一种多晶硅氢化炉用u型c/c发热体的制作方法

文档序号:3442345阅读:130来源:国知局
专利名称:一种多晶硅氢化炉用u型c/c发热体的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种C/C发热体,尤其是涉及一种多晶硅氢化炉用U型C/C发热 体。
背景技术
目前,多晶硅氢化炉用U型C/C发热体的整体厚度是相同的,其在使用过程中经常 发生开口端与石墨电极连接位置处断裂现象,造成发热体报废,严重影响了多晶硅氢化炉 的生产效率,增加了多晶硅的生产成本。究其原因是因为U型C/C发热体的底部与石墨电 极连接部位上下温差较大,热应力不均勻。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足,提供一种多晶 硅氢化炉用U型C/C发热体,其结构简单、设计合理且局部强度高,能有效解决开口端与石 墨电极连接位置处易断裂的问题,同时延长了使用寿命。为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是一种多晶硅氢化炉用U型 C/C发热体,包括U型架体,所述U型架体的开口端均勻布设有通孔一,其特征在于所述 U型架体的开口端外侧且与石墨电极连接位置处设置有直角梯形体,所述直角梯形体上设 置有通孔二,所述通孔二与所述通孔一大小相同且互相连通,所述直角梯形体的高度H为 2mm 8mm,所述直角梯形体的上表面长度L为60mm 200mm,所述直角梯形体的斜面与U 型架体的竖直面之间的夹角α为30° 60°,所述直角梯形体与U型架体一体成型。上述的一种多晶硅氢化炉用U型C/C发热体,其特征在于所述直角梯形体的高度 H 为 5mm。上述的一种多晶硅氢化炉用U型C/C发热体,其特征在于所述直角梯形体的上表 面长度L为130mm。上述的一种多晶硅氢化炉用U型C/C发热体,其特征在于所述直角梯形体的斜面 与U型架体的竖直面之间的夹角α为45°。本实用新型与现有技术相比具有以下优点1、结构简单,设计合理,其通过在U型架体的开口端外侧且与石墨电极连接位置 处设置有与U型架体一体成型的直角梯形体,因此大大提高了 U型C/C发热体的局部强度, 使得应力均勻分散,且解决开口端与石墨电极连接位置处易断裂的问题,同时延长了使用
寿命O2、由于直角梯形体的斜面存在,即直角梯形体的斜面与U型架体的竖直面之间有 一定夹角,因此增加了应力的分散面积,避免了应力集中,进一步延长了 U型C/C发热体的 使用寿命。下面通过附图和实施例,对本实用新型做进一步的详细描述。
图1为本实用新型的整体结构示意图。附图标记说明I-通孔二。
具体实施方式
如图1所示的一种多晶硅氢化炉用U型C/C发热体,包括U型架体,所述U型架体 的开口端均勻布设有通孔一,所述U型架体的开口端外侧且与石墨电极连接位置处设置有 直角梯形体,所述直角梯形体上设置有通孔二 1,所述通孔二 1与所述通孔一大小相同且互 相连通,所述直角梯形体的高度H为2mm 8mm,所述直角梯形体的上表面长度L为60mm 200mm,所述直角梯形体的斜面与U型架体的竖直面之间的夹角α为30° 60°,所述直 角梯形体与U型架体一体成型。本实用新型中,所述直角梯形体的高度H为5mm。本实用新型中,所述直角梯形体的上表面长度L为130mm。本实用新型中,所述直角梯形体的斜面与U型架体的竖直面之间的夹角α为 45°。下面以三个实施例来对本实用新型做具体说明实施例1多晶硅氢化炉用U型C/C发热体的直线长度即竖直面长度为1000mm,宽度为 80mm,厚度为7mm,其开口端增加的直角梯形体的高度H为2mm 5mm,该直角梯形体的上表 面长度L为60mm 200mm,经使用测试可延长使用寿命约50%。实施例2多晶硅氢化炉用U型C/C发热体的直线长度即竖直面长度为1592mm,宽度为 95mm,厚度为8mm,其开口端增加的直角梯形体的高度H为2mm 7mm,该直角梯形体的上表 面长度L为60mm 200mm,经使用测试可延长使用寿命约40%。实施例3多晶硅氢化炉用U型C/C发热体的直线长度即竖直面长度为2000mm,宽度为 80mm,厚度为10mm,其开口端增加的直角梯形体的高度H为2mm 8mm,该直角梯形体的上 表面长度L为60mm 200mm,经使用测试可延长使用寿命约40%。通过以上三个实施例可见,设置在开口端外侧且与U型架体一体成型的直角梯形 体,可将应力均勻分散,有效解决其开口端与石墨电极连接位置处易断裂的问题,同时使得 U型C/C发热体的平均使用寿命提高约40%。以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例,并非对本实用新型作任何限制,凡是根 据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化,均仍 属于本实用新型技术方案的保护范围内。
权利要求一种多晶硅氢化炉用U型C/C发热体,包括U型架体,所述U型架体的开口端均匀布设有通孔一,其特征在于所述U型架体的开口端外侧且与石墨电极连接位置处设置有直角梯形体,所述直角梯形体上设置有通孔二(1),所述通孔二(1)与所述通孔一大小相同且互相连通,所述直角梯形体的高度H为2mm~8mm,所述直角梯形体的上表面长度L为60mm~200mm,所述直角梯形体的斜面与U型架体的竖直面之间的夹角α为30°~60°,所述直角梯形体与U型架体一体成型。
2.按照权利要求1所述的一种多晶硅氢化炉用U型C/C发热体,其特征在于所述直 角梯形体的高度H为5mm。
3.按照权利要求1所述的一种多晶硅氢化炉用U型C/C发热体,其特征在于所述直 角梯形体的上表面长度L为130mm。
4.按照权利要求1所述的一种多晶硅氢化炉用U型C/C发热体,其特征在于所述直 角梯形体的斜面与U型架体的竖直面之间的夹角α为45°。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉用U型C/C发热体,包括U型架体,所述U型架体的开口端均匀布设有通孔一,所述U型架体的开口端外侧且与石墨电极连接位置处设置有直角梯形体,所述直角梯形体上设置有通孔二,所述通孔二与所述通孔一大小相同且互相连通,所述直角梯形体的高度H为2mm~8mm,所述直角梯形体的上表面长度L为60mm~200mm,所述直角梯形体的斜面与U型架体的竖直面之间的夹角α为30°~60°,所述直角梯形体与U型架体一体成型。本实用新型结构简单、设计合理且局部强度高,能有效解决开口端与石墨电极连接位置处易断裂的问题,同时延长了使用寿命。
文档编号C01B33/03GK201737706SQ201020292480
公开日2011年2月9日 申请日期2010年8月13日 优先权日2010年8月13日
发明者侯卫权, 李永军, 肖志超, 苏君明 申请人:西安超码科技有限公司
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