0被构造成安装至目标栗出口 14。图1示出通过第二安装部31安装至目标栗出口 14的排出歧管30。第二安装部31可以是目标栗专用的部件。
[0038]入口歧管20包括ALD反应器进料设备70。进料设备70包括所需的进料管线及其控制元件。在图1中安装到第一安装部24的是第一前驱物蒸汽进料管线41、第二前驱物进料管线42和清扫气体进料管线43。第一前驱物进料管线41开始于第一前驱物源21，第二前驱物进料管线42开始于第二前驱物源22，清扫气体进料管线43开始于清扫/非活性气体源23。
[0039]进料管线控制元件包括流量和定时控制元件。第一前驱物进料管线41中的质量流量控制器51和第一前驱物进料阀61控制第一前驱物脉冲的定时和流量。相应地，第二前驱物进料管线42中的第二前驱物进料阀62和质量流量控制器52控制第二前驱物脉冲的定时和流量。最后，清扫气体进料阀63和质量流量控制器53控制清扫气体的定时和流量。
[0040]在图1示出的实施方式中，进料设备70的操作由控制系统控制。图1示出进料设备70和控制系统71之间的控制连接72。控制系统71例如可以由笔记本电脑等中的软件来实现。
[0041]在特定示例实施方式中，目标栗内部的ALD处理在真空中实施。排出歧管30可选地包括真空栗33。在特定示例实施方式中，真空栗33位于安装至目标栗出口 14中的排出管线32的端部。真空栗33可选地经由可选的电连接73 (位于控制系统71和真空栗33之间)由控制系统71控制。根据目标栗的类型，真空栗33将目标栗10的整个内部或其至少一部分栗成真空。目标栗10可以包括不同的压力区域。在图1中，体积空间12和13绘示出该区域。箭头15绘示出目标栗10内的流动方向，即从目标栗入口 11经由目标栗内部(如果可应用的话，经由体积空间12然后经由体积空间13)至目标栗出口 14。如果目标栗10也是真空栗，则图1中的体积空间12可以认为是目标栗10的真空压力区域，体积空间13认为是目标栗10的环境压力区域。当目标(真空)栗10运行时，体积空间12保持为真空。排出管线真空栗33然后被用于也将体积空间13栗成真空。
[0042]再参考图1，应当注意的是，在其他实施方式中，入口歧管和排出歧管I可以不同地进行配置。代替分开的进料管线，至少一部分进料管线可以共用。阀类型可以不同。流量控制元件位置可以不同，等等。例如，可以使用三通阀代替两通阀，直接反映进料管线路径的变化。关于前驱物源和清扫气体，它们的选取取决于实施方式和期望的覆层。目标栗可以由可选的加热器16来加热。加热器的操作可选地可以通过连接由控制系统71控制。
[0043]可应用的栗材料例如是诸如铁和铝等金属，但是材料不限于这些材料。可应用的覆层例如是诸如铝氧化物、钛氧化物、钽氧化物等金属氧化物和钨碳化物，及其组合，但是覆层不限于这些材料。在特定示例实施方式中，可应用的ALD处理温度为环境温度至150°C，尽管其他范围也是可应用的。在特定示例实施方式中，目标栗的类型是真空栗。在其他实施方式中，目标栗是其他类型。在又一实施方式中，术语栗被宽泛地解释为也覆盖压缩机，该压缩机的内部由公开的方法涂覆。
[0044]图2示出根据图1中公开内容的方法步骤。首先，将可移动栗保护装置载运至靠近被保护的目标栗10，或者将目标栗10移动至靠近可移动或固定的栗保护装置。将入口歧管20安装至目标栗入口 11 (步骤81)，并且将排出歧管30安装至目标栗出口 14 (步骤82)。可选地打开目标栗10 (步骤83)。根据ALD，将目标栗内部暴露至由清扫步骤分开的前驱物蒸汽的顺次引入。将反应残余和清扫气体栗入真空栗33 (步骤84)。在沉积处理中，获得一致的保护覆层。关闭栗(步骤85)，将入口歧管20从目标栗入口 11折卸(步骤86)，并且将排出歧管30从目标栗出口 14折卸(步骤87)。
[0045]在另外的示例实施方式中，提供了用于保护形成为链的多个栗的内部的栗链。在这些实施方式中，入口歧管与所述实施方式所示的类似地安装至第一目标栗入口。第一排出歧管的第一端安装至第一目标栗出口，第一排出歧管的相反的一端安装至第二目标栗入口。第二排出歧管的第一端安装至第二目标栗出口，第二排出歧管的相反的一端安装至第三目标栗入口，等等。通过该配置，配置成链的多个栗能够由一次ALD处理同时被保护。气体经由入口歧管进入第一目标栗内部，经由前一栗的排出歧管进入其他目标栗内部，直到它们终止于位于链的端部的真空栗。因此，流动通路经由排成行的目标栗形成，通过使用流动通路提供目标栗的内部的同时保护。目标栗自身可以是真空栗或者其他可应用的栗。
