技术总结
本发明提供一种N型多晶硅铸锭装置,包括:铸锭炉,所述铸锭炉内设有坩埚,所述铸锭炉顶端设有用于存放硅料的储料仓,所述储料仓与所述坩埚连接有输料管,所述储料仓的硅料投料由出料阀控制,其特征在于,所述铸锭炉的顶端设置有高功率激光单元,所述高功率激光单元设置有激光源,所述激光源用于对自所述储料仓投入所述坩锅的硅料进行辐射扫描;所述储料仓的外部分别设有真空抽气阀与惰性气体进气阀,所述储料仓还设有加热单元用于对储料仓的硅料进行预加热。本发明同时提出一种利用本发明装置的铸锭方法。
技术研发人员:魏汝超
受保护的技术使用者:超能高新材料股份有限公司
技术研发日:2016.12.14
技术公布日:2018.06.29