035]本发明还提供一种PVD机台，如图4所示，本实施例所揭示的PVD机台包括接触面板10和至少4个首尾相连的横棒30，本实施例所揭示的接触面板10和横棒30均为上述实施例所描述的接触面板10和横棒30。该PVD机台用于在玻璃基板20上镀一层金属膜，在镀金属膜时玻璃基板20固定在PVD机台上。其中，图4中的B区域的截面图为上述图2所不ο
[0036]PVD机台优选包括4个横棒30，4个横棒30首尾相连形成一个用于夹住玻璃基板20的区域A，玻璃基板20固定在区域A内。优选地，接触面板10的材料是塑料，横棒30的材料是金属。由于4个横棒30的材料为金属，因此4个横棒30不允许直接接触玻璃基板20，4个横棒30均通过接触面板10接触玻璃基板20，以夹持玻璃基板20。其中，横棒30的材料为铝合金。
[0037]其中，4个横棒30通过接触面板10环绕并夹持待镀金属膜的玻璃基板20的边缘部分。优选地，接触面板10设置在横棒30靠近玻璃基板20的侧面上，接触面板10所在的平面与玻璃基板20所在的平面平行。
[0038]如图1所示，该接触面板10包括:固定部11和抓夹部12。优选地，抓夹部12与固定部11 一体成型。在玻璃基板20进行镀金属膜时，接触面板10的抓夹部12也会附着金属膜。
[0039]在本实施例中，抓夹部12自固定部11的一边延伸，如图1中抓夹部12沿着D方向延伸。抓夹部12用于压置玻璃基板20，如图2所示，接触面板10通过抓夹部12环绕并夹持玻璃基板20的边缘部分。
[0040]可选地，PVD机台还设置有夹持部31，抓夹部12与夹持部31共同夹持待镀金属膜的玻璃基板20的边缘部分。
[0041]其中，抓夹部12的表面设有刻花13，刻花13优选为条形状，在其他实施例中，本领域的技术人员还可以将刻花13设置为其他形状。
[0042]如图2所示，固定部11用于与横棒30相对固定。结合图1所示，其中固定部11包括至少两个螺孔111、112以及对应的螺钉113、114，螺钉113通过螺孔111将接触面板10固定于对应的横棒30上，螺钉114通过螺孔112将接触面板10固定于对应的横棒30上。
[0043]优选地，固定部11呈阶梯结构，其包括第一阶梯面115和第二阶梯面116 ;固定部11进一步包括第一螺孔和第二螺孔，即第一螺孔为螺孔111，第二螺孔为螺孔112，第一螺孔111设置于第一阶梯面115上，第二螺孔112设置于第二阶梯面116上，并且螺钉113通过第一螺孔111将接触面板10固定于对应的横棒30上，螺钉114通过第二螺孔112将接触面板10固定于对应的横棒30上。
[0044]优选地，抓夹部12包括自固定部11的一边向外延伸的第一延伸部121和自第一延伸部121向外延伸的第二延伸部122，即第一延伸部121为自固定部1的一边往D方向延伸，第二延伸部122为第一延伸部121往D方向延伸。第二延伸部122的外表面均设置有刻花13，第一延伸部121的外表面部分设置有刻花13，如图1和图3所示。
[0045]其中，抓夹部12用于压置玻璃基板20，即抓夹部12的第二延伸部122压置玻璃基板20。由于第二延伸部122的外表面均设置有刻花13，在玻璃基板20进行镀金属膜时，抓夹部12的第二延伸部122对金属膜的附着能力大幅提升，与现有技术的接触面板相比较，抓夹部12的第二延伸部122对金属膜的附着能力增加了一倍以上，能够承受10000kW/hr的轰击，防止附着在抓夹部12的金属膜脱落，避免产品受到污染，提高产品良率。
[0046]综上所述，本发明的抓夹部用于压置玻璃基板，并且抓夹部的表面设有刻花，增加抓夹部对玻璃基板的金属膜的附着能力大幅提升，能够防止附着在抓夹部的金属膜脱落，避免广品受到污染，提尚广品良率。
[0047]以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种接触面板，其特征在于，所述接触面板用于PVD机台，所述PVD机台包括至少4个首尾相连的横棒，至少一所述接触面板设置在所述PVD机台的一个横棒上，所述横棒通过所述接触面板环绕并夹持待镀金属膜的玻璃基板的边缘部分，所述接触面板包括: 固定部，用于与所述横棒相对固定； 抓夹部，与所述固定部一体成型，自所述固定部的一边延伸，所述抓夹部用于压置所述玻璃基板，且所述抓夹部的表面设有刻花。2.根据权利要求1所述的接触面板，其特征在于，所述接触面板的材料是塑料，所述横棒的材料是金属。3.根据权利要求1所述的接触面板，其特征在于，所述固定部包括至少两个螺孔以及对应螺钉，所述螺钉通过所述螺孔将所述接触面板固定于对应的横棒上。4.根据权利要求3所述的接触面板，其特征在于，所述固定部呈阶梯结构，且包括第一螺孔和第二螺孔，所述第一螺孔设置于第一阶梯面上，所述第二螺孔设置于第二阶梯面上。5.根据权利要求1所述的接触面板，其特征在于，所述抓夹部包括自所述固定部的一边向外延伸的第一延伸部和自所述第一延伸部向外延伸的第二延伸部，所述第二延伸部的外表面均设置有所述刻花，所述第一延伸部的外表面部分设置有所述刻花。6.一种PVD机台，其特征在于，包括接触面板和至少4个首尾相连的横棒，至少一所述接触面板设置在所述PVD机台的一个横棒上，所述横棒通过所述接触面板环绕并夹持待镀金属膜的玻璃基板的边缘部分，所述接触面板包括: 固定部，用于与所述横棒相对固定； 抓夹部，与所述固定部一体成型，自所述固定部的一边延伸，所述抓夹部用于压置所述玻璃基板，且所述抓夹部的表面设有刻花。7.根据权利要求6所述的PVD机台，其特征在于，所述接触面板的材料是塑料，所述横棒的材料是金属。8.根据权利要求6所述的PVD机台，其特征在于，所述固定部包括至少两个螺孔以及对应螺钉，所述螺钉通过所述螺孔将所述接触面板固定于对应的横棒上。9.根据权利要求8所述的PVD机台，其特征在于，所述固定部呈阶梯结构，且包括第一螺孔和第二螺孔，所述第一螺孔设置于第一阶梯面上，所述第二螺孔设置于第二阶梯面上。10.根据权利要求6所述的PVD机台，其特征在于，所述抓夹部包括自所述固定部的一边向外延伸的第一延伸部和自所述第一延伸部向外延伸的第二延伸部，所述第二延伸部的外表面均设置有所述刻花，所述第一延伸部的外表面部分设置有所述刻花。
【专利摘要】本发明公开了一种PVD机台及其接触面板。该接触面板用于PVD机台，PVD机台包括至少4个首尾相连的横棒，至少一接触面板设置在PVD机台的一个横棒上，横棒通过接触面板环绕并夹持待镀金属膜的玻璃基板的边缘部分，接触面板包括：固定部，用于与横棒相对固定；抓夹部，与固定部一体成型，自固定部的一边延伸，抓夹部用于压置玻璃基板，且抓夹部的表面设有刻花。通过以上方式，本发明能够防止金属膜脱落，避免产品受到污染，提高产品良率。
【IPC分类】C23C14/50
【公开号】CN105349959
【申请号】CN201510634029
【发明人】王子彦
【申请人】武汉华星光电技术有限公司
【公开日】2016年2月24日
【申请日】2015年9月29日