一种处理设备的制作方法

本申请涉及机械设备，特别是涉及一种处理设备。

背景技术：

1、用于工艺生产的处理设备在运行时会对腔内的加工对象进行加热处理，其自身的腔壁也会受到温度升高的影响，发生受热变形等问题。

2、以太阳能电池的制备过程中的扩散工艺为例，即硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下向扩散炉内通入氮气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积pn结。现有技术中的扩散炉设备在进行高温扩散工艺时，石英管腔体内温度会达到1000℃以上接近石英材料的应变点(1110℃)，扩散炉的石英管腔体会由于高温加速蠕变变形，产生破裂损坏风险。石英管腔体损坏会导致巨大损失，更换石英管腔体耗费时间、精力与成本。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种处理设备，以解决现有技术中腔体高温变形、损坏的问题。

2、为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种处理设备，处理设备包括腔体、进气管组件和出气管组件。腔体包括互相嵌套设置的内腔体和外腔体，内腔体内部形成工作腔，内腔体和外腔体之间形成夹层空间，夹层空间形成换热腔；进气管组件设置于腔体，进气管组件连通换热腔，用于将第一温度的气体通入换热腔；出气管组件设置于腔体，出气管组件连通换热腔，换热后得到的第二温度的气体通过出气管组件排出换热腔。

3、根据本申请一实施方式，进气管组件包括至少一根进气管，在进气管组件包括至少两根进气管时，至少两根进气管围绕腔体的中心轴线均匀分布。

4、根据本申请一实施方式，处理设备包括法兰，法兰设置于腔体的一端，固定连接内腔体和外腔体的端部；进气管通过法兰通入换热腔。

5、根据本申请一实施方式，腔体由透明石英材料制成。

6、根据本申请一实施方式，处理设备包括加热炉，加热炉套设于腔体外部，用于对工作腔进行热辐射加热。

7、根据本申请一实施方式，内腔体和外腔体为一体式设计。

8、根据本申请一实施方式，处理设备还包括：

9、支管，支管连通工作腔与腔体的外部，用于通入或通出工作腔内的工艺气体，或安装温度传感器。

10、根据本申请一实施方式，支管包括：

11、内支管、外支管和密封件，内支管设置于内腔体、且连通工作腔，外支管设置于外腔体、且套设于内支管外，密封件在内支管和外支管之间形成密封。

12、根据本申请一实施方式，密封件包括依次连接的第一连接部、软管和第二连接部，第一连接部密封连接于内支管，第二连接部密封连接于外支管；软管连接于第一连接部和第二连接部之间。

13、根据本申请一实施方式，支管为单根管体，支管穿过外腔体后连接至内腔体，支管与外腔体和内腔体固定连接。

14、根据本申请一实施方式，处理设备还包括：支承件，支承件设置于换热腔内，支承件接触设置于内腔体和外腔体之间，用于固定内腔体和外腔体之间的相对位置。

15、根据本申请一实施方式，支承件呈弧形状，设置于换热腔靠近地面的一侧。

16、根据本申请一实施方式，支承件呈螺旋状，以形成连通进气管组件和出气管组件的螺旋通道。

17、根据本申请一实施方式，支承件包括多个间隔设置的环形件，环形件边缘处开设有通气槽和/或内部开设有气孔，以连通环形件两侧的换热腔空间。

18、根据本申请一实施方式，支承件与内腔体和外腔体均固定连接。

19、本申请的有益效果是：提供一种处理设备，其中，互相嵌套设置的内腔体和外腔体之间形成夹层空间，夹层空间形成换热腔，换热腔内可通入不同温度的气体以对内腔体和外腔体进行换热。向换热腔中通入流动的冷却气体，可以实现腔体壁的冷却，延长石英制品即腔体的使用寿命。在内腔体升温阶段，向换热腔中通入流动的高温气体，该高温气体温度低于最高工艺温度、且低于腔体壁材料的应变点温度，以对内腔体和外腔体同时加热，在保持腔体温度一致性的同时与腔体配套的加热部件配合，有利于提高工作腔升温速度。

技术特征：

1.一种处理设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的处理设备，其特征在于，所述进气管组件包括至少一根进气管，在所述进气管组件包括至少两根进气管时，所述至少两根进气管围绕所述腔体的中心轴线均匀分布。

3.如权利要求2所述的处理设备，其特征在于，所述处理设备包括法兰，所述法兰设置于所述腔体的一端，固定连接所述内腔体和所述外腔体的端部；所述进气管通过所述法兰通入所述换热腔。

4.如权利要求1所述的处理设备，其特征在于，所述腔体由透明石英材料制成。

5.如权利要求1所述的处理设备，其特征在于，所述处理设备包括加热炉，所述加热炉套设于所述腔体外部，用于对所述工作腔进行热辐射加热。

6.如权利要求1所述的处理设备，其特征在于，所述内腔体和所述外腔体为一体式设计。

7.如权利要求1所述的处理设备，其特征在于，所述处理设备还包括：

8.如权利要求7所述的处理设备，其特征在于，所述支管包括：

9.如权利要求8所述的处理设备，其特征在于，

10.如权利要求7所述的处理设备，其特征在于，

11.如权利要求1所述的处理设备，其特征在于，所述处理设备还包括：支承件，所述支承件设置于所述换热腔内，所述支承件接触设置于所述内腔体和所述外腔体之间，用于固定所述内腔体和所述外腔体之间的相对位置。

12.如权利要求11所述的处理设备，其特征在于，

13.如权利要求11所述的处理设备，其特征在于，

14.如权利要求11所述的处理设备，其特征在于，

15.如权利要求11所述的处理设备，其特征在于，

技术总结
本申请提供了一种处理设备，该处理设备包括腔体、进气管组件和出气管组件。腔体包括互相嵌套设置的内腔体和外腔体，内腔体内部形成工作腔，内腔体和外腔体之间形成夹层空间，夹层空间形成换热腔；进气管组件设置于腔体，进气管组件连通换热腔，用于将第一温度的气体通入换热腔；出气管组件设置于腔体，出气管组件连通换热腔，换热后得到的第二温度的气体通过出气管组件排出换热腔。本申请通过在换热腔通入不同温度的气体对内腔体和外腔体进行降温或升温，保护内腔体和外腔体使用寿命的同时，提高工作腔调温效率。

技术研发人员：毛文瑞,沈安磊,李沐诚
受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/16