HWCVD设备的制作方法

本技术涉及镀膜设备，特别涉及一种hwcvd设备。

背景技术：

1、热丝化学气相沉积(hwcvd)设备的结构简单、工艺参数少、微晶沉积速率快、设备成本低，常用于对硅片的镀膜。

2、公开号为cn116219401a的专利文本公开的一种镀膜生产线，其包括有卧式hwcvd设备，在卧式hwcvd设备中，布气模块设置在腔盖的下方，以达到布气的目的。但是，由于腔体的容积一般较小，在腔体内部设置布气模块的操作性受限。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种hwcvd设备，能够解决在腔体内部设置布气模块的操作性受限的问题。

2、根据本实用新型一些实施例的hwcvd设备，包括：腔盖，所述腔盖的内部形成有均气腔，且所述腔盖的顶部设有与所述均气腔连通的进气口，所述腔盖的底部设有与所述均气腔连通的多个布气孔；以及热丝模块，所述热丝模块包括连接单元以及热丝单元，所述连接单元固定在所述腔盖的底部、并与所述热丝单元连接，所述热丝单元位于所述腔盖的下方。

3、根据本实用新型实施例的hwcvd设备，至少具有如下有益效果：

4、本实用新型的hwcvd设备中，腔盖可以实现均气和布气的效果，因此，本实用新型的hwcvd设备可以取消在腔体内部设置布气模块，避免了在腔体内部设置布气模块的不便。

5、根据本实用新型的一些实施例，所述腔盖包括至少三个板件，至少所述三个板件从上至下依次并列且间隔设置，每相邻两个所述板件之间均形成有四周密封的均气夹层，所有的所述均气夹层配合形成所述均气腔；

6、其中，最上层的所述板件设有所述进气口，最下层的所述板件设有多个所述布气孔，位于最上层的所述板件与位于最下层的所述板件之间的各个所述板件均设有多个过气孔。

7、根据本实用新型的一些实施例，与最上层的所述板件相邻的所述板件上的所述过气孔与所述进气口错开设置。

8、根据本实用新型的一些实施例，位于最上层的所述板件与位于最下层的所述板件之间的各个所述板件上的所述过气孔错开设置。

9、根据本实用新型的一些实施例，所述进气口为两组，两组所述进气口对称地设置于所述腔盖的顶部。

10、根据本实用新型的一些实施例，所述连接单元包括连接在所述腔盖的下侧壁的多个连接座，多个所述连接座间隔设置；所述热丝单元包括设置于所述腔盖的下方的多根热丝，多根所述热丝间隔设置；

11、其中，所述热丝与所述连接座交替连接、以使所有所述热丝串联，在预设方向上相邻的两个所述连接座、以及连接在该相邻两个所述连接座之间的所述热丝中，所述热丝的其中一端与其中一个所述连接座固定且导电连接，所述热丝的另一端与另一个所述连接座固定且导电连接；

12、其中，所述预设方向为所述热丝与所述连接座交替连接的方向。

13、根据本实用新型的一些实施例，在多根所述热丝中，包括多根横向热丝和多根纵向热丝，沿横向间隔设置的至少两根所述横向热丝配合形成横向热丝组件，所述横向热丝组件的数量为多组，多组所述横向热丝组件沿纵向并列且间隔设置，每相邻两组所述横向热丝组件之间均连接有所述纵向热丝，所述横向热丝组件与所述纵向热丝交替设置。

14、根据本实用新型的一些实施例，多个所述连接座呈矩阵式排布。

15、根据本实用新型的一些实施例，所述连接座包括与所述腔盖的下侧壁固定连接的第一绝缘部、以及与所述第一绝缘部固定连接的第一导电部，所述第一导电部设有沿横向间隔设置的两个定位槽；

16、在所述预设方向上相邻的两根所述热丝、以及连接在该相邻两根所述热丝之间的所述连接座中，其中一根所述热丝穿设于所述连接座的所述第一导电部其中一个所述定位槽内，另一根所述热丝穿设于所述连接座的所述第一导电部的另一个所述定位槽内。

17、根据本实用新型的一些实施例，所述连接座包括与所述腔盖的下侧壁固定连接的第二绝缘部、以及与所述第二绝缘部固定连接的第二导电部，所述第二导电部的两端沿横向排布，且所述第二导电部的两端均设有装配孔；

18、在所述预设方向上相邻的两根所述热丝、以及连接在该相邻两根所述热丝之间的所述连接座中，其中一根所述热丝穿设于所述连接座的所述第二导电部的其中一端的所述装配孔内，另一根所述热丝穿设于所述连接座的所述第二导电部的另一端的所述装配孔内。

19、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种hwcvd设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的hwcvd设备，其特征在于，所述腔盖包括至少三个板件，至少所述三个板件从上至下依次并列且间隔设置，每相邻两个所述板件之间均形成有四周密封的均气夹层，所有的所述均气夹层配合形成所述均气腔；

3.根据权利要求2所述的hwcvd设备，其特征在于，与最上层的所述板件相邻的所述板件上的所述过气孔与所述进气口错开设置。

4.根据权利要求2所述的hwcvd设备，其特征在于，位于最上层的所述板件与位于最下层的所述板件之间的各个所述板件上的所述过气孔错开设置。

5.根据权利要求1所述的hwcvd设备，其特征在于，所述进气口为两组，两组所述进气口对称地设置于所述腔盖的顶部。

6.根据权利要求1所述的hwcvd设备，其特征在于，所述连接单元包括连接在所述腔盖的下侧壁的多个连接座，多个所述连接座间隔设置；所述热丝单元包括设置于所述腔盖的下方的多根热丝，多根所述热丝间隔设置；

7.根据权利要求6所述的hwcvd设备，其特征在于，在多根所述热丝中，包括多根横向热丝和多根纵向热丝，沿横向间隔设置的至少两根所述横向热丝配合形成横向热丝组件，所述横向热丝组件的数量为多组，多组所述横向热丝组件沿纵向并列且间隔设置，每相邻两组所述横向热丝组件之间均连接有所述纵向热丝，所述横向热丝组件与所述纵向热丝交替设置。

8.根据权利要求7所述的hwcvd设备，其特征在于，多个所述连接座呈矩阵式排布。

9.根据权利要求7所述的hwcvd设备，其特征在于，所述连接座包括与所述腔盖的下侧壁固定连接的第一绝缘部、以及与所述第一绝缘部固定连接的第一导电部，所述第一导电部设有沿横向间隔设置的两个定位槽；

10.根据权利要求7所述的hwcvd设备，其特征在于，所述连接座包括与所述腔盖的下侧壁固定连接的第二绝缘部、以及与所述第二绝缘部固定连接的第二导电部，所述第二导电部的两端沿横向排布，且所述第二导电部的两端均设有装配孔；

技术总结
本技术公开了一种HWCVD设备，HWCVD设备，包括：腔盖，腔盖的内部形成有均气腔，且腔盖的顶部设有与均气腔连通的进气口，腔盖的底部设有与均气腔连通的多个布气孔；以及热丝模块，热丝模块包括连接单元以及热丝单元，连接单元固定在腔盖的底部、并与热丝单元连接，热丝单元位于腔盖的下方。本技术的HWCVD设备中，腔盖可以实现均气和布气的效果，因此，本技术的HWCVD设备可以取消在腔体内部设置布气模块，避免了在腔体内部设置布气模块的不便。

技术研发人员：程培勇,杨福满,赵步举,张海涛,籍龙占,谭晓华
受保护的技术使用者：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
技术研发日：20230621
技术公布日：2024/3/27