[0046]在不限制专利权利要求的范围和解释的情况下，将这里公开的一个或多个示例实施方式的特定技术效果罗列如下:技术效果在于通过一致的保护覆层保护栗内部。另一技术效果在于保护具有密封面的制作好的(组装的)栗。如果对于组装之前的各个栗部件分开地进行保护，则这将使得这些部件在组装过程中易于刮擦。另一技术效果在于通过在沉积处理过程中保持目标栗运行而使用目标栗自身提供目标栗内部的加热。
[0047]要注意的是，之前讨论的一些功能或方法步骤可以以不同序列进行和/或彼此同时进行。此外，一个或多个上述功能或方法步骤可以是可选的或者可以组合。
[0048]前述说明通过本发明的特别的实现和实施方式的非限制的示例提供了用于实施本发明的目前由发明人构想的最佳方式的完整和信息型的说明。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明不限于上述实施方式的细节，而是在不偏离本发明的特征的情况下能够以使用等同方案的其他实施方式来实现。
[0049]此外，本发明的上述实施方式的一些特征可以在不相应地使用其他特征的情况下被用于产生有益效果。同样地，前述说明应当理解为仅仅说明了本发明的原理，并且不限于此。因此，本发明的范围仅由所附专利权利要求来限制。
【主权项】
1.一种用于保护目标栗内部的方法，所述方法包括: 为目标栗入口提供入口歧管和为目标栗出口提供排出歧管；和 在所述目标栗保持运行的情况下，通过经由所述入口歧管使反应气体顺次进入所述目标栗内部以及经由所述排出歧管使反应残余排出，将所述目标栗内部暴露至顺次的自饱和表面反应。2.根据权利要求1所述的方法，包括将所述入口歧管安装到所述目标栗入口，以及将所述排出歧管安装到所述目标栗出口。3.根据权利要求1或2所述的方法，包括通过安装到所述排出歧管的真空栗将反应残余和清扫气体从所述目标栗内部栗出。4.根据前述任一项权利要求所述的方法，包括通过在不使用其他加热部件的情况下保持所述目标栗运行来提供所需的处理温度。5.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中所述入口歧管包括一个或多个进料管线，所述一个或多个进料管线的控制元件由计算机实施的控制系统控制。6.根据前述任一项权利要求所述的方法，包括经由成排布置的目标栗形成流动通路，并且通过使用所述流动通路来对所述目标栗的内部提供同时保护。7.根据权利要求6所述的方法，其中包括通过将成排中前一栗的排出歧管安装至下一栗的栗入口来形成所述流动通路。8.根据前述任一项权利要求所述的方法，包括在从环境温度延伸到150°C的温度范围内将所述目标栗内部暴露至顺次的自饱和表面反应。9.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中所述目标栗是真空栗。10.一种用于保护目标栗内部的方法，所述方法包括: 为目标栗入口提供入口歧管和为目标栗出口提供排出歧管；和 在所述目标栗不运行的情况下，通过经由所述入口歧管使反应气体顺次进入所述目标栗内部以及经由所述排出歧管使反应残余排出，将所述目标栗内部暴露至顺次的自饱和表面反应。11.一种用于保护目标栗内部的装置，包括: 入口歧管，其被设计成安装至目标栗入口 ；和 排出歧管，其被设计成安装至目标栗出口，所述装置在被使用时执行根据权利要求1至10中任一项限定的方法。12.根据权利要求11所述的装置，其中所述装置被配置成:在被使用时，在所述目标栗保持运行的情况下，通过经由所述入口歧管使反应气体顺次进入所述目标栗内部以及经由所述排出歧管使反应残余排出，将所述目标栗内部暴露至顺次的自饱和表面反应。13.根据权利要求11或12所述的装置，其中所述入口歧管包括前驱物蒸汽和清扫气体进料管线，及其控制元件。14.根据权利要求11至13中任一项所述的装置，其中所述排出歧管包括真空栗。15.根据权利要求11至14中任一项所述的装置，其中所述入口歧管包括被构造成将所述入口歧管安装到所述目标栗入口中的目标栗专用附件。16.根据权利要求11至15中任一项所述的装置，其中所述装置为可移动的。
【专利摘要】用于保护目标泵内部的装置和方法，其中为目标泵(10)入口设置有入口歧管(20)，为目标泵出口设置排出歧管(30)。在目标泵保持运行或不运行的情况下，通过经由入口歧管使根据ALD方法的反应气体顺次进入目标泵内部以及经由排出歧管使反应残余排出，而将目标泵内部暴露至顺次的自饱和表面反应。本发明的技术效果在于通过一致的保护覆层保护泵内部，所述泵内部也可以是组装的泵内部。
【IPC分类】C23C16/455
【公开号】CN105143506
【申请号】CN201380075463
【发明人】T·马利南, H·瓦阿马基
【申请人】皮考逊公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2013年4月10日
【公告号】WO2014033359A1