一种PCVD沉积制备大直径光纤芯棒的方法与流程

文档序号:12393336阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种PCVD沉积制备大直径光纤芯棒的方法,用纯石英玻璃衬管为基管,经腐蚀清洗干燥后,装夹于PCVD沉积机床上,衬管穿过微波谐振腔并置于保温炉内,两端由旋转夹头装夹,保温炉提供800~1200℃的沉积环境温度,谐振腔产生高频功率沿衬管轴向往复移动进行PCVD沉积,参与沉积的混合气体从衬管的一端进入管内,衬管的另一端为排气端,排气端通过管道连接真空泵,其特征在于在衬管排气端内安设一石英玻璃集尘插管,集尘插管外径与衬管内孔相配置,嵌入衬管排气端,收集沉积于排气端的粉尘;沉积过程中,当集尘插管中的粉尘收集量达到一定量时,暂停沉积,关闭混合气体控制阀,衬管停止旋转,谐振腔停止工作,松开排气端旋转夹头,更换集尘插管,再上紧旋转夹头,继续沉积,如此反复,直至沉积完成;取出集尘插管,将沉积完毕的衬管在电熔缩炉上进行熔缩得到实心芯棒。

2.按权利要求1所述的PCVD沉积制备大直径光纤芯棒的方法,其特征在于所述的石英玻璃集尘插管管体为直管、锥管或阶梯管,管体内孔贯通。

3.按权利要求2所述的PCVD沉积制备大直径光纤芯棒的方法,其特征在于所述的石英玻璃集尘插管管体前端设置外翻的翻边,所述的翻边与衬管端口相配置。

4.按权利要求2或3所述的PCVD沉积制备大直径光纤芯棒的方法,其特征在于所述的石英玻璃集尘插管管体长度为200~450mm,管体后端设置有缩口。

5.按权利要求1或2所述的PCVD沉积制备大直径光纤芯棒的方法,其特征在于所述的纯石英玻璃衬管外径为31~46mm,内径为22~40mm,管长1.5~2.2m。

6.按权利要求1或2所述的PCVD沉积制备大直径光纤芯棒的方法,其特征在于所述的微波谐振腔产生3kw-15kw的高频沉积功率;谐振腔相对衬管做轴向往复运动,移动速度12-40m/min,沉积时控制衬管内的压力为5~20mbar。

7.按权利要求1或2所述的PCVD沉积制备大直径光纤芯棒的方法,其特征在于所述的腐蚀清洗是将纯石英玻璃衬管以AR级的氢氟酸试剂浸泡腐蚀,腐蚀去除量以衬管重量减少计0.3%-0.8%,腐蚀后衬管以高纯去离子水冲洗内外表面,再以洁净的压缩空气吹扫衬管内外表面进行充分的干燥。

8.按权利要求1或2所述的PCVD沉积制备大直径光纤芯棒的方法,其特征在于在沉积暂停期间,保温炉保持温度800~1000℃;衬管内除纯氧气外其它气体流量调节为零,管内压力暂不受真空泵控制。

9.按权利要求1或2所述的PCVD沉积制备大直径光纤芯棒的方法,其特征在于石英衬管中参与沉积的混合气体种类包括有四氯化硅蒸气、四氯化锗蒸气、纯氧气、氟利昂蒸气及三氯化硼蒸气。

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