布气管的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及镀膜装置技术领域，特别地，涉及一种布气管。
【背景技术】
[0002]磁控溅射镀膜技术由于具有溅射速率高、沉积速率高、沉积温度低、薄膜质量好等特点，所以得到广泛的应用。溅射过程中，制程气体的均匀性对膜层的均匀性至关重要，因此制程气体的布气环境和布气方式成为设计重要考虑的问题。通常情况下，制程气体是通过减压阀及空气滤芯过滤后进入真空室内的布气管，布气管通常采用开孔或开口的形式使得气体向外发散。
[0003]目前，现有的布气管一般由一根圆柱形或方柱形的内部掏空的金属管构造而成，布气管的一端作为气体入口通气，其另一端密闭，气体由气体入口进入后从布气管边缘四周的开孔或开口处喷出；或者布气管由金属焊接方式或凹凸槽卡接的方式做成T形管，T形管的一端进气，对应的另外一端均匀出气。
[0004]当布气管由内部掏空的金属管构造而成时，当其在磁控溅射环境下长时间使用后，布气管表层会粘附一层很厚的膜层且膜层容易脱落，从而对腔体造成一定的污染，影响腔体的洁净度，也使得溅射得到的膜层针孔漏光多，致密性差，因此，需定期拆卸布气管进行喷砂处理，即在高压状态下用白刚玉砂等砂子对布气管的表面进行喷射，以去除其表面的膜层，同时使得布气管表面粗糙，增加溅射到布气管表面膜层的粘附力，由于布气管为一体结构，喷砂处理时由喷气口进入内部的砂子无法全部清理干净，从而无法保证布气管内部的洁净度；另外，常规溅射时，靶材溅射区域反溅的灰尘较多，喷气口周围部分会被溅射物熏至灰褐色甚至延伸至布气管内部，长时间积累会对布气管内壁造成污染，由于布气管为一体结构，从而无法对布气管的内壁进行卫生处理；当布气管为T形管时，由于整个布气管处在溅射环境中，反溅物会通过焊接处的孔或缝隙熏到内部，金属焊接处由于没有打磨处理极易藏污纳垢，造成污染，且凸凹槽卡牢处长时间使用后，由于受损或机械力作用变形，使得布气管出现漏气情况。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型提供了一种布气管，以解决现有的布气管存在的无法进行喷砂等维护处理，无法对布气管内进行卫生处理，金属焊接处容易藏污纳垢，布气管容易漏气的技术问题。
[0006]本实用新型采用的技术方案如下:
[0007]—种布气管，包括呈柱体状的管体，管体的外周壁上具有第一平面，第一平面沿管体的长度方向延伸，第一平面上加工有用于输送气体的第一凹槽，第一凹槽沿管体的长度方向延伸，管体的一端加工有与第一凹槽连通的进气通道，管体的外周壁上加工有多个与第一凹槽连通的出气孔；第一平面上可拆卸地连接有用于封堵第一凹槽的盖板。
[0008]进一步地，盖板通过多个连接件与管体可拆卸连接；连接件为沉头螺钉，沉头螺钉穿过管体后嵌入盖板内以将管体和盖板相连。
[0009]进一步地，多个出气孔沿管体的长度方向间隔布置，且每个出气孔均与第一凹槽槽底的宽度方向的中心连通。
[0010]进一步地，第一平面和盖板之间设有用于防止第一凹槽内的气体由两者接触处的缝隙向外泄露的密封件。
[0011]进一步地，第一平面上加工有用于安装密封件的第二凹槽，第二凹槽呈环状且围设于第一凹槽外；密封件为环形密封圈，密封件卡设于第二凹槽内。
[0012]进一步地，第二凹槽的截面呈“U”型，密封件的截面呈与第二凹槽的截面相适应的形状。
[0013]进一步地，盖板上与第一平面贴合的面上设有嵌入第一凹槽内的凸条，凸条沿盖板的长度方向延伸且与第一凹槽相适应。
[0014]进一步地，管体为方形管，第一平面与管体的一个侧面重合，盖板为与管体相配合的方型板，方型板的与管体相连的上表面上加工有凸条。
[0015]本实用新型具有以下有益效果:
[0016]由于盖板与管体的第一平面可拆卸连接，故本实用新型的布气管可拆卸，从而可以定期对布气管进行喷砂处理和内壁的卫生处理，定期检查布气管内部的卫生情况，保证布气管内部的洁净度；
[0017]盖板与管体可拆卸连接，不存在焊接等情况，因此布气管无藏污纳垢的可能；
[0018]由于管体的外周壁上加工有多个与第一凹槽连通的出气孔，故而可以根据产品的均匀性情况堵塞部分出气孔，方便的优化布气均匀性。
[0019]除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。
【附图说明】
[0020]构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0021]图1是本实用新型优选实施例的布气管的结构示意图；
[0022]图2是图1中的A-A向剖视结构示意图；
[0023]图3是图1中的管体的结构示意图；
[0024]图4是图3中的B-B向剖视结构示意图；
[0025]图5是图1中的盖板的结构示意图。
[0026]图例说明
[0027]1、管体;101、第一平面;102、第一凹槽;103、进气通道;104、出气孔;105、第二凹槽；2、盖板；201、凸条；3、密封件；4、连接件。
【具体实施方式】
[0028]以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
[0029]如图1、图2和图4所示，本实用新型的优选实施例提供了一种布气管，包括呈柱体状的管体1，管体I的外周壁上具有第一平面101，第一平面101沿管体I的长度方向延伸，第一平面101上加工有用于输送气体的第一凹槽102，第一凹槽102沿管体I的长度方向延伸，管体I的一端加工有与第一凹槽102连通的进气通道103，管体I的外周壁上加工有多个与第一凹槽102连通的出气孔104 ;第一平面101上可拆卸地连接有用于封堵第一凹槽102的盖板2。采用本实用新型的布气管发散制程气体时，通过减压阀和空气滤芯过滤后的气体首先由管体I上的进气通道103进入第一凹槽102内，然后再由出气孔104向外发散。由于盖板2与管体I的第一平面101可拆卸连接，故本实用新型的布气管可拆卸，从而可以定期对布气管进行喷砂处理和内壁的卫生处理，定期检查布气