专利名称：蒸发体的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空蒸镀设备的蒸发器用的蒸发体，它由至少两个前后在端侧相互电连接的船形蒸发器组成。一个这种类型的蒸发体在德国专利DE 4016225中作了说明。
在大型蒸发器中，出于加工原因不再可能整体制成所需长度的船形蒸发器。因此，在这种情况下需要将两个甚至多个船形蒸发器前后顺序设置并在其邻接的端侧相互连接。这种连接在按照上述的DE4016225 C2的船形蒸发器中是这样实现的，即邻接的端侧分别具有一个半碗形的槽，这两个槽扣住两个船形蒸发器上的共同的水平指向的辊。其中上述辊由与两个船形蒸发器相同的材料组成。
在蒸发器工作时，加热两个船形蒸发器所需的全部电流必须流过船形蒸发器的连接处。因此船形蒸发器在接触面上必须牢固紧贴。然而在已知的船形蒸发器中不能完全实现这一点，因为圆柱面而只能在中间达到高的夹紧力，然而该夹紧力向上和向下根据圆柱面的弧度下降。这种已知连接的另一缺点在于，它形成一个铰链。但是相互连接的船形蒸发器应当尽可能直线延伸。在安装好的状态，这一点是这样实现的，即船形蒸发器在设计为支柱的供电线之间由另一支柱支撑。然而，两个船形蒸发器的这种铰接连接在安装和拆卸时的船形蒸发器的操作中是有困难的。
因此，本发明的任务在于开发一种至少具有两个船形蒸发器的蒸发体，其中，船形蒸发器的连接设计成尽可能简单并形成船形蒸发器的牢固的不可改变的方向。
上述任务按照本发明是这样完成的，即船形蒸发器的连接由在一个船形蒸发器端侧上的不是由弧形面限定的逐渐变细的凸起和一个在相邻船形蒸发器的端侧上的相应槽构成。
通过这种结构，为在船形蒸发器之间形成连接不需要附加的连接件。通过船形蒸发器端侧的凸起和槽的相互接合，实现了方向固定的牢固连接，这一连接同时实现可靠的通电。由于凸起没有弧形面，因此产生固定连接而不是铰接连接，因此通过这一连接确定了船形蒸发器相互间的方向。
如果凸起设计为由上、下斜面构成的、水平延伸的楔，相应地槽由两个从上和下倾斜延伸入端面的面限定，则是尤其有利的。通过这一结构避免了连接部位的间隙。此外，可以在整个连接部位传递足够高的轴向力，这样使两个零件可靠贴紧而具有很小的接触电阻。
为了进一步改善连接部位的电流通过，在一个船形蒸发器的凸起和另一个船形蒸发器的槽之间设置一个石墨薄膜是有利的。
本发明允许有不同的实施例。为了进一步说明本发明的基本原理，附图中描述了其中一个实施例，并在下面说明，其中
图1表示两个构成蒸发体的船形蒸发器的连接部，图2表示船形蒸发器的端侧视图，图3表示完整的船形蒸发器的侧视图。
图1表示蒸发体1的两个在端侧相互连接的船形蒸发器2和3的端部。这种连接是这样实现的，即带凸起4的船形蒸发器2插入船形蒸发器3的相应槽5中。在本实施例中，在凸起4和槽5之间设置一石墨薄膜6。在蒸发体1的上侧有凹槽7，该凹槽经过两个船形蒸发器2、3的连接部，并在其内引入待蒸发的金属。因此，蒸发体1具有单一的贯通的凹槽7。
图2表示从右侧看去的船形蒸发器2。在图2中定位两个限定凸起4的斜面8、9，因此，凸起形成水平延伸的楔。如可从图1所见，楔尖具有约90°的角度。实际上楔尖必须削平，这样楔面8、9就紧贴在槽5的在图1中定位的相应面10、11上。
图3表示整个船形蒸发器2。从中也可以看到在船形蒸发器2上侧的楔形凸起4和凹槽7。
权利要求
1.真空蒸镀设备的蒸发器用的蒸发体，由至少两个前后在端侧相互导电连接的船形蒸发器组成，其特征为，上述船形蒸发器(2、3)的连接是由在一个船形蒸发器(2)的端侧上的不是由弧形面限定的逐渐变细的凸起(4)和相邻船形蒸发器(3)端侧中的相应的槽(5)构成。
2.按照权利要求1的蒸发体，其特征为，凸起(4)被设计成由上斜面(8)和下斜面(9)构成的水平延伸的楔，相应地，槽(5)由两个从上和从下倾斜地延伸入端面的面(10、11)限定。
3.按照权利要求1或2的蒸发体，其特征为，在一个船形蒸发器(2)的凸起(4)和另一个船形蒸发器(3)的槽(5)之间设置一个石墨薄膜(6)。
全文摘要
真空蒸镀设备的蒸发器用的蒸发体(1)由至少两个前后在端侧相互导电连接的船形蒸发器(2、3)组成。船形蒸发器(2、3)的连接是通过在一个船形蒸发器端侧的逐渐变细的凸起(4)和相邻船形蒸发器(3)端侧的相应的槽(5)形成。
文档编号C23C14/26GK1249358SQ99120228
公开日2000年4月5日 申请日期1999年9月23日 优先权日1998年9月24日
发明者G·科勒姆, D·埃勒, W·阿赫特勒, T·沃格特 申请人:莱博德系统股份有限公司