在交变磁场信号作用下将感应产生的电能信号转化为热能信号；其中，感应线圈包括至少两个感应分部，至少两个感应分部包括第i感应分部和第j感应分部，且第j感应分部包围第i感应分部；其中，1≤i＜j，且i和j均为正整数。采用上述技术手段，通过感应加热能够对导电承载台进行加热，且第j感应分部包围第i感应分部，能够对导电承载台进行分区加热，进而使放置于导电承载台上的被加热物均匀受热。

技术研发人员：吕青,李瑞,施广涛,万红,胡启凡
受保护的技术使用者：中晟半导体（上海）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25