一种带有定位销的石墨坩埚的制作方法

本实用新型属于碳化硅生产设备技术领域，涉及一种带有定位销的石墨坩埚。

背景技术：

碳化硅(SiC)单晶具有宽禁带、高热导率、高击穿场强、高饱和电子漂移速率等优点，是现代电子技术使用的重要材料。液相法是一种生长碳化硅晶体的方法，通过加热的方式将硅在高纯石墨坩埚中融化，形成碳在硅中的溶液，再将头部贴付有籽晶的石墨轴伸入到溶液中进行生长。

为了满足生产需求在生产过程中通常采用加速坩埚旋转技术(ACRT)，在产业化的要求下，生长速率高要求高，这种情况下，通常会采用高转速的方案，加速溶质的传输，从而提高生长速率，但是在高速旋转的过程中上保温、上端盖与坩埚本体易发生相对滑动，造成相对之间的磨损，更容易造成上保温材料的损坏，由于上保温材料为高温石墨纤维，价格昂贵，更容易造成生产加工成本的增加，同时不利于提高生产效率和产品质量，对生长过程也带来了隐患。

技术实现要素：

针对上述问题，本实用新型提供一种带有定位销的石墨坩埚，可以防止上保温、上端盖和坩埚发生相对滑动。

为实现上述目的，本实用新型的具体技术方案是：

一种带有定位销的石墨坩埚，包括上保温、上端盖和坩埚，在上保温、上端盖和坩埚设置有彼此联通的定位孔，在定位孔内安装有定位销；所述定位销为内侧金属棒外侧涂有石墨的夹芯棒；所述上保温、上端盖和坩埚通过定位销固定在一起。

所述的定位孔对称设置，一般设置有2个或4个；对应的定位销也为同样数目，且定位销的长度长于定位孔的深度；

采用这种结构后在生产碳化硅时，首先将原料放入石墨坩埚中，然后分别盖上端盖和上保温，调整三者之间的位置，使三者上的定位孔对齐，然后安装定位销，定位销为内侧金属棒外侧涂有石墨的夹芯棒，安装定位销后可对坩埚实施加速坩埚旋转技术，这样可以防止上保温、上端盖和坩埚在旋转过程中发生相对滑动，防止造成上保温的损坏，解除了对碳化硅生长带来的隐患，提高生产效率和质量，降低生产成本。

根据坩埚壁厚的不同，定位孔的直径为1-8mm,为了保温的需要，在保证结构强度的前提下，定位孔的直径优选3mm。

综上所述，采用本实用新型所提供的带有定位销的石墨坩埚，可对坩埚实施加速坩埚旋转技术，防止上保温、上端盖和坩埚在旋转过程中发生相对滑动，防止造成上保温的损坏，解除了对碳化硅生长带来的隐患，提高生产效率和质量，降低生产成本。

附图说明

图1是本实用新型所述带有定位销的石墨坩埚结构示意图；

图2是本实用新型所述带有定位销的石墨坩埚外形示意图；

图中1为上保温，2为上端盖，3为坩埚，4为定位销，5为定位孔。

具体实施方式

如图1和2所示，一种带有定位销的石墨坩埚，包括上保温1、上端盖2和坩埚3，在上保温1、上端盖2和坩埚3设置有彼此联通的定位孔5，在定位孔5内安装有定位销4；

所述定位销4为内侧金属棒外侧涂有石墨的夹芯棒；所述上保温1、上端盖2和坩埚3通过定位销4固定在一起；

所述的定位孔5对称设置，一般设置有2个或4个；对应的定位销也为同样数目，且定位销4的长度长于定位孔5的深度；

所述定位孔5的直径为1-8mm，优选为3mm。