一种用于钻石沉积的设备的制作方法

本技术涉及钻石沉积，特别是一种用于钻石沉积的设备。

背景技术：

1、微波等离子体化学气相沉积法(mpcvd)是一种用于培育人工钻石的方法，该方法将晶种置于真空腔体内，通入含氮、甲烷和氢的含碳混合气体，其中甲烷是合成钻石碳原子的来源、而氮则其催化作用，提高钻石生长速度，氢可以抑制石墨的形成，在微波等离子的作用下，含碳气体被离解，碳原子在钻石基底上沉积成钻石膜。

2、现有技术用于钻石沉积的装置中通常包括由顶盖和底座组成的反应腔，顶盖可翻转地设置于反应台的上方，实现反应腔的开合，钻石沉积的装置在工作时，反应腔内处于真空状态，这就要求反应腔有很好的气密性。顶盖的可翻转式设置，使得顶盖的重力在反应腔打开时，底座受到朝向一边的压力，造成底座受力不均匀而出现变形或者损坏，影响反应腔的气密性。

技术实现思路

1、针对上述缺陷，本实用新型的目的在于提出一种用于钻石沉积的设备，该钻石沉积设备的顶盖与底座为升降式开合，顶盖和底座的开合过程中，底座不易发生损坏和变形。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种用于钻石沉积的设备，包括安装座、底座、顶盖和升降驱动装置，所述底座和所述升降驱动装置均安装于所述安装座的顶面；

4、所述升降驱动装置的移动端安装有夹持件，所述夹持件具有夹持空间，所述顶盖位于所述夹持空间内，所述顶盖与所述夹持件固定连接；

5、所述夹持件位于所述底座的正上方，所述升降驱动装置用于驱动所述顶盖盖合于所述底座和驱动所述顶盖远离所述底座，所述顶盖和所述底座形成反应腔室。

6、进一步的，所述夹持件包括固定连接的夹持座和两个夹持臂；

7、两个所述夹持臂形成所述夹持空间，所述夹持座固定安装于所述升降驱动装置的移动端；

8、所述顶盖的两侧分别与两个所述夹持臂固定安装，使所述顶盖安装于所述夹持空间。

9、进一步的，所述顶盖的两侧设有对称的限位槽，所述限位槽设有多个第一固定槽，所述第一固定槽与所述反应腔室不连通；

10、所述限位槽可拆卸安装有固定块，所述固定块设有多个第一固定通孔，所述夹持臂的端部设有与多个所述第一固定通孔一一对应的第二固定通孔；

11、所述第一固定通孔和所述第二固定通孔之间通过第二紧固件固定连接；

12、所述第二紧固件的端部穿过所述固定块伸入所述第一固定槽。

13、进一步的，所述升降驱动装置包括驱动组件、移动组件和导向板，所述驱动组件位于所述导向板的后侧；

14、所述移动组件套设于所述导向板，所述移动组件的后侧与所述驱动组件的移动端固定连接，所述移动组件的前侧与所述夹持件固定连接；

15、所述驱动组件带动所述移动组件沿所述导向板的长度方向上下移动，所述移动组件带动所述顶盖上下移动。

16、进一步的，所述底座的顶面设有安装凸台，所述安装凸台的顶部的边缘设有气密性装置，所述顶盖盖合于所述底座时，所述顶盖的底部边缘抵于所述气密性装置；

17、所述安装凸台的外侧设有底座安装边沿，所述顶盖与所述底座安装边沿相对应的位置设有顶盖安装边沿，所述顶盖盖合于所述底座时，所述底座安装边沿与所述顶盖安装边沿固定连接。

