伞形气动挡板的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空蒸发镀膜系统中的挡板，具体的说是一种伞形气动挡板。
【背景技术】
[0002]真空蒸发镀膜系统中光电倍增管镀AL薄膜设备是加工生产光电倍增管的重要工艺组成部分，光电倍增管为直径Φ500_全椭球形石英玻璃球壳，球壳竖直放置(球壳口向上)要求蒸镀铝膜位置为球壳开口方向赤道以上至玻壳颈部位置，同时赤道以下至球壳顶部不允许有任何划伤，镀膜边缘整齐。
[0003]光电倍增管内部半球镀膜，由于球壳开口远小于球壳内径，一直以来都是较难实现的镀膜形式；为实现其只镀半球，另外半球不镀膜，普遍采取的方式为手动安置挡板于球壳内部，遮挡不镀膜的半球。
[0004]手动安置挡板于球壳内部，难以避免对球壳内表面造成划伤，不能满足光电倍增管镀膜要求；手动挡板为几块扇形板拼接成圆，镀膜边缘呈现锯齿状，极不整齐，镀膜合格率低。同时由于球壳开口小、内径大，手动安置挡板极不方便，工作效率低。
【实用新型内容】
[0005]针对现有技术中光电倍增管内部半球镀膜采用手动遮挡方式导致球壳内表面造成划伤、镀膜边缘极不整齐、工作效率低等不足，本实用新型要解决的技术问题是提供一种可避免对玻壳造成损害、增大光电倍增管镀膜合格率、提高工作效率的伞形气动挡板。
[0006]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:
[0007]本实用新型伞形气动挡板，包括控制气缸、伞支杆及伞形挡板，其中控制气缸安装于伞支杆的一端，伞支杆的另一端连接伞形挡板。
[0008]伞支杆为一细长形杆，细长形杆内部设有抽拉杆，抽拉杆的一端与控制气缸的活塞杆连接，抽拉杆的另一端连接伞形挡板的固定盘。
[0009]伞形挡板为四连杆机构，其上有两个圆盘，其中一个为固定盘，与伞支杆连接，固定不动，另外一个为移动盘，与抽拉杆连接，上下移动，两个圆盘通过多套四连杆机构相互连接。
[0010]所述四连杆机构为16?40套。
[0011]伞形挡板悬浮于球壳内部，打开或收起时与球壳没有任何接触点。
[0012]本实用新型具有以下有益效果及优点:
[0013]1.本实用新型针对光电倍增管半球镀AL薄膜研制开发了伞形气动挡板，实现挡板自动展开及收起，挡板不接触玻壳，避免了对玻壳造成损害，增大了光电倍增管镀膜合格率，提高工作效率。
[0014]2.本实用新型伞形气动挡板为气动控制，操作极为简单，点动控制按钮即可实现挡板撑开及回收，极大的提高了镀膜效率。
[0015]3.本实用新型伞形气动挡板撑开后为一圆形平面，球壳镀膜后，边缘极为整齐。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型伞形气动挡板展开状态示意图；
[0017]图2为本实用新型伞形气动挡板收起状态示意图。
[0018]其中，I为伞形挡板，2为伞支杆，3为光电倍增管，4为控制气缸，A为镀膜面，B为不镀膜面。
【具体实施方式】
[0019]下面结合说明书附图对本发明作进一步阐述。
[0020]如图1所示，本实用新型伞形气动挡板包括控制气缸4、伞支杆2及伞形挡板1，其中控制气缸4安装于伞支杆2的一端，伞支杆2的另一端连接伞形挡板I。
[0021]伞支杆2为一细长形杆，细长形杆内部设有抽拉杆，抽拉杆的一端与控制气缸4的活塞杆连接，抽拉杆的另一端连接伞形挡板I的固定盘。
[0022]伞形挡板I为四连杆机构，其上有两个圆盘，其中一个为固定盘，与伞支杆2连接，固定不动，另外一个为移动盘，与抽拉杆连接，上下移动，两个圆盘通过多套四连杆机构相互连接。四连杆机构为16?40套，本实施例采用36套。
[0023]控制气缸4主要控制伞形挡板I的撑开至直径Φ500ι?πι以内及收回至直径90mm以内，依靠电磁阀控制。伞形挡板I主体外部的细长形杆为直线度及圆度极高的不锈钢管，内部安装直线度及圆度极高的不锈钢抽拉杆，控制气缸4带动不锈钢杆于不锈钢管内部上下运动，实现伞形挡板I的撑开及收起，收起状态示意图如图2所示。
[0024]伞形挡板I悬浮于球壳内部，伞形气动挡板撑开后为一圆形平面，与球壳内壁之间留有缝隙，没有任何接触点，就实现了镀膜时对球壳内表面的零划伤，保证了球壳镀膜的合格率，球壳镀膜后，边缘极为整齐。
[0025]本实用新型为气动控制，操作极为简单，点动控制按钮即可实现挡板撑开及回收，极大的提高了镀膜效率。
【主权项】
1.一种伞形气动挡板，其特征在于:包括控制气缸、伞支杆及伞形挡板，其中控制气缸安装于伞支杆的一端，伞支杆的另一端连接伞形挡板。2.按权利要求1所述的伞形气动挡板，其特征在于:伞支杆为一细长形杆，细长形杆内部设有抽拉杆，抽拉杆的一端与控制气缸的活塞杆连接，抽拉杆的另一端连接伞形挡板的固定盘。3.按权利要求1所述的伞形气动挡板，其特征在于:伞形挡板为四连杆机构，其上有两个圆盘，其中一个为固定盘，与伞支杆连接，固定不动，另外一个为移动盘，与抽拉杆连接，上下移动，两个圆盘通过多套四连杆机构相互连接。4.按权利要求3所述的伞形气动挡板，其特征在于:所述四连杆机构为16?40套。5.按权利要求1所述的伞形气动挡板，其特征在于:伞形挡板悬浮于球壳内部，打开或收起时与球壳没有任何接触点。
【专利摘要】本实用新型涉及一种伞形气动挡板，包括控制气缸、伞支杆及伞形挡板，其中控制气缸安装于伞支杆的一端，伞支杆的另一端连接伞形挡板；伞支杆为一细长形杆，细长形杆内部设有抽拉杆，抽拉杆的一端与控制气缸的活塞杆连接，抽拉杆的另一端连接伞形挡板的固定盘。本实用新型实现挡板自动展开及收起，挡板不接触玻壳，避免了对玻壳造成损害，增大了光电倍增管镀膜合格率，提高工作效率，球壳镀膜后，边缘极为整齐。
【IPC分类】C23C14/04, C23C14/24
【公开号】CN204779783
【申请号】CN201520490801
【发明人】慈连鳌
【申请人】沈阳腾鳌真空技术有限公司
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年7月9日