一种泡生法蓝宝石晶体生长炉侧面保温结构的制作方法

文档序号:12759175阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种泡生法蓝宝石晶体生长炉侧面保温结构,包括设置在长晶炉底部的保温层,垂直装设在保温层上的不锈钢桶,以及安装在不锈钢桶内侧、且与不锈钢桶同心布置的氧化锆墙层。所述氧化锆墙层与不锈钢桶之间填充有由保温材料构成的保温颗粒,在保温颗粒的上端还设有与氧化锆墙层与不锈钢桶之间间距相适配的环形钼片。本实用新型不仅可以有效降低能耗和成本,还可以延长侧面保温层的使用寿命,保证晶体质量稳定,提升晶体利用率,而且结构简单,易于维修,更好的保证热场的稳定性和均匀性。

技术研发人员:余剑云;李庆跃;李凯;张会选;徐峰
受保护的技术使用者:黄山市东晶光电科技有限公司
文档号码:201620233583
技术研发日:2016.03.23
技术公布日:2017.01.25

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