一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构的制作方法

本技术属于真空镀膜设备，具体涉及一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构。

背景技术：

1、真空镀膜机的种类多种多样，因为其采用的镀膜原理各不相同，包括真空离子蒸发、磁控溅射、mbe分子束外延、pld激光溅射沉积等，主要思路是分成蒸发和溅射两种，所以只能根据不同的产品特性选择不同类型的镀膜机。

2、如图5所示，现有的真空镀膜机所采用的仓门锁紧机构，在操作过程中，是利用手轮带动螺杆移动，将其插入到仓门连接结构内将仓门与机体进行固定，这种锁紧的方式，在锁紧和解锁时不仅操作比较费力，而且开启仓门的速度，也会影响存件取件的效率，很不方便，因此，特提供一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构来解决上述技术问题。

技术实现思路

1、针对现有技术中真空镀膜设备的仓门锁紧机构，存在锁紧和解锁时操作比较费力和影响存件取件效率的问题，本实用新型提供一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构，在锁紧或解锁仓门关闭时，可以利用电动液压伸缩杆带动活塞板在活塞容器中上下移动，将活塞容器中的空气通过导气机构输入或抽离活塞腔，从而驱使活塞锁杆向外侧或内侧移动，使其插入或抽离l型固定件的定位口，实现对仓门的锁紧或解锁，整体设计结构简单，在锁紧或解锁时仓门时的操作更加方便快捷，有效解决了现有技术中真空镀膜设备的仓门锁紧机构，存在锁紧和解锁时操作比较费力和影响存件取件效率的问题。其具体技术方案如下：

2、一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构，包括真空镀膜设备主体，所述真空镀膜设备主体的台面上安装有反应筒，所述反应筒的外表面转动安装有仓门，所述反应筒的外表面等距固定安装有多个l型固定件，所述l型固定件的外表面均贯穿开设有定位口；

3、所述仓门内等距设置有多个活塞腔，所述活塞腔贯穿仓门的外表面，所述活塞腔内均滑动安装有活塞锁杆，所述活塞锁杆呈t型，且活塞锁杆的外侧端插接在对应的定位口内；

4、所述仓门的前表面固定安装有活塞容器，所述活塞容器的外表面贯穿开设有多个连接孔，所述连接孔与对应的活塞腔之间均连接有导气机构，所述活塞容器内滑动安装有活塞板，所述仓门的前表面固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的顶端位于活塞容器内，且电动伸缩杆的顶端与活塞板的下表面固定连接。

5、上述技术方案中，所述仓门包括前板和后板，所述前板与后板之间通过螺栓组件固定安装在一起，且前板和后板的内侧表面均开设有多个凸型腔，所述活塞腔由两个相对应的凸型腔拼合而成；

6、上述技术方案中，所述导气机构包括导气管和通气连接头，所述导气管的进气端与连接孔相连接，所述通气连接头螺接在前板的前表面，且通气连接头的排气端位于对应的活塞腔内；

7、上述技术方案中，所述前板与后板之间安装有密封垫；

8、上述技术方案中，所述反应筒的外表面固定安装有两个转接件，所述前板和后板的外表面之间固定安装有l型连接件，所述l型连接件通过转轴转动安装在两个所述转接件之间；

9、上述技术方案中，所述前板的前表面固定安装有控制器，所述控制器与电动伸缩杆电性连接。

10、本实用新型的一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构，与现有技术相比，有益效果为：

11、本实用新型在锁紧或解锁仓门关闭时，可以利用电动液压伸缩杆带动活塞板在活塞容器中上下移动，将活塞容器中的空气通过导气机构输入或抽离活塞腔，从而驱使活塞锁杆向外侧或内侧移动，使其插入或抽离l型固定件的定位口，实现对仓门的锁紧或解锁，整体设计结构简单，在锁紧或解锁时仓门时的操作更加方便快捷。

技术特征：

1.一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构，包括真空镀膜设备主体(1)，所述真空镀膜设备主体(1)的台面上安装有反应筒(2)，所述反应筒(2)的外表面转动安装有仓门(3)，其特征在于，所述反应筒(2)的外表面等距固定安装有多个l型固定件(21)，所述l型固定件(21)的外表面均贯穿开设有定位口(211)；

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构，其特征在于，所述仓门(3)包括前板(31)和后板(32)，所述前板(31)与后板(32)之间通过螺栓组件固定安装在一起，且前板(31)和后板(32)的内侧表面均开设有多个凸型腔(34)，所述活塞腔由两个相对应的凸型腔(34)拼合而成。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构，其特征在于，所述导气机构包括导气管(43)和通气连接头(44)，所述导气管(43)的进气端与连接孔(41)相连接，所述通气连接头(44)螺接在前板(31)的前表面，且通气连接头(44)的排气端位于对应的活塞腔内。

4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构，其特征在于，所述前板(31)与后板(32)之间安装有密封垫(35)。

5.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构，其特征在于，所述反应筒(2)的外表面固定安装有两个转接件(22)，所述前板(31)和后板(32)的外表面之间固定安装有l型连接件(6)，所述l型连接件(6)通过转轴转动安装在两个所述转接件(22)之间。

6.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构，其特征在于，所述前板(31)的前表面固定安装有控制器(7)，所述控制器(7)与电动伸缩杆(5)电性连接。

技术总结
一种真空镀膜设备的仓门锁紧机构，所属真空镀膜设备技术领域，包括真空镀膜设备主体，真空镀膜设备主体的台面上安装有反应筒，反应筒的外表面转动安装有仓门，反应筒的外表面等距固定安装有多个L型固定件，L型固定件的外表面均贯穿开设有定位口，仓门内等距设置有多个活塞腔，活塞腔贯穿仓门的外表面，活塞腔内均滑动安装有活塞锁杆，且活塞锁杆的外侧端插接在对应的定位口内，仓门的前表面固定安装有活塞容器，活塞容器的外表面贯穿开设有多个连接孔，连接孔与对应的活塞腔之间均连接有导气机构，活塞容器内滑动安装有活塞板，仓门的前表面固定安装有电动伸缩杆，本技术整体设计结构简单，在锁紧或解锁仓门时的操作更加方便快捷。

技术研发人员：王实博
受保护的技术使用者：沈阳成功科技有限公司
技术研发日：20230824
技术公布日：2024/3/21