一种抛光设备及其万向组件的制作方法

本技术涉及抛光组件，具体涉及一种抛光设备及其万向组件。

背景技术：

1、目前在抛光设备对玻璃、金属、半导体等材料进行抛光时需要保证工作盘与固定吸盘的平行，不然会导致抛光后的产品表面不平整，因此在抛光前需要调节工作磨盘与固定吸盘之间的平行度，而现有抛光设备的工作磨盘与固定吸盘都是固定设置，无法进行调整。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种抛光设备及其万向组件，旨在解决无法调整抛光设备的工作盘与固定吸盘的平行度问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

3、第一方面，一种万向组件，包括：

4、万向内圈，沿y轴方向设置有相对的两个第一安装孔；

5、万向中圈，围绕所述万向内圈且与所述万向内圈同z轴心设置，所述万向中圈沿x轴方向设置有相对的两个第二安装孔，所述万向中圈沿y轴方向设置有相对的两个第三安装孔；

6、万向外圈，围绕所述万向中圈且与所述万向中圈同z轴心设置，所述万向外圈设置有两个与所述第二安装孔相对的第四安装孔；

7、万向中圈铜垫，两个所述万向中圈铜垫沿y轴方向设置于所述万向中圈与所述万向外圈之间，两个所述万向中圈铜垫沿x轴方向设置于所述万向中圈与所述万向外圈之间；

8、第一万向轴组件，包括两个第一万向小轴与两个第一自润滑轴承，所述第一万向小轴贯通同一侧的所述第二安装孔、所述万向中圈铜垫与所述第四安装孔，所述第一自润滑轴承套设于所述第一万向小轴伸入第二安装孔的部分，所述第一自润滑轴承的外侧与所述第二安装孔的内壁抵接；

9、第二万向轴组件，包括两个第二万向小轴与两个第二自润滑轴承，所述第二万向小轴贯通同一侧的所述第一安装孔、所述万向中圈铜垫与所述第三安装孔，所述第二自润滑轴承套设于所述第二万向小轴伸入第三安装孔的部分，所述第二自润滑轴承的外侧与所述第三安装孔的内壁抵接。

10、作为优选的，所述万向中圈为圆环状，所述万向中圈在y轴方向与x轴方向的外侧设置为平面，所述万向中圈铜垫抵靠在所述平面。

11、作为优选的，所述万向外圈为圆环状，所述万向外圈在y轴方向的内侧设置有凹部，所述凹部避让所述第二万向小轴伸出于所述万向中圈外侧的部分。

12、作为优选的，所述第二万向小轴包括轴柱与轴帽，所述轴帽设置于所述轴柱的一端，且所述轴帽的直径大于所述轴柱的直径，所述轴柱依次穿过所述万向中圈铜垫、所述第三安装孔与所述第一安装孔，所述轴帽抵靠在所述万向中圈铜垫。

13、作为优选的，所述万向外圈设置有两个沿z轴方向贯通的第一螺栓孔，所述第一螺栓孔与所述第四安装孔导通，所述第一万向小轴设置有沿z轴方向贯通的第二螺栓孔，所述第二螺栓孔与所述第一螺栓孔同轴设置，第一螺栓穿过所述第一螺栓孔与所述第二螺栓孔用于固定所述万向外圈与第一万向小轴。

14、作为优选的，所述万向内圈设置有两个沿z轴方向贯通的第三螺栓孔，所述第三螺栓孔与所述第一安装孔导通，所述第二万向小轴设置有沿z轴方向贯通的第四螺栓孔，所述第四螺栓孔与所述第三螺栓孔同轴设置，第二螺栓穿过所述第三螺栓孔与所述第四螺栓孔用于固定所述万向内圈与所述第二万向小轴。

15、作为优选的，所述万向中圈的顶面设置有四个固定孔，两个所述固定孔分别与两个所述第二安装孔导通，另外两个所述固定孔分别与两个所述第三安装孔导通，第三螺栓穿过所述固定孔与第一自润滑轴承的外侧抵接，第四螺栓穿过所述固定孔与第二自润滑轴承的外侧抵接。

