一种pvd机台及其接触面板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及物理气相沉积技术领域，特别是涉及一种PVD机台及其接触面板。
【背景技术】
[0002]在PVD (Physical Vapor Deposit1n，物理气相沉积)领域中，随着革El材利用率提升，金属纯铝进程1的上线以及异型靶的改进，不但运营成本大幅降低，也使得保养周期大幅地延长，间接地提升设备嫁动率和产出。
[0003]目前，处理室或者反应室中的零件寿命未能够匹配如此长的保养周期。例如，纯铝上线的处理室会将两个A1靶用完才进行保养，因此托盘上的接触面板(Touch Plate)必须承受两个A1革E—共10000kw/hr的轰击。现有技术的接触面板无法承受10000kw/hr以上的轰击，造成镀膜脱落，导致产品受到污染，严重影响产品良率。
【发明内容】
[0004]本发明实施例提供了一种PVD机台及其接触面板，以解决上述问题。
[0005]本发明提供一种接触面板，接触面板用于PVD机台，PVD机台包括至少4个首尾相连的横棒，至少一接触面板设置在PVD机台的一个横棒上，横棒通过接触面板环绕并夹持待镀金属膜的玻璃基板的边缘部分，接触面板包括:
[0006]固定部，用于与横棒相对固定；
[0007]抓夹部，与固定部一体成型，自固定部的一边延伸，抓夹部用于压置玻璃基板，且抓夹部的表面设有刻花。
[0008]其中，接触面板的材料是塑料，横棒的材料是金属。
[0009]其中，固定部包括至少两个螺孔以及对应螺钉，螺钉通过螺孔将接触面板固定于对应的横棒上。
[0010]其中，固定部呈阶梯结构，且包括第一螺孔和第二螺孔，第一螺孔设置于第一阶梯面上，第二螺孔设置于第二阶梯面上。
[0011 ] 其中，抓夹部包括自固定部的一边向外延伸的第一延伸部和自第一延伸部向外延伸的第二延伸部，第二延伸部的外表面均设置有刻花，第一延伸部的外表面部分设置有刻花。
[0012]本发明还提供一种PVD机台，其包括接触面板和至少4个首尾相连的横棒，至少一接触面板设置在PVD机台的一个横棒上，横棒通过接触面板环绕并夹持待镀金属膜的玻璃基板的边缘部分，接触面板包括:
[0013]固定部，用于与横棒相对固定；
[0014]抓夹部，与固定部一体成型，自固定部的一边延伸，抓夹部用于压置玻璃基板，且抓夹部的表面设有刻花。
[0015]其中，接触面板的材料是塑料，横棒的材料是金属。
[0016]其中，固定部包括至少两个螺孔以及对应螺钉，螺钉通过螺孔将接触面板固定于对应的横棒上。
[0017]其中，固定部呈阶梯结构，且包括第一螺孔和第二螺孔，第一螺孔设置于第一阶梯面上，第二螺孔设置于第二阶梯面上。
[0018]其中，抓夹部包括自固定部的一边向外延伸的第一延伸部和自第一延伸部向外延伸的第二延伸部，第二延伸部的外表面均设置有刻花，第一延伸部的外表面部分设置有刻花。
[0019]通过上述方案，本发明的有益效果是:本发明的抓夹部用于压置玻璃基板，并且抓夹部的表面设有刻花，增加抓夹部对玻璃基板的金属膜的附着能力大幅提升，能够防止金属月旲脱洛，避免广品受到污染，提尚广品良率。
【附图说明】
[0020]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中:
[0021]图1是本发明第一实施例的接触面板正面的结构示意图；
[0022]图2是图1所示接触面板与横棒的结构示意图；
[0023]图3是图1所示接触面板背面的结构示意图；
[0024]图4是本发明第一实施例的PVD机台的结构示意图。
【具体实施方式】
[0025]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0026]请参见图1，图1是本发明第一实施例的接触面板正面的结构示意图。本实施例所揭示的接触面板10应用在PVD机台上，如图1所示，该接触面板10包括:固定部11和抓夹部12。优选地，抓夹部12与固定部11 一体成型。
[0027]在本实施例中，抓夹部12自固定部11的一边延伸，如图1中抓夹部12沿着D方向延伸。抓夹部12用于压置待镀金属膜的玻璃基板20，如图2所示，接触面板10环绕并夹持玻璃基板20的边缘部分，即接触面板10通过抓夹部12环绕并夹持玻璃基板20的边缘部分。
[0028]可选地，PVD机台还设置有夹持部31，抓夹部12与夹持部31共同夹持待镀金属膜的玻璃基板20的边缘部分。
[0029]其中，抓夹部12的表面设有刻花13，刻花13优选为条形状，在其他实施例中，本领域的技术人员还可以将刻花13设置为其他形状。
[0030]如图2所示，固定部11用于与横棒30 (innermask)相对固定。结合图1所示，其中固定部11包括至少两个螺孔111、112以及对应的螺钉113、114，螺钉113通过螺孔111将接触面板10固定于对应的横棒30上，螺钉114通过螺孔112将接触面板10固定于对应的横棒30上。
[0031]优选地，接触面板10的材料是塑料，横棒30的材料是金属。其中，横棒30的材料为铝合金。由于4个横棒30的材料为金属，因此4个横棒30不允许直接接触玻璃基板20，4个横棒30均通过接触面板10接触玻璃基板20，以夹持玻璃基板20。
[0032]优选地，固定部11呈阶梯结构，其包括第一阶梯面115和第二阶梯面116 ;固定部11进一步包括第一螺孔和第二螺孔，即第一螺孔为螺孔111，第二螺孔为螺孔112，第一螺孔111设置于第一阶梯面115上，第二螺孔112设置于第二阶梯面116上，并且螺钉113通过第一螺孔111将接触面板10固定于对应的横棒30上，螺钉114通过第二螺孔112将接触面板10固定于对应的横棒30上。
[0033]优选地，抓夹部12包括自固定部11的一边向外延伸的第一延伸部121和自第一延伸部121向外延伸的第二延伸部122，即第一延伸部121为自固定部1的一边往D方向延伸，第二延伸部122为第一延伸部121往D方向延伸。第二延伸部122的外表面均设置有刻花13，第一延伸部121的外表面部分设置有刻花13，如图1和图3所示。
[0034]其中，抓夹部12用于压置玻璃基板20，即抓夹部12的第二延伸部122压置玻璃基板20，由于第二延伸部122的外表面均设置有刻花13，在玻璃基板20进行镀金属膜(图未视)时，抓夹部12的第二延伸部122对金属膜的附着能力大幅提升，与现有技术的接触面板相比较，抓夹部12的第二延伸部122对金属膜的附着能力增加了一倍以上，能够承受10000kw/hr的轰击，防止抓夹部12的金属膜脱落，避免产品受到污染，提高产品良率。
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