18、进一步的，所述顶盖的底部边缘设有斜边，所述斜边位于所述顶盖和所述顶盖安装边沿之间；

19、所述安装凸台在竖直平面的截面的形状为上小下大的梯形，所述斜边与所述安装凸台相适配；

20、当所述顶盖盖合于所述底座时，所述顶盖的底部位于所述气密性装置的顶部。

21、进一步的，所述气密性装置包括第一密封槽和第二密封槽，所述第一密封槽位于所述第二密封槽的内侧，所述第一密封槽和第二密封槽均设有密封圈；

22、所述第一密封槽和第二密封槽之间设有真空槽，所述真空槽的槽底设有通气孔，所述通气孔与抽真空装置连接；

23、所述第二密封槽的外侧还设有微波屏蔽槽，所述微波屏蔽槽设有微波屏蔽胶圈。

24、进一步的，所述顶盖的周侧设置有多个进气孔和多个抽气孔；

25、所述进气孔与进气装置相连接，所述抽气孔与抽气装置相连接。

26、进一步的，所述进气孔设有密封组件，所述密封组件包括密封管和密封件；

27、所述密封管的一端与所述进气孔的内侧固定连接，所述密封管的另一端伸出所述进气孔，所述密封件套设于所述密封管的另一端。

28、进一步的，所述底座和所述顶盖的材质为铝或铝合金；

29、所述密封管的材质为不锈钢。

30、本实用新型提供的技术方案可以包括以下有益效果：

31、本实用新型中，通过设置升降驱动装置驱动顶盖升降，实现该反应腔的开合，顶盖和底座的开合过程中，底座不易发生损坏和变形，解决了现有技术的反应腔，顶盖可翻转地设置于底座的上方，实现反应腔的开合，而顶盖的可翻转式设置，使得顶盖的重力在反应腔打开时，底座受到朝向一边的压力，造成底座受力不均匀而出现变形或者损坏，进而影响反应腔室的气密性的问题。

技术特征：

1.一种用于钻石沉积的设备，其特征在于：包括安装座、底座、顶盖和升降驱动装置，所述底座和所述升降驱动装置均安装于所述安装座的顶面；

2.根据权利要求1所述的用于钻石沉积的设备，其特征在于：所述夹持件包括固定连接的夹持座和两个夹持臂；

3.根据权利要求2所述的用于钻石沉积的设备，其特征在于：所述顶盖的两侧设有对称的限位槽，所述限位槽设有多个第一固定槽，所述第一固定槽与所述反应腔室不连通；

4.根据权利要求1所述的用于钻石沉积的设备，其特征在于：所述升降驱动装置包括驱动组件、移动组件和导向板，所述驱动组件位于所述导向板的后侧；

5.根据权利要求1所述的用于钻石沉积的设备，其特征在于：所述底座的顶面设有安装凸台，所述安装凸台的顶部的边缘设有气密性装置，所述顶盖盖合于所述底座时，所述顶盖的底部边缘抵于所述气密性装置；

6.根据权利要求5所述的用于钻石沉积的设备，其特征在于：所述顶盖的底部边缘设有斜边，所述斜边位于所述顶盖和所述顶盖安装边沿之间；

7.根据权利要求5所述的用于钻石沉积的设备，其特征在于：所述气密性装置包括第一密封槽和第二密封槽，所述第一密封槽位于所述第二密封槽的内侧，所述第一密封槽和第二密封槽均设有密封圈；

8.根据权利要求1所述的用于钻石沉积的设备，其特征在于：所述顶盖的周侧设置有多个进气孔和多个抽气孔；

9.根据权利要求8所述的用于钻石沉积的设备，其特征在于：所述进气孔设有密封组件，所述密封组件包括密封管和密封件；

10.根据权利要求9所述的用于钻石沉积的设备，其特征在于：所述底座和所述顶盖的材质为铝或铝合金；

技术总结
本技术涉及钻石沉积技术领域，特别是一种用于钻石沉积的设备包括安装座、底座、顶盖和升降驱动装置，底座和升降驱动装置均安装于安装座的顶面；升降驱动装置的移动端安装有夹持件，夹持件具有夹持空间，顶盖位于夹持空间内，顶盖与夹持件固定连接；夹持件位于底座的正上方，升降驱动装置用于驱动顶盖盖合于底座和驱动顶盖远离底座，顶盖和底座形成反应腔室，解决了现有技术的反应腔，顶盖可翻转地设置于底座的上方，实现反应腔的开合，而顶盖的可翻转式设置，使得顶盖的重力在反应腔打开时，底座受到朝向一边的压力，造成底座受力不均匀而出现损坏的问题。

技术研发人员：徐丰,周健泉
受保护的技术使用者：佛山市海光智能科技有限公司
技术研发日：20230524
技术公布日：2024/3/24