16、作为优选的，所述万向外圈的顶面均匀布置有多个第一连接孔。

17、作为优选的，所述万向内圈均匀布置有多个贯穿上下面的第二连接孔。

18、第二方面，一种抛光设备，包括以上所述的万向组件、工作盘与固定座，所述万向内圈与所述万向外圈中的一个与所述工作盘固定连接，另一个与所述固定座固定连接。

19、本实用新型所阐述的一种抛光设备及其万向组件，其有益效果在于：

20、万向组件在进行平行度调节时，万向中圈固定不动，第一万向小轴贯通同一侧的第二安装孔、万向中圈铜垫与第四安装孔，第一自润滑轴承套设于第一万向小轴伸入第二安装孔的部分，第一自润滑轴承的外侧与第二安装孔的内壁抵接，第二万向小轴贯通同一侧的第一安装孔、万向中圈铜垫与第三安装孔，第二自润滑轴承套设于第二万向小轴伸入第三安装孔的部分，第二自润滑轴承的外侧与第三安装孔的内壁抵接。因此万向外圈能够沿x轴进行转动，万向内圈能够沿y轴进行转动，从而对固定在万向外圈或万向内圈的工作盘进行平行度调节。同时第一自润滑轴承与第二自润滑轴承能够减小万向外圈与万向内圈的转动时的摩擦，使万向外圈与万向内圈的转动更加顺滑。此外，万向中圈铜垫能够限定万向外圈与万向内圈在xy平面的移动。

技术特征：

1.一种万向组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的万向组件，其特征在于，所述万向中圈为圆环状，所述万向中圈在y轴方向与x轴方向的外侧设置为平面，所述万向中圈铜垫抵靠在所述平面。

3.根据权利要求1所述的万向组件，其特征在于，所述万向外圈为圆环状，所述万向外圈在y轴方向的内侧设置有凹部，所述凹部避让所述第二万向小轴伸出于所述万向中圈外侧的部分。

4.根据权利要求1所述的万向组件，其特征在于，所述第二万向小轴包括轴柱与轴帽，所述轴帽设置于所述轴柱的一端，且所述轴帽的直径大于所述轴柱的直径，所述轴柱依次穿过所述万向中圈铜垫、所述第三安装孔与所述第一安装孔，所述轴帽抵靠在所述万向中圈铜垫。

5.根据权利要求1所述的万向组件，其特征在于，所述万向外圈设置有两个沿z轴方向贯通的第一螺栓孔，所述第一螺栓孔与所述第四安装孔导通，所述第一万向小轴设置有沿z轴方向贯通的第二螺栓孔，所述第二螺栓孔与所述第一螺栓孔同轴设置，第一螺栓穿过所述第一螺栓孔与所述第二螺栓孔用于固定所述万向外圈与第一万向小轴。

6.根据权利要求1所述的万向组件，其特征在于，所述万向内圈设置有两个沿z轴方向贯通的第三螺栓孔，所述第三螺栓孔与所述第一安装孔导通，所述第二万向小轴设置有沿z轴方向贯通的第四螺栓孔，所述第四螺栓孔与所述第三螺栓孔同轴设置，第二螺栓穿过所述第三螺栓孔与所述第四螺栓孔用于固定所述万向内圈与所述第二万向小轴。

7.根据权利要求1所述的万向组件，其特征在于，所述万向中圈的顶面设置有四个固定孔，两个所述固定孔分别与两个所述第二安装孔导通，另外两个所述固定孔分别与两个所述第三安装孔导通，第三螺栓穿过所述固定孔与第一自润滑轴承的外侧抵接，第四螺栓穿过所述固定孔与第二自润滑轴承的外侧抵接。

8.根据权利要求1所述的万向组件，其特征在于，所述万向外圈的顶面均匀布置有多个第一连接孔。

9.根据权利要求1所述的万向组件，其特征在于，所述万向内圈均匀布置有多个贯穿上下面的第二连接孔。

10.一种抛光设备，其特征在于，包括如权利要求1至权利要求9任一项所述的万向组件、工作盘与固定座，所述万向内圈与所述万向外圈中的一个与所述工作盘固定连接，另一个与所述固定座固定连接。

技术总结
本技术涉及一种抛光设备及其万向组件，包括：万向内圈，沿Y轴方向设置有相对的两个第一安装孔；万向中圈，沿X轴方向设置有相对的两个第二安装孔，且沿Y轴方向设置有相对的两个第三安装孔；万向外圈，沿X轴方向设置有相对的两个第四安装孔；万向中圈铜垫，设置于万向中圈与万向外圈之间；第一万向轴组件，包括两个第一万向小轴与两个第一自润滑轴承，第一万向小轴贯通同一侧的第二安装孔、万向中圈铜垫与第四安装孔，第一自润滑轴承套设于第一万向小轴；第二万向轴组件，包括两个第二万向小轴与两个第二自润滑轴承，第二万向小轴贯通同一侧的第一安装孔、万向中圈铜垫与第三安装孔，第二自润滑轴承套设于第二万向小轴。

技术研发人员：高令,谭志强,李叶明,张红超,黄俊达
受保护的技术使用者：西可装备制造（衡阳）有限公司
技术研发日：20230822
技术公布日：2024/3/31